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本申请涉及一种晶圆清洗设备传输机构控制方法和装置，通过对轨道进行分段测量不同速度下的噪音，噪音小就表明振动小，基于噪音最小的原理来确定轨道上的机械手在不同位置的运行速度，从而使机械手运行过程中的振动最小，使机械手的运行过程尽量平稳，提高机械...
该专利属于无锡亚电智能装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡亚电智能装备有限公司授权不得商用。

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