一种晶圆干燥槽体槽盖结构制造技术

本申请涉及一种晶圆干燥槽体槽盖结构，盖体的两侧分别具有驱动机构和滚轮，使得盖体的两侧均有支撑部件，使得盖体的运动更加平稳，盖体的结构设置，使得喷气管与喷气块均能够被很好地隐藏在顶板与底板之间形成安装腔内。很好地隐藏在顶板与底板之间形成安装腔内。很好地隐藏在顶板与底板之间形成安装腔内。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆干燥槽体槽盖结构


[0001]本申请属于晶圆生产设备
，尤其是涉及一种晶圆干燥槽体槽盖结构。

技术介绍

[0002]中国技术专利文献CN217383543U公开了一种晶圆干燥模组上盖结构，包括底部盖板、设置在底部盖板上的第一腔室，还包括设置在第一腔室内的用以向晶圆干燥模组内排放加热的氮气和异丙醇的混合物的混合排放管、用以向晶圆干燥模组内排放氮气的氮气管、用以向晶圆干燥模组内排放异丙醇气体的异丙醇管；底部盖板上设有若干排气口，混合排放管、氮气管及异丙醇管位于第一腔室内的管壁上还设有出气口；第一腔室的外壁还分别设有氮气输入接口、异丙醇输入接口、混合输入接口。晶圆干燥模组上盖可以分别向干燥模组内充入氮气、异丙醇气体以及加热后的氮气和异丙醇的混合物质。然而该晶圆干燥模组上盖结构在水平推动时，仅一侧由驱动装置带动，导致上盖两侧受力不平衡，运行时不稳定。

技术实现思路

[0003]本技术要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种平移运行更加稳定的晶圆干燥槽体槽盖结构。
[0004]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
[0005]一种晶圆干燥槽体槽盖结构，包括：
[0006]第一安装条和第二安装条，分别设置在晶圆干燥槽体顶部的两条平行的顶边上；
[0007]盖体，所述盖体由具有镂空的底板和设置在镂空部分上方的顶板组成，所述顶板与底板之间形成安装腔；
[0008]驱动机构，设置在盖体的一侧的第一安装条上，包括直线驱动件和导轨，所述底板底部设置有与导轨配合的滑块，直线驱动件能够驱动盖体沿导轨移动；
[0009]滚轮，设置在盖体的另一侧，能够在第二安装条上滚动；
[0010]喷气管，设置在安装腔内，底部具有喷口以用于喷出异丙醇与氮气混合气体；
[0011]喷气块，设置在安装腔内，底部具有喷口以用于喷出氮气，且喷气块的高度低于喷气管。
[0012]优选地，本技术的晶圆干燥槽体槽盖结构，所述喷气管为若干根，且所有所述喷气管相互平行。
[0013]优选地，本技术的晶圆干燥槽体槽盖结构，所述喷气块为H形喷气块，由两条平行的支臂和连接两条平行支臂的中间块构成，中间块的顶部安装有第一接头，支臂底部具有喷口。
[0014]优选地，本技术的晶圆干燥槽体槽盖结构，所述支臂位于两根所述喷气管之间。
[0015]优选地，本技术的晶圆干燥槽体槽盖结构，所述顶板覆盖底板上方的部分区
域，且顶板位于靠近滚轮的一侧，顶板未覆盖的底板上方的区域安装有安装块，所述安装块上设置有第二接头，第二接头与第一接头通过管道连接，并向喷气块供给氮气。
[0016]优选地，本技术的晶圆干燥槽体槽盖结构，所述顶板的侧壁上设置有第三接头，所述第三接头与异丙醇与氮气混合气体供给管道连接，以对喷气管道提供气体。
[0017]优选地，本技术的晶圆干燥槽体槽盖结构，所述第二安装条上还设置有限位组件，用于限制所述滚轮的运动范围。
[0018]优选地，本技术的晶圆干燥槽体槽盖结构，限位组件为传感器。
[0019]本技术的有益效果是：
[0020]本技术的晶圆干燥槽体槽盖结构，盖体的两侧分别具有驱动机构和滚轮，使得盖体的两侧均有支撑部件，使得盖体的运动更加平稳，盖体的结构设置，使得喷气管与喷气块均能够被很好地隐藏在顶板与底板之间形成安装腔内。
附图说明
[0021]下面结合附图和实施例对本申请的技术方案进一步说明。
[0022]图1是本申请实施例的晶圆干燥槽体槽盖结构的结构示意图；
[0023]图2是本申请实施例的晶圆干燥槽体槽盖结构的仰视图；
[0024]图3是本申请实施例的驱动机构的结构示意图；
[0025]图4是本申请实施例的晶圆干燥槽体槽盖结构的隐藏顶板后的结构示意图；
[0026]图中的附图标记为：
[0027]1 第一安装条；
[0028]2 第二安装条；
[0029]3 盖体；
[0030]4 滚轮；
[0031]5 喷气管；
[0032]6 喷气块；
[0033]7 驱动机构；
[0034]8 安装块；
[0035]21 限位组件；
[0036]31 底板；
[0037]32 顶板；
[0038]33 滑块；
[0039]51 第三接头；
[0040]52 喷气管道；
[0041]61 第一接头；
[0042]63 第二接头；
[0043]71 直线驱动件；
[0044]72 导轨；
[0045]601 支臂；
[0046]602 中间块。
具体实施方式
[0047]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0048]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请保护范围的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0049]在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0050]下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请的技术方案。
[0051]实施例
[0052]本实施例提供一种晶圆干燥槽体槽盖结构，如图1所示，包括：
[0053]第一安装条1和第二安装条2，分别设置在晶圆干燥槽体顶部的两条平行的顶边上；
[0054]盖体3，所述盖体3由具有镂空的底板31和设置在镂空部分上方的顶板32组成，所述顶板32与底板31之间形成安装腔；
[0055]驱动机构7，设置在盖体3的一侧的第一安装条1上，包括直线驱动件71和导轨72，所述底板31底部设置有与导轨72配合的滑块33，直线驱动件71能够驱动盖体3沿导轨72移动；
[0056]滚轮4，设置在盖体3的另一侧，能够在第二安装条2上滚动；
[0057]喷气管5，设置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆干燥槽体槽盖结构，其特征在于，包括：第一安装条(1)和第二安装条(2)，分别设置在晶圆干燥槽体顶部的两条平行的顶边上；盖体(3)，所述盖体(3)由具有镂空的底板(31)和设置在镂空部分上方的顶板(32)组成，所述顶板(32)与底板(31)之间形成安装腔；驱动机构(7)，设置在盖体(3)的一侧的第一安装条(1)上，包括直线驱动件(71)和导轨(72)，所述底板(31)底部设置有与导轨(72)配合的滑块(33)，直线驱动件(71)能够驱动盖体(3)沿导轨(72)移动；滚轮(4)，设置在盖体(3)的另一侧，能够在第二安装条(2)上滚动；喷气管(5)，设置在安装腔内，底部具有喷口以用于喷出异丙醇与氮气混合气体；喷气块(6)，设置在安装腔内，底部具有喷口以用于喷出氮气，且喷气块(6)的高度低于喷气管(5)。2.根据权利要求1所述的晶圆干燥槽体槽盖结构，其特征在于，所述喷气管(5)为若干根，且所有所述喷气管(5)相互平行。3.根据权利要求1所述的晶圆干燥槽体槽盖结构，其特征在于，所述喷气块(6)为H形喷气块，由两条平行的支臂(601)和连接两条平行支臂...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱诚，李刚，周志勇，刘川，
申请(专利权)人：无锡亚电智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：