立式炉管清洗槽制造技术

本申请涉及一种立式炉管清洗槽，所述立式炉管清洗槽包括槽体、方形的支撑架，方形的支撑架用于支撑炉管使得炉管以开口朝下的方式扣在支撑架上，第一喷口负责炉管靠下方的喷洗，第二喷口负责炉管靠上方的喷洗，通过两个喷口同时对炉管内部进行喷洗，提高了对炉管内壁的清洗效果，同时，喷头略高于支撑架，使得炉管的上料简便。管的上料简便。管的上料简便。

【技术实现步骤摘要】
立式炉管清洗槽


[0001]本申请属于半导体生产设备
，尤其是涉及一种立式炉管清洗槽。

技术介绍

[0002]随着半导体领域技术的发展，半导体制造商对晶圆的洁净度要求越来越高，与晶圆直接接触的炉管的洁净度的要求也随之提高，炉管通常一侧开口，封闭的一侧为圆形的炉管帽，炉管本体为圆筒形的炉管侧壁，为此专门设计了立式炉管清洗设备。也即将炉管以竖直方式放置到支撑架上，通过清洗喷嘴从外部和内部对炉管进行喷洗。
[0003]中国专利文献CN208853393U公开了一种立式炉管清洗机构，包括外喷头支撑架、内喷头支撑架、旋转台和炉管支撑架，其特征是：炉管支撑架上设有旋转台，旋转台上放置炉管；内喷头支撑架从下往上穿过炉管支撑架和旋转台并伸入炉管内部顶端，内喷头支撑架上从上到下均匀设有多组内喷头组；外喷头支撑架设置在炉管一侧，外喷头支撑架上部从炉管一侧延伸到炉管顶部正上方，外喷头支撑架上沿长度方向均匀设有多个外喷头，多个外喷头喷口朝向炉管。由于其内部具有长长的内喷头支撑架，需要将炉管抬高越过内喷头支撑架，导致炉管的上料过程异常困难。

技术实现思路

[0004]本专利技术要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种清洗效果好、上料过程简便的立式炉管清洗槽。
[0005]本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
[0006]一种立式炉管清洗槽，包括：
[0007]槽体，为方形，具有四个侧壁；
[0008]支撑架，通过铰链设置在槽体的一边，以使所述支撑架能够绕铰链旋转而打开，所述支撑架为方形，具有位于中心的圆形固定板，圆形固定板中间为镂空，圆形固定板中间的镂空部分安装有安装块，所述安装块中心为通道的顶面具有倾斜朝上的第一喷口，所述安装块顶面的中心安装有喷头，所述喷头具有中心的通道和旋转体，所述旋转体上设置有倾斜朝上的第二喷口，倾斜朝上的第二喷口喷出液体时能够带动所述旋转体发生旋转，所述第二喷口与通道相连通，所述喷头的高度小于炉管高度的五分之一，且第二喷口的高度大于炉管高度的八分之一，所述第二喷口中轴线的延长线指向炉管帽与炉管侧壁之间的连接处。
[0009]优选地，本专利技术的立式炉管清洗槽，所述安装块包括上安装块和下安装块，以及位于上安装块和下安装块，上安装块和下安装块之间设置有平面轴承以使上安装块能够相对于下安装块进行旋转。
[0010]优选地，本专利技术的立式炉管清洗槽，第一喷口设置在上安装块上，且第一喷口的中轴线与上安装块的中轴线不共面，第一喷口喷水时能够带动上安装块旋转。
[0011]优选地，本专利技术的立式炉管清洗槽，平面轴承与上安装块和下安装块之间分别具
有密封圈。
[0012]优选地，本专利技术的立式炉管清洗槽，所述旋转体顶部为倾斜斜面，斜面上开设有第二喷口，所述第二喷口与旋转体的中轴线不共面，清洗液流经通道和旋转体后从第二喷口喷出时能够带动所述旋转体旋转。
[0013]优选地，本专利技术的立式炉管清洗槽，圆形固定板底部设置有进水口，通过软管与供水管连接。
[0014]优选地，本专利技术的立式炉管清洗槽，所述支撑架还包括连接所述支撑架四个顶角与圆形固定板的对角线固定板，连接所述支撑架四边中心与圆形固定板的中线固定板，连接所述支撑架四边中相邻两条边的中心的中心线固定板。
[0015]优选地，本专利技术的立式炉管清洗槽，所述对角线固定板上设置有固定块，所述固定块设置在沿所述对角线固定板布置的滑轨上，通过拧紧螺钉能够将所述固定块固定在滑轨上。
[0016]优选地，本专利技术的立式炉管清洗槽，所述槽体顶部的四边均具有翻边。
[0017]优选地，本专利技术的立式炉管清洗槽，至少三边上的翻边具有斜向槽体内的斜面。
[0018]本专利技术的有益效果是：
[0019]本专利技术的立式炉管清洗槽，包括槽体、方形的支撑架，方形的支撑架用于支撑炉管使得炉管以开口朝下的方式扣在支撑架上，第一喷口负责炉管靠下方的喷洗，第二喷口负责炉管靠上方的喷洗，通过两个喷口同时对炉管内部进行喷洗，提高了对炉管内壁的清洗效果。同时，喷头略高于支撑架，使得炉管的上料简便。
附图说明
[0020]下面结合附图和实施例对本申请的技术方案进一步说明。
[0021]图1是本申请实施例的立式炉管清洗槽的结构示意图；
[0022]图2是本申请实施例的支撑架的结构示意图；
[0023]图3是本申请实施例的支撑架的剖视图；
[0024]图4是本申请实施例的支撑架的仰视图；
[0025]图中的附图标记为：
[0026]1 槽体；
[0027]2 支撑架；
[0028]11 翻边；
[0029]12 喷水管；
[0030]15 溢流槽；
[0031]21 铰链；
[0032]22 圆形固定板；
[0033]23 对角线固定板；
[0034]24 中线固定板；
[0035]25 中心线固定板；
[0036]26 固定块；
[0037]31 安装块；
[0038]32 喷头；
[0039]33 进水口；
[0040]311 通道；
[0041]312 第一喷口；
[0042]313 平面轴承；
[0043]314 上安装块；
[0044]315 下安装块；
[0045]321 通道；
[0046]322 旋转体；
[0047]323 第二喷口。
具体实施方式
[0048]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0049]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请保护范围的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本专利技术创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0050]在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0051]下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请的技术方案。
[0052]实施例
[00本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种立式炉管清洗槽，其特征在于，包括：槽体(1)，为方形，具有四个侧壁；支撑架(2)，通过铰链(21)设置在槽体(1)的一边，以使所述支撑架(2)能够绕铰链(21)旋转而打开，所述支撑架(2)为方形，具有位于中心的圆形固定板(22)，圆形固定板(22)中间为镂空，圆形固定板(22)中间的镂空部分安装有安装块(31)，所述安装块(31)中心为通道(311)的顶面具有倾斜朝上的第一喷口(312)，所述安装块(31)顶面的中心安装有喷头(32)，所述喷头(32)具有中心的通道(321)和旋转体(322)，所述旋转体(322)上设置有倾斜朝上的第二喷口(323)，倾斜朝上的第二喷口(323)喷出液体时能够带动所述旋转体(322)发生旋转，所述第二喷口(323)与通道(321)相连通，所述喷头(32)的高度小于炉管高度的五分之一，且第二喷口(323)的高度大于炉管高度的八分之一，所述第二喷口(323)中轴线的延长线指向炉管帽与炉管侧壁之间的连接处。2.根据权利要求1所述的立式炉管清洗槽，其特征在于，所述安装块(31)包括上安装块(314)和下安装块(315)，以及位于上安装块(314)和下安装块(315)，上安装块(314)和下安装块(315)之间设置有平面轴承(313)以使上安装块(314)能够相对于下安装块(315)进行旋转。3.根据权利要求2所述的立式炉管清洗槽，其特征在于，第一喷口(312)设置在上安装块(314)上，且第一喷口(312)的中轴线与上安装块(314)的中轴线不共...

【专利技术属性】
技术研发人员：田晓东，王长江，丁鹏，
申请(专利权)人：无锡亚电智能装备有限公司，
类型：发明
国别省市：