本实用新型公开了一种晶圆烘干箱，包括晶圆烘干箱主体，所述晶圆烘干箱主体包括输送机、支架、支撑框体、烘干机箱体、防护网罩与防护盖，所述输送机焊接固定在支架上表面，所述支撑框体通过螺栓固定安装在输送机的上表面中间位置处，所述烘干机箱体安装在...

本实用新型公开了一种可调节的半导体干燥机，包括机体以及开设在机体内部的干燥室，所述干燥室的内侧设置有多个托板，所述干燥室的两侧内壁均固定有侧基板，且托板安装在两个侧基板之间，所述托板和侧基板之间设置有调节机构；所述调节机构包括固定在侧基...

本实用新型公开了一种半导体超声波清洗设备，包括超声波清洗机主体以及开设在超声波清洗机主体顶部的清洗仓，所述清洗仓内放置有多个挂架组件，所述挂架组件包括U形架体以及安装在U形架体内侧的活动夹和固定夹，且活动夹和固定夹之间夹持有半导体硅片，...

本实用新型公开了一种清洗晶圆的治具，包括晶圆清洗治具主体，所述晶圆清洗治具主体包括框体与固定夹板，所述固定夹板焊接固定在框体的内部两侧，所述晶圆清洗治具主体上还设置有：夹紧机构，且该夹紧机构包括弹性紧压组件与夹持组件；通过设计夹紧机构，...

本实用新型公开了一种晶圆清洗槽，包括清洗槽主体，所述清洗槽主体包括清洗箱体、滤网与出水口，所述出水口安装在清洗箱体的一端底端，所述滤网设置有在清洗箱体的内部，所述清洗槽主体上还设置有：清洁机构，且该清洁机构包括转动调节组件、清洁组件与滑...

本实用新型提供一种可调节的晶圆清洗固定装置，包括稳定支座，收集盒，操作定位杆架结构，活动座，转动轴，安装盒，步进电机，移动螺杆，活动调节夹紧座结构，第一齿轮，旋转电机，减速器，固定轴，第二齿轮和防滑脚，所述的稳定支座上端的中间部位螺栓安...

本实用新型提供一种基于晶圆清洗的清洗甩干设备，包括底部外壳，内部支架，金属稳定块，燕尾型滑槽，水平调节架结构，滑动底座，转轴支架，固定旋转轴，开口调节架结构，固定轴承，晶圆夹持架结构，旋转电机，顶部翻转盖和透明观察窗，所述的内部支架螺栓...

本实用新型提供一种改进型的硅片清洗的硅片保持装置，包括清洗外框，振动电机，超声波生成器，超声波换能器，升降气缸，L型连接板，L型存放架，便拆卸存放架结构，废料导出架结构，吹风机和缓冲支架结构，所述的清洗外框的下部左右两侧螺栓安装有振动电...

本实用新型提供一种多功能的可隔离防护晶圆的晶圆处理装置，包括处理箱，控制面板，吸尘管，连接软管，卡箍，进尘管，灰尘存储箱，吸尘风机，空气过滤网，快拆螺栓，清尘箱门，可过滤吹尘空心盘结构，可隔离存放盒结构和可任停防误操作遮挡罩结构，所述的...

本实用新型提供一种便于维护的硅片清洗干燥装置，包括移动定位座，操作螺纹杆，第一减速器，第一电机，移动基座，升降立柱架结构，固定板，第二电机，支撑钢管，喷嘴，活动控制架结构，连接头，连接管，输送泵，拆卸座和离子吹风机，所述的移动定位座内部...

本发明公开了自动金属薄膜腐蚀清洗机，包括机体以及开设在机体前表面的两个板缺口，所述板缺口的内侧旋转设置有第二封板，且第二封板的端部旋转连接有第一封板，所述第一封板的端部与板缺口的内壁滑动连接，所述第一封板的前表面设置有拉把，所述第一封板...

一种半导体扩散炉管的清洗装置，底座一端设有炉管固定机构，底座另一端设有支撑机构；支撑机构设有第一支撑块和第二支撑块，第一支撑块与第二支撑块之间设有平移滑杆，平移滑杆上设有滑块，第二支撑块中间穿有平移螺纹杆，平移螺纹杆一端连接滑块且另一端...

本实用新型设计了一种硅片清洗槽，包括：平台、支架和清洗槽，平台上安装有支架，支架顶部设有顶板，顶板上方一侧放置有水箱，水箱底部前后两侧设有通水管道，通水管道末端均安装有喷淋头，喷淋头下方设有所述清洗槽，支架一侧外部安装有固定座，固定座上...

本实用新型提供一种晶圆片架，包括晶圆片架主体，晶圆片架主体上均布设有晶圆片槽，每个晶圆片槽包括封闭弧形槽和两个直线槽，直线槽上设有限位孔；晶圆片架主体上还设有锁槽，锁槽中设有限位轴，限位轴上设有限位挡板和扇形限位片，限位挡板与限位孔匹配...

本实用新型提供一种芯片冲洗装置，包括基座，基座两侧垂直且相对设有侧板，侧板间平行于基座设有底板，侧板间设有冲洗机构和刷洗机构，冲洗机构包括安置板、积液槽、冲洗电机和至少一个空气缸，安置板包括多个呈矩阵排列的安置槽，安置槽两侧均设有橡胶环...

本实用新型提供一种晶圆片边缘腐蚀机，具体涉及晶圆片生产领域，包括核心筒钢梁、第一连接板和第二连接板，所述核心筒钢梁上端设有卡板，所述卡板下端设有卡槽，所述卡板下端侧面与所述核心筒钢梁的侧部连接；所述第一连接板一端两侧设有若干限位槽，且所...

本实用新型提供一种单晶样片腐蚀机，包括工作台，工作台的底部设有支撑腿，工作台内设有装置腔，装置腔内设有可转动的转轴，转轴延伸到工作台的上方，装置腔内设有正反转电机，正反转电机的输出端连接有第一齿轮，位于装置腔内的转轴上设有第二齿轮，第二...

一种单片腐蚀机，机体上设有盖板和隔板，所述隔板一侧为腐蚀区且另一侧为清洗区，平移螺纹杆穿入所述机体内，平移控制机构连接平移螺纹杆，所述平移螺纹杆上套接有第一挡板和第二挡板，所述第一挡板和所述第二挡板之间设有连接安装板，所述连接安装板上设...

本实用新型提供一种扩散炉清洗装置，包括装置本体，装置本体上设有设备安装台，设备安装台上设有清洗槽，清洗槽两侧设有支撑柱，支撑柱上设有支架，支架包括支架盘，支架盘一侧设有支架轴，支架盘另一侧设有扩散炉管固定架，两侧扩散炉管固定架方向相对，...

本实用新型为一种超声波单腔腐蚀清洗机，包括上部敞口的机体，机体前侧安装有透视窗，侧壁上超声波发生器，机体两侧侧壁顶部各安装有无杆气缸，无杆气缸活塞上连接有勾起架，置物桶顶部侧壁上安装有一圈勾起槽；旋转机构包括定子组件和旋转台，定子组件包...