本实用新型专利技术提供一种可调节的晶圆清洗固定装置，包括稳定支座，收集盒，操作定位杆架结构，活动座，转动轴，安装盒，步进电机，移动螺杆，活动调节夹紧座结构，第一齿轮，旋转电机，减速器，固定轴，第二齿轮和防滑脚，所述的稳定支座上端的中间部位螺栓安装有收集盒；所述的操作定位杆架结构均支撑在稳定支座上端的左右两侧，并且在操作定位杆架结构外侧支撑有活动座；所述的转动轴一端焊接有安装盒，另一端通过轴承镶嵌有活动座。本实用新型专利技术操作定位杆架结构的设置，便于配合组装板右侧的弧形板支撑并实现角度的调节，进而配合不同规格的晶圆夹紧。夹紧。夹紧。
【技术实现步骤摘要】
一种可调节的晶圆清洗固定装置
[0001]本技术属于晶圆清洗
，尤其涉及一种可调节的晶圆清洗固定装置。
技术介绍
[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，现有的晶圆在进行清洗加工的过程中，需要通过固定装置进行固定，从而更加方便的进行清洗等工作。
[0003]但是，现有的晶圆清洗固定装置还存在着不便于对该装置的弧度进行调节和不便于精准的实现高度调节的问题。
[0004]因此，专利技术一种可调节的晶圆清洗固定装置显得非常必要。
技术实现思路
[0005]为了解决上述技术问题，本技术提供一种可调节的晶圆清洗固定装置，以解决现有的晶圆清洗固定装置不便于对该装置的弧度进行调节和不便于精准的实现高度调节的问题。一种可调节的晶圆清洗固定装置，包括稳定支座，收集盒，操作定位杆架结构，活动座，转动轴，安装盒，步进电机，移动螺杆，活动调节夹紧座结构，第一齿轮，旋转电机，减速器，固定轴，第二齿轮和防滑脚，所述的稳定支座上端的中间部位螺栓安装有收集盒；所述的操作定位杆架结构均支撑在稳定支座上端的左右两侧，并且在操作定位杆架结构外侧支撑有活动座；所述的转动轴一端焊接有安装盒，另一端通过轴承镶嵌有活动座；所述的步进电机螺栓安装在安装盒的外壁外侧；所述的移动螺杆通过轴承安装在安装盒内部的前后两侧，同时移动螺杆的一端穿过安装盒镶嵌在步进电机的输出轴上；所述的活动调节夹紧座结构安装在安装盒的内侧；所述的第一齿轮镶嵌在转动轴的外壁上；所述的减速器螺栓安装在活动座的内侧，并且减速器一端与旋转电机螺栓连接，另一端镶嵌有固定轴；所述的第二齿轮镶嵌在固定轴的外壁上；所述的防滑脚均胶接在稳定支座下端的四周；所述的活动调节夹紧座结构包括活动基座，压紧侧板，延伸螺杆，夹紧螺母，操作杆，组装板和活动调控弧板结构，所述的活动基座右端的上下两部均焊接有延伸螺杆；所述的压紧侧板套接在延伸螺杆的外侧；所述的夹紧螺母螺纹连接在延伸螺杆的外壁上，并且均在夹紧螺母的前后两端焊接有操作杆；所述的组装板左端的上下两部均焊接有压紧侧板；所述的活动调控弧板结构安装在组装板的右侧。
[0006]优选的，所述的活动调控弧板结构包括弧形板，弧形边，拧动头，操作螺杆，夹紧条和保护垫，所述的弧形板前端的上下两部均焊接有弧形边；所述的弧形边内部螺纹连接有操作螺杆；所述的操作螺杆一端螺栓安装有拧动头，另一端活动镶嵌有夹紧条；所述的保护垫镶嵌在夹紧条内部的内侧。
[0007]优选的，所述的操作定位杆架结构包括安装轴承，螺纹竖柱，工作头，稳定板，测量杆和刻度线，所述的安装轴承内部镶嵌有螺纹竖柱；所述的工作头螺栓安装在螺纹竖柱的上端，同时在工作头外壁下部活动套接有稳定板；所述的测量杆螺栓安装在稳定板下端的
前部，同时在测量杆的前表面刻画有刻度线。
[0008]与现有技术相比，本技术的有益效果为：
[0009]1.本技术中，所述的活动基座的设置，稳定被移动螺杆带动移动。
[0010]2.本技术中，所述的压紧侧板和延伸螺杆的设置，便于配合组装板右侧的弧形板支撑并实现角度的调节，进而配合不同规格的晶圆夹紧。
[0011]3.本技术中，所述的夹紧螺母和操作杆的设置，对所活动的压紧侧板压紧固定。
[0012]4.本技术中，所述的弧形板和弧形边的设置，配合其它结构进行活动支撑使用。
[0013]5.本技术中，所述的拧动头、操作螺杆和夹紧条的设置，对晶圆夹紧，进而增加了紧固的效果。
[0014]6.本技术中，所述的安装轴承和螺纹竖柱的设置，便于配合活动座升降活动。
[0015]7.本技术中，所述的工作头和稳定板的设置，便于稳定的操作使用。
[0016]8.本技术中，所述的测量杆和刻度线的设置，精准的配合活动座升降调节使用。
附图说明
[0017]图1是本技术的结构示意图。
[0018]图2是本技术的活动调节夹紧座结构的结构示意图。
[0019]图3是本技术的活动调控弧板结构的结构示意图。
[0020]图4是本技术的操作定位杆架结构的结构示意图。
[0021]图中：
[0022]1、稳定支座；2、收集盒；3、操作定位杆架结构；31、安装轴承；32、螺纹竖柱；33、工作头；34、稳定板；35、测量杆；36、刻度线；4、活动座；5、转动轴；6、安装盒；7、步进电机；8、移动螺杆；9、活动调节夹紧座结构；91、活动基座；92、压紧侧板； 93、延伸螺杆；94、夹紧螺母；95、操作杆；96、组装板；97、活动调控弧板结构；971、弧形板；972、弧形边；973、拧动头；974、操作螺杆；975、夹紧条；976、保护垫；10、第一齿轮；11、旋转电机；12、减速器；13、固定轴；14、第二齿轮；15、防滑脚。
具体实施方式
[0023]以下结合附图对本技术做进一步描述：
[0024]实施例：
[0025]如附图1所示，一种可调节的晶圆清洗固定装置，包括稳定支座 1，收集盒2，操作定位杆架结构3，活动座4，转动轴5，安装盒6，步进电机7，移动螺杆8，活动调节夹紧座结构9，第一齿轮10，旋转电机11，减速器12，固定轴13，第二齿轮14和防滑脚15，所述的稳定支座1上端的中间部位螺栓安装有收集盒2；所述的操作定位杆架结构3均支撑在稳定支座1上端的左右两侧，并且在操作定位杆架结构3外侧支撑有活动座4；所述的转动轴5一端焊接有安装盒6，另一端通过轴承镶嵌有活动座4；所述的步进电机7螺栓安装在安装盒6的外壁外侧；所述的移动螺杆8通过轴承安装在安装盒6内部的前后两侧，同时移动螺杆8的一端穿过安
装盒6镶嵌在步进电机7的输出轴上；所述的活动调节夹紧座结构9安装在安装盒6的内侧；所述的第一齿轮10镶嵌在转动轴5的外壁上；所述的减速器12螺栓安装在活动座4的内侧，并且减速器12一端与旋转电机11螺栓连接，另一端镶嵌有固定轴13；所述的第二齿轮14镶嵌在固定轴13的外壁上；所述的防滑脚15均胶接在稳定支座1下端的四周。
[0026]如附图2所示，上述实施例中，具体的，所述的活动调节夹紧座结构9包括活动基座91，压紧侧板92，延伸螺杆93，夹紧螺母94，操作杆95，组装板96和活动调控弧板结构97，所述的活动基座91 右端的上下两部均焊接有延伸螺杆93；活动弧形板971配合组装板 96左侧的压紧侧板92在活动基座91上活动；所述的压紧侧板92套接在延伸螺杆93的外侧；所述的夹紧螺母94螺纹连接在延伸螺杆 93的外壁上，并且均在夹紧螺母94的前后两端焊接有操作杆95；操作操作杆95使夹紧螺母94在延伸螺杆93上活动并夹紧压紧侧板92 和活动基座91的连接处固定；所述的组装板96左端的上下两部均焊接有压紧侧板92；所述的活动调控弧板结构97安装在组装板96的右侧。
[0027]如附图3所示，上本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种可调节的晶圆清洗固定装置，其特征在于，该可调节的晶圆清洗固定装置，包括稳定支座(1)，收集盒(2)，操作定位杆架结构(3)，活动座(4)，转动轴(5)，安装盒(6)，步进电机(7)，移动螺杆(8)，活动调节夹紧座结构(9)，第一齿轮(10)，旋转电机(11)，减速器(12)，固定轴(13)，第二齿轮(14)和防滑脚(15)，所述的稳定支座(1)上端的中间部位螺栓安装有收集盒(2)；所述的操作定位杆架结构(3)均支撑在稳定支座(1)上端的左右两侧，并且在操作定位杆架结构(3)外侧支撑有活动座(4)；所述的转动轴(5)一端焊接有安装盒(6)，另一端通过轴承镶嵌有活动座(4)；所述的步进电机(7)螺栓安装在安装盒(6)的外壁外侧；所述的移动螺杆(8)通过轴承安装在安装盒(6)内部的前后两侧，同时移动螺杆(8)的一端穿过安装盒(6)镶嵌在步进电机(7)的输出轴上；所述的活动调节夹紧座结构(9)安装在安装盒(6)的内侧；所述的第一齿轮(10)镶嵌在转动轴(5)的外壁上；所述的减速器(12)螺栓安装在活动座(4)的内侧，并且减速器(12)一端与旋转电机(11)螺栓连接，另一端镶嵌有固定轴(13)；所述的第二齿轮(14)镶嵌在固定轴(13)的外壁上；所述的防滑脚(15)均胶接在稳定支座(1)下端的四周；所述的活动调节夹紧座结构(9)包括活动基座(91)，压紧侧板(92)，延伸螺杆(93)，夹紧螺母(94)，操作杆(95)，组装板(96)和活动调控弧板结构(97)，所述的活动基座(91)右端的上下两部均焊接有延伸螺杆(93)；所述的压紧侧板(92)套接在延伸螺杆(93)的外侧；所述的夹紧螺母(94)螺纹连接在延伸螺杆(93)的外壁上，并且均在夹紧螺母(94)的前后两端焊接有操作杆(95)；所述的组装板(96)左端的上下两部均焊接有压紧侧板(92)...
【专利技术属性】
技术研发人员：王宜，王晓波，王瑜，
申请(专利权)人：无锡瑞达半导体专用设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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