一种便于维护的硅片清洗干燥装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种便于维护的硅片清洗干燥装置，包括移动定位座，操作螺纹杆，第一减速器，第一电机，移动基座，升降立柱架结构，固定板，第二电机，支撑钢管，喷嘴，活动控制架结构，连接头，连接管，输送泵，拆卸座和离子吹风机，所述的移动定位座内部上方的左侧插接有移动基座，并且在移动基座内螺纹连接操作螺纹杆；所述的操作螺纹杆轴接在移动定位座内部的左上侧，同时操作螺纹杆的后端与第一减速器轴接。本实用新型专利技术活动控制架结构的设置,在支撑钢管内活动时，控制喷嘴的使用数量，进而调节清洗的范围。清洗的范围。清洗的范围。

【技术实现步骤摘要】
一种便于维护的硅片清洗干燥装置


[0001]本技术属于硅片加工
，尤其涉及一种便于维护的硅片清洗干燥装置。

技术介绍

[0002]硅片，是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件，现有的硅片在进行清洗的过程中，是用液体喷射片子表面，喷嘴的压力高达几百个大气压，而高压清洗靠喷射作用，片子不易产生划痕和损伤等优点，所以硅片清洗干燥装置能够更好的完成硅片的清洗使用。
[0003]但是，现有的硅片清洗干燥装置还存在着不便于控制该装置喷淋的范围和不便于进行活动拆装使用的问题。
[0004]因此，专利技术一种便于维护的硅片清洗干燥装置显得非常必要。

技术实现思路

[0005]为了解决上述技术问题，本技术提供一种便于维护的硅片清洗干燥装置，以解决现有的硅片清洗干燥装置不便于控制该装置喷淋的范围和不便于进行活动拆装使用的问题。一种便于维护的硅片清洗干燥装置，包括移动定位座，操作螺纹杆，第一减速器，第一电机，移动基座，升降立柱架结构，固定板，第二电机，支撑钢管，喷嘴，活动控制架结构，连接本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于维护的硅片清洗干燥装置，其特征在于，该便于维护的硅片清洗干燥装置，包括移动定位座(1)，操作螺纹杆(2)，第一减速器(3)，第一电机(4)，移动基座(5)，升降立柱架结构(6)，固定板(7)，第二电机(8)，支撑钢管(9)，喷嘴(10)，活动控制架结构(11)，连接头(12)，连接管(13)，输送泵(14)，拆卸座(15)和离子吹风机(16)，所述的移动定位座(1)内部上方的左侧插接有移动基座(5)，并且在移动基座(5)内螺纹连接操作螺纹杆(2)；所述的操作螺纹杆(2)轴接在移动定位座(1)内部的左上侧，同时操作螺纹杆(2)的后端与第一减速器(3)轴接；所述的第一减速器(3)螺栓安装在移动定位座(1)的后端，并且在第一减速器(3)的右端上部螺栓安装第一电机(4)；所述的移动基座(5)上端支撑有升降立柱架结构(6)；所述的固定板(7)上端左侧螺栓安装有第二电机(8)；所述的支撑钢管(9)右端焊接有喷嘴(10)，并且在喷嘴(10)和输送泵(14)之间镶嵌有连接管(13)；所述的活动控制架结构(11)支撑在支撑钢管(9)的上端；所述的拆卸座(15)均焊接在移动定位座(1)的左右两端下部；所述的离子吹风机(16)内部的下侧嵌入有支撑钢管(9)；所述的活动控制架结构(11)包括工作电缸(111)，第一支座(112)，第二支座(113)，活塞杆(114)，传动板(115)和活动密封杆架结构(116)，所述的工作电缸(111)左右两端均螺栓安装有第二支座(113)和第一支座(112)；所述的活塞杆(114)插入在工作电缸(111)的内部，并且在活塞杆(114)的左端螺栓安装有传动板(115)；所述的活动密封杆架结构(116)支撑在传动板(115)的右下侧。2.如权利要求1所述的便于维护的硅片清洗干燥装置，其特征在于，所述的活动密封杆架结构(116)包括阻挡座(1161)，活动...

【专利技术属性】
技术研发人员：王宜，张啟涛，汪文飞，
申请(专利权)人：无锡瑞达半导体专用设备有限公司，
类型：新型
国别省市：