本实用新型专利技术提供一种便于维护的硅片清洗干燥装置，包括移动定位座，操作螺纹杆，第一减速器，第一电机，移动基座，升降立柱架结构，固定板，第二电机，支撑钢管，喷嘴，活动控制架结构，连接头，连接管，输送泵，拆卸座和离子吹风机，所述的移动定位座内部上方的左侧插接有移动基座，并且在移动基座内螺纹连接操作螺纹杆；所述的操作螺纹杆轴接在移动定位座内部的左上侧，同时操作螺纹杆的后端与第一减速器轴接。本实用新型专利技术活动控制架结构的设置,在支撑钢管内活动时，控制喷嘴的使用数量，进而调节清洗的范围。清洗的范围。清洗的范围。
【技术实现步骤摘要】
一种便于维护的硅片清洗干燥装置
[0001]本技术属于硅片加工
，尤其涉及一种便于维护的硅片清洗干燥装置。
技术介绍
[0002]硅片，是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件，现有的硅片在进行清洗的过程中，是用液体喷射片子表面，喷嘴的压力高达几百个大气压，而高压清洗靠喷射作用，片子不易产生划痕和损伤等优点，所以硅片清洗干燥装置能够更好的完成硅片的清洗使用。
[0003]但是，现有的硅片清洗干燥装置还存在着不便于控制该装置喷淋的范围和不便于进行活动拆装使用的问题。
[0004]因此，专利技术一种便于维护的硅片清洗干燥装置显得非常必要。
技术实现思路
[0005]为了解决上述技术问题，本技术提供一种便于维护的硅片清洗干燥装置，以解决现有的硅片清洗干燥装置不便于控制该装置喷淋的范围和不便于进行活动拆装使用的问题。一种便于维护的硅片清洗干燥装置，包括移动定位座，操作螺纹杆，第一减速器，第一电机，移动基座，升降立柱架结构，固定板，第二电机，支撑钢管，喷嘴，活动控制架结构，连接头，连接管，输送泵，拆卸座和离子吹风机，所述的移动定位座内部上方的左侧插接有移动基座，并且在移动基座内螺纹连接操作螺纹杆；所述的操作螺纹杆轴接在移动定位座内部的左上侧，同时操作螺纹杆的后端与第一减速器轴接；所述的第一减速器螺栓安装在移动定位座的后端，并且在第一减速器的右端上部螺栓安装第一电机；所述的移动基座上端支撑有升降立柱架结构；所述的固定板上端左侧螺栓安装有第二电机；所述的支撑钢管右端焊接有喷嘴，并且在喷嘴和输送泵之间镶嵌有连接管；所述的活动控制架结构支撑在支撑钢管的上端；所述的拆卸座均焊接在移动定位座的左右两端下部；所述的离子吹风机内部的下侧嵌入有支撑钢管；所述的活动控制架结构包括工作电缸，第一支座，第二支座，活塞杆，传动板和活动密封杆架结构，所述的工作电缸左右两端均螺栓安装有第二支座和第一支座；所述的活塞杆插入在工作电缸的内部，并且在活塞杆的左端螺栓安装有传动板；所述的活动密封杆架结构支撑在传动板的右下侧。
[0006]优选的，所述的活动密封杆架结构包括阻挡座，活动孔，保护套，钢杆，安装头和密封活塞，所述的阻挡座内部开设有活动孔，并且在活动孔的内壁上胶接有保护套；所述的钢杆一端与安装头焊接，另一端穿过保护套；所述的密封活塞镶嵌在安装头的外侧。
[0007]优选的，所述的升降立柱架结构包括限制柱，螺纹竖柱，带动座，侧支边板，双向螺纹杆，夹紧保护板和操作手柄，所述的带动座内部的右侧插接有限制柱和内部的左侧螺纹连接有螺纹竖柱；所述的侧支边板均焊接在带动座前表面的上下两部；所述的双向螺纹杆上下两端均通过轴承支撑有侧支边板；所述的夹紧保护板均螺纹连接在双向螺纹杆外壁的
上下两部；所述的操作手柄螺栓安装在双向螺纹杆的上端。
[0008]与现有技术相比，本技术的有益效果为：
[0009]1.本技术中，所述的工作电缸和活塞杆的设置，带动该钢杆左右活动使用。
[0010]2.本技术中，所述的第一支座和第二支座的设置，稳定的对工作电缸支撑使用。
[0011]3.本技术中，所述的阻挡座、活动孔和保护套的设置，对活动的钢杆密封保护。
[0012]4.本技术中，所述的钢杆和传动板的设置，配合密封活塞活动使用。
[0013]5.本技术中，所述的安装头和密封活塞的设置，在支撑钢管内活动时，控制喷嘴的使用数量，进而调节清洗的范围。
[0014]6.本技术中，所述的限制柱和螺纹竖柱的设置，带动该支撑钢管升降调节。
[0015]7.本技术中，所述的带动座和侧支边板的设置，稳定的配合其它结构活动支撑。
[0016]8.本技术中，所述的双向螺纹杆、夹紧保护板和操作手柄的设置，手动操作从而方便的配合支撑钢管拆卸维护。
附图说明
[0017]图1是本技术的结构示意图。
[0018]图2是本技术的活动控制架结构的结构示意图。
[0019]图3是本技术的活动密封杆架结构的结构示意图。
[0020]图4是本技术的升降立柱架结构的结构示意图。
[0021]图中：
[0022]1、移动定位座；2、操作螺纹杆；3、第一减速器；4、第一电机；5、移动基座；6、升降立柱架结构；61、限制柱；62、螺纹竖柱；63、带动座；64、侧支边板；65、双向螺纹杆；66、夹紧保护板；67、操作手柄；7、固定板；8、第二电机；9、支撑钢管；10、喷嘴；11、活动控制架结构；111、工作电缸；112、第一支座；113、第二支座；114、活塞杆；115、传动板；116、活动密封杆架结构；1161、阻挡座；1162、活动孔；1163、保护套；1164、钢杆；1165、安装头；1166、密封活塞；12、连接头；13、连接管；14、输送泵；15、拆卸座；16、离子吹风机。
具体实施方式
[0023]以下结合附图对本技术做进一步描述：
[0024]实施例：
[0025]如附图1所示，一种便于维护的硅片清洗干燥装置，包括移动定位座1，操作螺纹杆2，第一减速器3，第一电机4，移动基座5，升降立柱架结构6，固定板7，第二电机8，支撑钢管9，喷嘴10，活动控制架结构11，连接头12，连接管13，输送泵14，拆卸座15和离子吹风机16，所述的移动定位座1内部上方的左侧插接有移动基座5，并且在移动基座5内螺纹连接操作螺纹杆2；所述的操作螺纹杆2轴接在移动定位座1内部的左上侧，同时操作螺纹杆2的后端与第一减速器3轴接；所述的第一减速器3螺栓安装在移动定位座1的后端，并且在第一减速器3的右端上部螺栓安装第一电机4；所述的移动基座5上端支撑有升降立柱架结构6；所述
的固定板7上端左侧螺栓安装有第二电机8；所述的支撑钢管9右端焊接有喷嘴10，并且在喷嘴10和输送泵14之间镶嵌有连接管13；所述的活动控制架结构11支撑在支撑钢管9的上端；所述的拆卸座15均焊接在移动定位座1的左右两端下部；所述的离子吹风机16内部的下侧嵌入有支撑钢管9。
[0026]如附图2所示，上述实施例中，具体的，所述的活动控制架结构11包括工作电缸111，第一支座112，第二支座113，活塞杆114，传动板115和活动密封杆架结构116，所述的工作电缸111左右两端均螺栓安装有第二支座113和第一支座112；驱动工作电缸111配合活塞杆114带动传动板115下侧的钢杆1164活动；所述的活塞杆114插入在工作电缸111的内部，并且在活塞杆114的左端螺栓安装有传动板115；所述的活动密封杆架结构116支撑在传动板115的右下侧。
[0027]如附图3所示，上述实施例中，具体的，所述的活动密封杆架结构116包括阻挡座1161，活动孔1162，保护套1163，钢杆1164，安装头1165和密封活塞1166，所述的阻挡座1161内部开设有活动孔1162，并且在活动孔11本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种便于维护的硅片清洗干燥装置，其特征在于，该便于维护的硅片清洗干燥装置，包括移动定位座(1)，操作螺纹杆(2)，第一减速器(3)，第一电机(4)，移动基座(5)，升降立柱架结构(6)，固定板(7)，第二电机(8)，支撑钢管(9)，喷嘴(10)，活动控制架结构(11)，连接头(12)，连接管(13)，输送泵(14)，拆卸座(15)和离子吹风机(16)，所述的移动定位座(1)内部上方的左侧插接有移动基座(5)，并且在移动基座(5)内螺纹连接操作螺纹杆(2)；所述的操作螺纹杆(2)轴接在移动定位座(1)内部的左上侧，同时操作螺纹杆(2)的后端与第一减速器(3)轴接；所述的第一减速器(3)螺栓安装在移动定位座(1)的后端，并且在第一减速器(3)的右端上部螺栓安装第一电机(4)；所述的移动基座(5)上端支撑有升降立柱架结构(6)；所述的固定板(7)上端左侧螺栓安装有第二电机(8)；所述的支撑钢管(9)右端焊接有喷嘴(10)，并且在喷嘴(10)和输送泵(14)之间镶嵌有连接管(13)；所述的活动控制架结构(11)支撑在支撑钢管(9)的上端；所述的拆卸座(15)均焊接在移动定位座(1)的左右两端下部；所述的离子吹风机(16)内部的下侧嵌入有支撑钢管(9)；所述的活动控制架结构(11)包括工作电缸(111)，第一支座(112)，第二支座(113)，活塞杆(114)，传动板(115)和活动密封杆架结构(116)，所述的工作电缸(111)左右两端均螺栓安装有第二支座(113)和第一支座(112)；所述的活塞杆(114)插入在工作电缸(111)的内部，并且在活塞杆(114)的左端螺栓安装有传动板(115)；所述的活动密封杆架结构(116)支撑在传动板(115)的右下侧。2.如权利要求1所述的便于维护的硅片清洗干燥装置，其特征在于，所述的活动密封杆架结构(116)包括阻挡座(1161)，活动...
【专利技术属性】
技术研发人员：王宜，张啟涛，汪文飞，
申请(专利权)人：无锡瑞达半导体专用设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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