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本实用新型提供一种便于维护的硅片清洗干燥装置，包括移动定位座，操作螺纹杆，第一减速器，第一电机，移动基座，升降立柱架结构，固定板，第二电机，支撑钢管，喷嘴，活动控制架结构，连接头，连接管，输送泵，拆卸座和离子吹风机，所述的移动定位座内部上方...
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