一种芯片冲洗装置制造方法及图纸

技术编号:30935781 阅读:20 留言:0更新日期:2021-11-23 00:47
本实用新型专利技术提供一种芯片冲洗装置,包括基座,基座两侧垂直且相对设有侧板,侧板间平行于基座设有底板,侧板间设有冲洗机构和刷洗机构,冲洗机构包括安置板、积液槽、冲洗电机和至少一个空气缸,安置板包括多个呈矩阵排列的安置槽,安置槽两侧均设有橡胶环且橡胶环上等距设有多个导液孔,导液孔与安置槽连通,安置槽内穿插且平行设有穿插杆组,穿插杆组连接有连接杆,连接杆两侧分别连接一个空气缸,连接杆一端连接冲洗电机;刷洗机构包括至少一个底杆、至少一个支撑杆、驱动块、驱动组、减速箱和刷洗电机,底杆相对侧设有毛刷,驱动块间设有滑槽。本实用新型专利技术采用机械化操作,提高冲洗效率且通过相同的清洗力度保证芯片的冲洗质量。率且通过相同的清洗力度保证芯片的冲洗质量。率且通过相同的清洗力度保证芯片的冲洗质量。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片冲洗装置


[0001]本技术属于芯片
,具体涉及一种芯片冲洗装置。

技术介绍

[0002]芯片或称集成电路、微电路、微芯片,在电学中是一种把电路小型化的方式,并通常制造在半导体晶圆表面上。芯片以体积小、重量轻、引出线和焊接点少、寿命长、可靠性高、性能好、成本低且便于大规模生产等优点,使其不仅在工、民用电子设备等方面得到广泛的应用,同时在军事、通讯、遥控等方面也得到广泛的应用。用芯片来装配电子设备,其装配密度比晶体管可提高几十倍至几千倍,设备的稳定工作时间也可大大提高。
[0003]芯片在生产过程中,芯片表面常存在颗粒物、有机残留物、无机残留物等污染物,需要用去离子水经过冲洗,达到一定的洁净度,现有技术中,芯片冲洗后常人工采用毛刷进行刷洗,费时费力且清洗效率较低,同时清洗力度和洁净度无法保证。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是提供一种芯片冲洗装置,采用机械化操作,提高冲洗效率且通过相同的清洗力度保证芯片的冲洗质量。
[0005]本技术提供了如下的技术方案:
[0006]一种芯片冲洗装置,包括基座,所述基座两侧垂直且相对设有侧板,所述侧板间平行于基座设有底板,所述侧板间设有冲洗机构和刷洗机构,所述冲洗机构包括安置板、积液槽、冲洗电机和至少一个空气缸,所述安置板包括多个呈矩阵排列的安置槽,所述安置槽两侧均设有橡胶环且橡胶环上等距设有多个导液孔,所述导液孔与安置槽连通,所述安置槽内穿插且平行设有穿插杆组,所述穿插杆组连接有连接杆,所述连接杆两侧分别连接一个空气缸,所述连接杆一端连接冲洗电机;所述刷洗机构包括至少一个底杆、至少一个支撑杆、驱动块、驱动组、减速箱和刷洗电机,所述底杆相对侧设有毛刷,所述驱动块间设有滑槽,所述驱动组一端连接驱动块且另一端连接减速箱,所述减速箱连接刷洗电机,所述底板上且位于刷洗电机相对侧设有控制器,所述冲洗电机、刷洗电机和空气缸均电性连接控制器。
[0007]优先地,所述支撑杆垂直设于底杆上,所述驱动组包括立板、驱动环、滑动块、转轴、驱动杆和侧滑块,所述立板靠近驱动块一侧设有凸块,所述驱动环设于凸块外侧,所述驱动环外侧设有固定块,所述固定块上设有凹槽,所述转轴一端连接减速箱且转轴另一端穿过立板,所述驱动杆一端连接凸块偏离圆心处且连接转轴另一端,所述驱动杆另一端连接滑动块,所述侧滑块设于滑动块上远离驱动杆一端且侧滑块插入滑槽内。
[0008]优先地,所述底板上设有升降台,所述减速箱和刷洗电机均设于升降台上。
[0009]优先地,所述空气缸分设于两侧的侧板上,所述空气缸下连接有真空吸盘,两端的连接杆上且与空气缸同竖直轴线上设有漏槽,所述真空吸盘设于漏槽内,所述连接杆靠近冲洗电机一侧设有角度传感器,所述角度传感器电性连接控制器。
[0010]优先地,两侧的侧板内均设有通槽,所述通槽靠近基座一端设有接近传感器,所述接近传感器电性连接控制器,所述连接杆插入两侧的通槽内。
[0011]优先地,所述积液槽靠近连接杆两侧设有容纳槽,所述容纳槽宽度大于连接杆直径。
[0012]优先地,所述容纳槽底部至积液槽底部的距离大于安置板宽度的二分之一,所述积液槽长度大于安置板长度。
[0013]本技术的有益效果是:
[0014]1.芯片卡设于安置槽内,并由两侧的橡胶环限位,冲洗时,空气缸通过连接杆推动安置板和芯片下移,连接杆与接近传感器接触时停止,积液槽内填充有去离子水或纯水,刷洗电机驱动连接杆携带安置板和芯片转动,去离子水或纯水通过安置槽和导液孔对芯片进行冲洗,保证芯片的洁净度;
[0015]2.芯片冲洗后,驱动电机通过角度传感器使安置板转动,使安置板与底座垂直,刷洗电机通过转轴带动驱动杆转动,驱动杆带动滑动块在凹槽内滑动,滑动块带动侧滑块在滑槽内滑动并带动驱动块竖直移动,驱动块带动支撑杆、底杆和毛刷移动,毛刷设于安置板两侧且竖直移动过程中对芯片进行刷洗,刷洗力度相同且保证冲洗质量。
附图说明
[0016]附图用来提供对本技术的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本技术的实施例一起用于解释本技术,并不构成对本技术的限制。在附图中:
[0017]图1是本技术的连接示意图;
[0018]图2是本技术的安置板俯视连接示意图;
[0019]图3是本技术的安置板侧视连接示意图;
[0020]图4是本技术的驱动组连接示意图;
[0021]图5是本技术的积液槽侧视连接示意图。
[0022]图中标记为:1.基座,2.侧板,21.底板,211.升降台,22.通槽,221.接近传感器,3.冲洗机构,31.安置板,311.安置槽,312.橡胶环,313.导液孔,314.穿插杆组,315.连接杆,316.角度传感器,32.积液槽,321.容纳槽,33.冲洗电机,34.空气缸,341.真空吸盘,4.刷洗机构,41.底杆,411.毛刷,42.支撑杆,43.驱动块,431.滑槽,44.减速箱,45.刷洗电机,5.驱动组,51.立板,511.凸块,52.驱动环,521.固定块,522.凹槽,53.滑动块,54.转轴,55.驱动杆,56.侧滑块,6.控制器。
具体实施方式
[0023]如图1所示,一种芯片冲洗装置,包括基座1,基座1两侧垂直且相对设有侧板2,侧板2间平行于基座1设有底板21,侧板2间设有冲洗机构3和刷洗机构4。
[0024]如图1、图2、图3和图5所示,冲洗机构3包括安置板31、积液槽32、冲洗电机33和至少一个空气缸34,安置板31包括多个呈矩阵排列的安置槽311,安置槽311两侧均设有橡胶环312且橡胶环312上等距设有多个导液孔313,导液孔313与安置槽311连通,安置槽311内穿插且平行设有穿插杆组314,穿插杆组314连接有连接杆315,连接杆315两侧分别连接一个空气缸34,连接杆315一端连接冲洗电机33,空气缸34分设于两侧的侧板2上,空气缸34下
连接有真空吸盘341,两端的连接杆315上且与空气缸34同竖直轴线上设有漏槽,真空吸盘341设于漏槽内,连接杆315靠近冲洗电机33一侧设有角度传感器316,角度传感器316电性连接控制器6,两侧的侧板2内均设有通槽22,通槽22靠近基座1一端设有接近传感器221,接近传感器221电性连接控制器6,连接杆315插入两侧的通槽22内,积液槽32靠近连接杆315两侧设有容纳槽321,容纳槽321宽度大于连接杆315直径,容纳槽321底部至积液槽32底部的距离大于安置板31宽度的二分之一,积液槽32长度大于安置板31长度;芯片卡设于安置槽311内,并由两侧的橡胶环312限位,冲洗时,空气缸34通过连接杆315推动安置板31和芯片下移,连接杆315与接近传感器221接触时停止,积液槽32内填充有去离子水或纯水,刷洗电机45驱动连接杆315携带安置板31和芯片转动,去离子水或纯水通过安置槽311和导液孔313对芯片进行冲洗,保证芯片的洁净度本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片冲洗装置,包括基座,所述基座两侧垂直且相对设有侧板,所述侧板间平行于基座设有底板,其特征在于:所述侧板间设有冲洗机构和刷洗机构,所述冲洗机构包括安置板、积液槽、冲洗电机和至少一个空气缸,所述安置板包括多个呈矩阵排列的安置槽,所述安置槽两侧均设有橡胶环且橡胶环上等距设有多个导液孔,所述导液孔与安置槽连通,所述安置槽内穿插且平行设有穿插杆组,所述穿插杆组连接有连接杆,所述连接杆两侧分别连接一个空气缸,所述连接杆一端连接冲洗电机;所述刷洗机构包括至少一个底杆、至少一个支撑杆、驱动块、驱动组、减速箱和刷洗电机,所述底杆相对侧设有毛刷,所述驱动块间设有滑槽,所述驱动组一端连接驱动块且另一端连接减速箱,所述减速箱连接刷洗电机,所述底板上且位于刷洗电机相对侧设有控制器,所述冲洗电机、刷洗电机和空气缸均电性连接控制器。2.根据权利要求1所述的芯片冲洗装置,其特征在于:所述支撑杆垂直设于底杆上,所述驱动组包括立板、驱动环、滑动块、转轴、驱动杆和侧滑块,所述立板靠近驱动块一侧设有凸块,所述驱动环设于凸块外侧,所述驱动环外侧设有固定块,所述固定块上设有凹槽,所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈康刘四化王宜张啟涛
申请(专利权)人:无锡瑞达半导体专用设备有限公司
类型:新型
国别省市:

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