本技术涉及一种石英管内壁自动火抛光装置，包括底板，所述底板上设有自动火抛光机构，所述自动火抛光机构包括固定安装于底板上表面的火抛光机，所述火抛光机上表面固定安装有喷枪，所述底板上表面固定安装有位于火抛光机左侧的一号安装板和二号安装板，所...

本技术涉及一种硅环表面高精倾斜度的加工设备，包括加工台，所述加工台上设置有固定调节机构，所述加工台上设置有除尘机构，所述固定调节机构包括固定安装于加工台顶部的加工罩，所述加工台的底部固定安装有抱闸电机，所述抱闸电机的输出轴固定安装有加工...

本实用新型涉及一种半导体硅片倒角磨边机，包括底板，所述底板顶部固定连接有架体，所述架体内部固定连接有第一电动推杆，所述第一电动推杆底部固定连接有打磨电机，所述打磨电机底部固定连接有打磨盘，所述底板内部设置有传输带，所述传输带顶部固定连接...

本发明公开了一种用于半导体基片反应室的微弧氧化处理装置，涉及到氧化处理设备领域，包括进料仓，进料仓的顶端开设有方口，进料仓的内部固定连接有固定斜板，进料仓的内部设置有转动组件，转动组件包括弧形板，弧形板设置有多个，弧形板转动连接在进料仓...

本实用新型涉及硅电机清洗设备技术领域，具体为一种用于硅电极清洗的治具，包括硅电极片和清洗箱，清洗箱的内壁前端和内壁后端均安装有多个清洗喷头，清洗箱的内部设置有清洗支架，清洗支架包括顶板，顶板的底端固定连接有两个支板，两个支板相对端均转动...

本实用新型公开了一种循环式半导体设备超声清洗机构，包括壳体，所述壳体的两侧内壁均开设有两个滑槽，滑槽内活动连接有清洗盒，清洗盒的底部外壁固定连接有多个拉簧，且拉簧与壳体相固定，所述清洗盒的一侧外壁固定连接有齿条，所述壳体的一侧外壁固定连...

本发明公开了一种多孔硅电极复合材料及其加工方法，制备时先将多孔硅粉与氧化石墨烯复合，得到石墨烯复合硅粉，在该步骤中将多孔硅粉嵌入氧化石墨烯片层，氧化石墨烯独特的片层结构能够有助于电解液的浸润和离子传输，同时也能避免合金化反应过程中多孔硅...

本发明公开了一种循环稳定性好的硅电极材料及其制备方法，包括以下工艺：(1)γ

本实用新型涉及石英环装夹治具的技术领域，特别是涉及一种SEMI石英环装夹治具，其方便装置对不同大小的石英环进行装夹作业，提高了装置对于石英环的固定效果，提高了装置对石英环的加工效果，提高了实用性；工作仓的顶端通过多个支块安装有固定槽，固...

本实用新型涉及石英电极的技术领域，特别是涉及一种SEMI石英电极的低温充氮装置，其使得石英电极在罐体内部的低温环境中受冷更加的均匀，提高了装置内部的降温效果，提高了装置的使用效率和使用效果，提高了实用性；罐体的底端分别安装有氮气仓和降温...

本实用新型涉及石英环加工技术领域，具体为一种石英环外圆打磨用废屑收集治具，包括底板和石英环本体，底板连接有支撑架，支撑架安装有固定机构，底板连接有支座，支座连接有工作台，石英环本体放置在工作台的顶端，工作台转动连接有转动座，转动座开设有...

本实用新型涉及石英硅环装夹的技术领域，特别是涉及一种石英硅环装夹装置，其提高了装置对石英块的装夹效果，避免了在对石英块进行加工的过程中容易使石英块发生位移，并且可以对不同大小的石英块进行装夹作业，提高了实用性；工作台的顶端右部设置有两个...