【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体器件加工，具体为一种硅环表面高精倾斜度的加工设备。
技术介绍
1、硅环是集成电路制造过程中的一种辅助材料，主要用在离子注入工序用于支撑和固定硅片，硅是一种非金属元素，作为仅次于氧的最丰富的元素存在于地壳中，主要以熔点很高的氧化物和硅酸盐的形式存在，在对硅环表面进行加工时需要用到打磨设备对硅环进行加工。
2、请参阅申请号为202110926138.4的一种硅环表面高精倾斜度的加工设备及其加工方法，在该申请中提出“目前硅坏加工工艺为外径研磨、外径倒角、双面研磨、加工中心做a面内径和定位孔、加工中心做b面卡槽、腐蚀、卡槽研磨、卡槽抛光、双面抛光、清洗，部分硅环需要对内径加工:硅环研磨采用车床用砂轮研磨，硅环倒角采用倒角盆手动倒角，这种方法加丅出来的硅环内外径倾斜度难以控制，倒角的一致性很差，同时倒角后会有很多小崩边，影响硅环的使用寿命，使用名种设备加工，缺乏专用千环形产品的加工设备，加工效率低，而且现有的硅环加工过程中会产生飞灰逸散到空气中，污染环境”本申请针对该技术问题提出另外一种技术方案来解决该技术问题。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本技术提供了一种硅环表面高精倾斜度的加工设备，具备固定、调节、除尘等优点，解决了硅环研磨采用车床用砂轮研磨，硅环倒角采用倒角盆手动倒角，这种方法加丅出来的硅环内外径倾斜度难以控制，倒角的一致性很差，同时倒角后会有很多小崩边，影响硅环的使用寿命，使用名种设备加工，缺乏专用千环形产品的加工设备，加工效率低，而且现有的硅环
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种硅环表面高精倾斜度的加工设备，包括加工台，所述加工台上设置有固定调节机构，所述加工台上设置有除尘机构；
3、所述固定调节机构包括固定安装于加工台顶部的加工罩，所述加工台的底部固定安装有抱闸电机，所述抱闸电机的输出轴固定安装有加工座，所述加工座的底部固定安装有数量为两个的限位块，所述加工座的内部固定安装有固定块，所述固定块的两侧均固定安装有限位杆，所述固定块的内部转动连接有丝杆，所述丝杆的外侧螺纹连接有数量为两个的活动块，两个所述活动块相对的一侧均固定安装有定位块，所述加工罩的顶部活动连接有移动座，所述移动座的底部固定安装有电动推杆，所述电动推杆的输出端固定安装有打磨组件。
4、进一步，所述加工台的底部开设有转动孔，所述抱闸电机的输出轴通过转动孔与加工座固定连接。
5、进一步，所述加工台的顶部开设有圆形槽，所述限位块通过圆形槽与加工台活动连接。
6、进一步，所述丝杆的外侧开设有两段相反方向的螺纹槽，两个所述活动块的内部开设有与螺纹槽方向相对应的螺纹孔，所述活动块通过螺纹孔在丝杆上进行相对或相背移动。
7、进一步，所述加工座的顶部开设有第一活动槽，所述活动块通过第一活动槽延伸至加工座的顶部。
8、进一步，所述加工罩的顶部开设有第二活动槽，所述移动座通过第二活动槽与加工罩活动连接。
9、进一步，所述除尘机构包括固定安装于加工罩两侧内壁上的固定杆，两个所述固定杆相对的一侧均固定安装有集尘罩，所述加工罩的背面固定安装有集尘箱，所述集尘箱的内顶壁上固定安装有与集尘罩固定连接的连接软管，所述连接软管的底部固定安装有出尘罩，所述集尘箱的内部活动连接有集尘布袋，所述集尘箱的内部固定安装有防护架，所述集尘箱的内底壁上固定安装有抽气泵。
10、进一步，所述加工罩的背面开设有密封孔，所述连接软管通过密封孔延伸至加工罩的外侧与集尘箱固定连接。
11、进一步，所述集尘箱的背面开设有密封门，且密封门上设置有把手。
12、与现有技术相比，本申请的技术方案具备以下有益效果：
13、1、该硅环表面高精倾斜度的加工设备，通过设置的固定调节机构，在对硅环进行加工打磨时，通过加工台上各结构之间的相互配合，可对硅环进行旋转固定，配合打磨组件可实现对硅环的全方位旋转打磨，提升对硅环的打磨质量，提升打磨效率。
14、2、该硅环表面高精倾斜度的加工设备，通过设置的除尘机构，在硅环进行打磨时，通过加工台上各结构之间的相互配合，可将打磨产生的粉尘通过连接软管收集至集尘箱内部的集尘布袋中进行收集，避免粉尘四处飞散被工作人员吸入体内，影响身体健康，从而有助于提升硅环加工装置的安全性与实用性。
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1.一种硅环表面高精倾斜度的加工设备，包括加工台(1)，其特征在于：所述加工台(1)上设置有固定调节机构，所述加工台(1)上设置有除尘机构；
2.根据权利要求1所述的一种硅环表面高精倾斜度的加工设备，其特征在于：所述加工台(1)的底部开设有转动孔，所述抱闸电机(3)的输出轴通过转动孔与加工座(4)固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种硅环表面高精倾斜度的加工设备，其特征在于：所述加工台(1)的顶部开设有圆形槽，所述限位块(5)通过圆形槽与加工台(1)活动连接。
4.根据权利要求1所述的一种硅环表面高精倾斜度的加工设备，其特征在于：所述丝杆(8)的外侧开设有两段相反方向的螺纹槽，两个所述活动块(9)的内部开设有与螺纹槽方向相对应的螺纹孔，所述活动块(9)通过螺纹孔在丝杆(8)上进行相对或相背移动。
5.根据权利要求1所述的一种硅环表面高精倾斜度的加工设备，其特征在于：所述加工座(4)的顶部开设有第一活动槽，所述活动块(9)通过第一活动槽延伸至加工座(4)的顶部。
6.根据权利要求1所述的一种硅环表面高精倾斜度的加工设备，
7.根据权利要求1所述的一种硅环表面高精倾斜度的加工设备，其特征在于：所述除尘机构包括固定安装于加工罩(2)两侧内壁上的固定杆(14)，两个所述固定杆(14)相对的一侧均固定安装有集尘罩(15)，所述加工罩(2)的背面固定安装有集尘箱(17)，所述集尘箱(17)的内顶壁上固定安装有与集尘罩(15)固定连接的连接软管(16)，所述连接软管(16)的底部固定安装有出尘罩(18)，所述集尘箱(17)的内部活动连接有集尘布袋(19)，所述集尘箱(17)的内部固定安装有防护架(20)，所述集尘箱(17)的内底壁上固定安装有抽气泵(21)。
8.根据权利要求7所述的一种硅环表面高精倾斜度的加工设备，其特征在于：所述加工罩(2)的背面开设有密封孔，所述连接软管(16)通过密封孔延伸至加工罩(2)的外侧与集尘箱(17)固定连接。
9.根据权利要求7所述的一种硅环表面高精倾斜度的加工设备，其特征在于：所述集尘箱(17)的背面开设有密封门，且密封门上设置有把手。
...【技术特征摘要】
1.一种硅环表面高精倾斜度的加工设备，包括加工台(1)，其特征在于：所述加工台(1)上设置有固定调节机构，所述加工台(1)上设置有除尘机构；
2.根据权利要求1所述的一种硅环表面高精倾斜度的加工设备，其特征在于：所述加工台(1)的底部开设有转动孔，所述抱闸电机(3)的输出轴通过转动孔与加工座(4)固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种硅环表面高精倾斜度的加工设备，其特征在于：所述加工台(1)的顶部开设有圆形槽，所述限位块(5)通过圆形槽与加工台(1)活动连接。
4.根据权利要求1所述的一种硅环表面高精倾斜度的加工设备，其特征在于：所述丝杆(8)的外侧开设有两段相反方向的螺纹槽，两个所述活动块(9)的内部开设有与螺纹槽方向相对应的螺纹孔，所述活动块(9)通过螺纹孔在丝杆(8)上进行相对或相背移动。
5.根据权利要求1所述的一种硅环表面高精倾斜度的加工设备，其特征在于：所述加工座(4)的顶部开设有第一活动槽，所述活动块(9)通过第一活动槽延伸至加工座(4)的顶部。
6.根据权利要求1所述的一种硅环表面高精倾斜度的加工设备，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：王乃奎，
申请(专利权)人：无锡纳斯凯半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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