一种用于硅电极清洗的治具制造技术

本实用新型专利技术涉及硅电机清洗设备技术领域，具体为一种用于硅电极清洗的治具，包括硅电极片和清洗箱，清洗箱的内壁前端和内壁后端均安装有多个清洗喷头，清洗箱的内部设置有清洗支架，清洗支架包括顶板，顶板的底端固定连接有两个支板，两个支板相对端均转动连接有转杆，两个转杆的外部配合设置有驱动组件，两个转杆的另一端均固定连接有安装板，两个安装板的相对端均连接有下固定网，两个安装板上配合设置有夹紧件，夹紧件包括螺杆，螺杆转动安装在位于右侧的安装板的顶端，螺杆的外壁螺纹连接有移动块，各上固定网的底端均与硅电极片接触，其便于对硅电极进行的两面进行均匀清洗，能够防止使用者手部被腐蚀，实用性较强。实用性较强。实用性较强。

【技术实现步骤摘要】
一种用于硅电极清洗的治具


[0001]本技术涉及硅电机清洗设备
，具体为一种用于硅电极清洗的治具。

技术介绍

[0002]众所周知，硅电极，又叫等离子分流盘，为结构上有大量微孔，且具有一定厚度的硅质圆饼材料，是用来分散等离子体气体，从而使等离子体气体均匀的轰击到晶圆表面，硅电极在加工时需要使用化学腐蚀的方式对其表面和微孔进行清洗处理，而化学腐蚀过程中硅电极和化学酸液存在较为剧烈的化学反应，所以在清洗时需要用到专门的用于硅电极清洗的治具。
[0003]经检索，专利公开号为CN211471641U的技术公开了一种硅电极清洗治具，包括悬挂件和环形圆盘，悬挂件上设有挂钩，环形圆盘包括互相配合且可拆连接的两个半环，两个半环左右对称布置，半环上设有支撑架，支撑架上设有与挂钩适配的转轴，两个半环之间设有用于固定硅电极的固定槽。本技术提供了一种硅电极清洗治具，可以动态旋转刻蚀，避免传统固定式花篮刻蚀带来的接触色差和刻蚀不均的问题。
[0004]其虽然便于对硅电极的两面进行均匀清洗，但是其在清洗时需要使用者手动拨动环形圆盘使硅电极转动从而进行均匀喷淋清洗，但是清洗液为化学酸液，具有较强的腐蚀性，直接用手转动环形圆盘会导致使用者手部与清洗液接触而被腐蚀，导致其实用性较差，还需要进行改进。

技术实现思路

[0005](一)解决的技术问题
[0006]针对现有技术的不足，本技术提供了一种便于对硅电极进行的两面进行均匀清洗，能够防止使用者手部被腐蚀，实用性较强的用于硅电极清洗的治具。
[0007](二)技术方案
[0008]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于硅电极清洗的治具，包括硅电极片和清洗箱，清洗箱的内壁前端和内壁后端均安装有多个清洗喷头，清洗箱的内部设置有清洗支架，清洗支架包括顶板，顶板的底端固定连接有两个支板，两个支板相对端均转动连接有转杆，两个转杆的外部配合设置有驱动组件，两个转杆的另一端均固定连接有安装板，两个安装板的相对端均固定连接有下固定网，两个安装板上配合设置有夹紧件，夹紧件包括螺杆，螺杆转动安装在位于右侧的安装板的顶端，螺杆的外壁螺纹连接有移动块，移动块的左端固定连接有连接板，连接板的左端固定连接有滑套，滑套滑动套设在位于左侧的安装板的外部，连接板的底端固定连接有两个推杆，两个推杆的底端均固定连接有上固定网，所述硅电极片放置在两个下固定网的顶端，各上固定网的底端均与硅电极片接触。
[0009]优选的，所述驱动组件包括电机，电机固定安装在位于右侧的支板上，电机的输出轴端固定连接有主杆，主杆的左端穿过位于右侧的支板并与位于左侧的支板转动连接，主
杆的外壁固定连接有两个主齿轮，各所述转杆的外壁均固定连接有副齿轮，各副齿轮分别与各主齿轮啮合。
[0010]进一步的，各所述支板的侧壁均固定连接有固定架，各固定架的内壁均与所述清洗箱的侧壁接触，清洗箱的侧壁上开设有两个螺纹孔，各固定架均通过固定杆与各螺纹孔螺纹连接。
[0011]再进一步的，顶板与两个支板之间均连接有两个防护箱，位于左侧的防护箱设置在位于左侧的主齿轮和副齿轮的外部，位于右侧的防护箱设置在位于右侧的主齿轮和副齿轮的外部，各防护箱与主杆和各转杆的连接位置均设置有密封圈。
[0012]在前述方案的基础上，位于左侧的安装板的顶端固定连接有限位板，螺杆的顶端固定连接有转动把手。
[0013]在前述方案的基础上进一步的，所述顶板的顶端固定连接有手持架。
[0014](三)有益效果
[0015]与现有技术相比，本技术提供了一种用于硅电极清洗的治具，具备以下有益效果：该用于硅电极清洗的治具，通过设置夹紧件、安装板和下固定网，便于对硅电极片进行夹持固定，通过设置顶板、支板、转杆和驱动组件，便于带动硅电机片持续转动，使清洗液对硅电极片的两面能够均匀喷淋清洗，代替对比文件中需要使用者手动对固定硅电机片的环形圆盘进行转动，能够防止使用者手部接触到清洗液而被腐蚀，提高了装置的实用性。
附图说明
[0016]图1为本技术的局部剖视结构示意图；
[0017]图2为本技术图1中安装板、硅电极片和夹紧件的放大结构示意图；
[0018]图3为本技术图1中A处的局部放大结构示意图；
[0019]图4为本技术中位于左侧的防护箱的右视剖视立体结构示意图；
[0020]图5为本技术的主视结构示意图。
[0021]图中：1、硅电极片；2、清洗箱；3、清洗喷头；4、顶板；5、支板；6、转杆；7、安装板；8、下固定网；9、螺杆；10、移动块；11、连接板；12、滑套；13、推杆；14、上固定网；15、电机；16、主杆；17、主齿轮；18、副齿轮；19、固定架；20、固定杆；21、防护箱；22、密封圈；23、限位板；24、转动把手；25、手持架。
具体实施方式
[0022]实施例
[0023]请参阅图1
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5，一种用于硅电极清洗的治具，包括硅电极片1和清洗箱2，清洗箱2的内壁前端和内壁后端均安装有多个清洗喷头3，清洗箱2的内部设置有清洗支架，清洗支架包括顶板4，顶板4的顶端固定连接有手持架25，便于使用者拿取清洗支架，顶板4的底端固定连接有两个支板5，两个支板5相对端均转动连接有转杆6，两个转杆6的外部配合设置有驱动组件，驱动组件包括电机15，电机15固定安装在位于右侧的支板5上，电机15的输出轴端固定连接有主杆16，主杆16的左端穿过位于右侧的支板5并与位于左侧的支板5转动连接，主杆16的外壁固定连接有两个主齿轮17，各转杆6的外壁均固定连接有副齿轮18，各副齿轮18分别与各主齿轮17啮合，驱动组件便于带动硅电极片1转动，顶板4与两个支板5之间
均连接有两个防护箱21，防护箱21便于对主齿轮17和副齿轮18进行保护，能够防止清洗液将其腐蚀影响装置运行，提高了装置的使用可靠性，位于左侧的防护箱21设置在位于左侧的主齿轮17和副齿轮18的外部，位于右侧的防护箱21设置在位于右侧的主齿轮17和副齿轮18的外部，各防护箱21与主杆16和各转杆6的连接位置均设置有密封圈22，密封圈22采用防腐材质，能够防止清洗液进入至防护箱21的内部，两个转杆6的另一端均固定连接有安装板7，两个安装板7的相对端均固定连接有下固定网8，两个安装板7上配合设置有夹紧件，夹紧件包括螺杆9，螺杆9转动安装在位于右侧的安装板7的顶端，螺杆9的外壁螺纹连接有移动块10，移动块10的左端固定连接有连接板11，连接板11的左端固定连接有滑套12，滑套12滑动套设在位于左侧的安装板7的外部，位于左侧的安装板7的顶端固定连接有限位板23，限位板23便于对滑套12进行限位，能够防止其与位于左侧的安装板7脱离，螺杆9的顶端固定连接有转动把手24，便于使用者对螺杆9进行转动，连接板11的底端固定连接有两个推杆13，两个推杆13的底端均固定连接有上固定网14，上固定网14和下固定网8均为网状结构，便于使清洗液与硅电本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于硅电极清洗的治具，包括硅电极片(1)，其特征在于：还包括清洗箱(2)，清洗箱(2)的内壁前端和内壁后端均安装有多个清洗喷头(3)，清洗箱(2)的内部设置有清洗支架，清洗支架包括顶板(4)，顶板(4)的底端固定连接有两个支板(5)，两个支板(5)相对端均转动连接有转杆(6)，两个转杆(6)的外部配合设置有驱动组件，两个转杆(6)的另一端均固定连接有安装板(7)，两个安装板(7)的相对端均固定连接有下固定网(8)，两个安装板(7)上配合设置有夹紧件，夹紧件包括螺杆(9)，螺杆(9)转动安装在位于右侧的安装板(7)的顶端，螺杆(9)的外壁螺纹连接有移动块(10)，移动块(10)的左端固定连接有连接板(11)，连接板(11)的左端固定连接有滑套(12)，滑套(12)滑动套设在位于左侧的安装板(7)的外部，连接板(11)的底端固定连接有两个推杆(13)，两个推杆(13)的底端均固定连接有上固定网(14)，所述硅电极片(1)放置在两个下固定网(8)的顶端，各上固定网(14)的底端均与硅电极片(1)接触。2.根据权利要求1所述的一种用于硅电极清洗的治具，其特征在于：所述驱动组件包括电机(15)，电机(15)固定安装在位于右侧的支板(5)上，电机(15)的输出轴端固定连接有主杆(16)，主杆(...

【专利技术属性】
技术研发人员：王宁，
申请(专利权)人：无锡纳斯凯半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：