本实用新型专利技术涉及石英电极的技术领域，特别是涉及一种SEMI石英电极的低温充氮装置，其使得石英电极在罐体内部的低温环境中受冷更加的均匀，提高了装置内部的降温效果，提高了装置的使用效率和使用效果，提高了实用性；罐体的底端分别安装有氮气仓和降温仓，氮气仓和降温仓的底端安装有工作台，氮气仓的右端连通设置有第一管道，第一管道固定在降温仓的内部，降温仓的右端安装有气泵并与第一管道的右端连通，气泵的输出端连通设置有第二管道，第二管道的顶端连通设置有第三管道，第三管道安装在罐体的内部顶部区域，固定轴上设置有通风网，位于罐体左端旋转轴的左端设置有旋转盘，旋转盘安装在罐体的外侧壁上。旋转盘安装在罐体的外侧壁上。旋转盘安装在罐体的外侧壁上。
【技术实现步骤摘要】
一种SEMI石英电极的低温充氮装置
[0001]本技术涉及石英电极的
，具体为一种SEMI石英电极的低温充氮装置。
技术介绍
[0002]众所周知，紫外接枝聚合是近年来出现的一种新型表面印迹技术，其通过紫外光照使石英电极表面引发聚合反应，从而在石英电极表面形成印迹聚合物层。
[0003]经检索，中国专利公开号为CN203269837U的技术专利公开了一种石英电极的低温充氮装置，包括循环水管、筒体、上盖、石英电极、支架、隔离玻璃、硅胶管和塑料管；其中循环水管排列在筒体底部，当石英电极表面进行聚合反应时，循环水管内通入循环冷水，硅胶管一端通入氮气，氮气从多个塑料管流出，且经隔离玻璃四周边缘缓慢沉降到石英电极周围，紫外照射一段时间后取出石英电极，本技术结构合理，成本低廉，操作方便，生产成本低，不仅满足石英电极表面聚合反应在低温通氮环境中进行，也避免氮气中低能粒子污染石英电极表面。
[0004]但是上述现有技术方案中石英电极在装置内部的低温环境中受冷不均匀，并且装置仅仅靠水旋转进行降温作业，降温效果较差，降低了装置的使用效率和使用效果，具有一定的局限性，因此需要一种SEMI石英电极的低温充氮装置。
技术实现思路
[0005](一)解决的技术问题
[0006]针对现有技术的不足，本技术提供了一种使得石英电极在罐体内部的低温环境中受冷更加的均匀，提高了装置内部的降温效果，提高了装置的使用效率和使用效果，提高了实用性的SEMI石英电极的低温充氮装置。
[0007](二)技术方案r/>[0008]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种SEMI石英电极的低温充氮装置，包括罐体，所述罐体的底端分别安装有氮气仓和降温仓，氮气仓和降温仓的底端安装有工作台，氮气仓的右端连通设置有第一管道，第一管道固定在降温仓的内部，降温仓的右端安装有气泵并与第一管道的右端连通，气泵的输出端连通设置有第二管道，第二管道的顶端连通设置有第三管道，第三管道安装在罐体的内部顶部区域，第三管道的底端连通设置有多个喷头，罐体的内部安装有隔离玻璃并位于第三管道的正下方，降温仓的内部底端安装有冷凝棒和水泵，水泵的输出端连通设置有循环管，循环管缠绕在罐体的内部底端，循环管的右端与降温仓的顶端连通，循环管的顶端安装有通孔板，罐体的内侧壁上旋转安装有两个旋转轴，两个旋转轴之间通过旋转网仓连接，旋转网仓的顶端连通设置有第一取放门，旋转网仓的内部横向安装有固定轴，固定轴上设置有通风网，通风网上设置有多个隔板，位于罐体左端旋转轴的左端设置有旋转盘，旋转盘安装在罐体的外侧壁上。
[0009]优选的，所述罐体的前端通过两个合叶安装有第二取放门，第二取放门的前端设
置有把手。
[0010]进一步的，所述工作台的底端四周设置有四个垫块，每个垫块的底端均设置有螺纹槽并滑动螺装有螺杆，每个螺杆的底端均旋转安装有基座。
[0011]再进一步的，所述降温仓的前端设置有温度计。
[0012]再前述方案的基础上，所述降温仓的前端设置有刻度尺。
[0013]进一步的，所述降温仓的前端设置有第二检修门。
[0014](三)有益效果
[0015]与现有技术相比，本技术提供了一种SEMI石英电极的低温充氮装置，具备以下有益效果：
[0016]该SEMI石英电极的低温充氮装置，通过罐体、第一检修门、氮气仓、降温仓、工作台、第一管道、气泵、第二管道和第三管道对罐体的内部提供氮气支持，通过隔离玻璃、冷凝棒、水泵、循环管和通孔板的配合，对罐体的内部进行低温降温作业，通过旋转轴、旋转网仓、第一取放门、固定轴、隔板、通风网和旋转盘的配合，对石英电极进行旋转翻滚作业，使得石英电极在罐体内部的低温环境中受冷更加的均匀，提高了装置内部的降温效果，提高了装置的使用效率和使用效果，提高了实用性。
附图说明
[0017]图1为本技术剖面结构示意图；
[0018]图2为本技术主视图的结构示意图；
[0019]图3为本技术图1中A部的放大结构示意图；
[0020]图4为本技术部分左视图的剖面结构示意图；
[0021]图5为本技术部分侧视图的结构示意图。
[0022]附图中标记：1、罐体；2、第一检修门；3、氮气仓；4、降温仓；5、工作台；6、第一管道；7、气泵；8、第二管道；9、第三管道；10、隔离玻璃；11、冷凝棒；12、水泵；13、循环管；14、通孔板；15、旋转轴；16、旋转网仓；17、第一取放门；18、固定轴；19、隔板；20、通风网；21、旋转盘；22、第二取放门；23、合叶；24、把手；25、垫块；26、螺杆；27、基座；28、温度计；29、刻度尺；30、第二检修门；31、石英电极。
具体实施方式
[0023]实施例
[0024]请参阅图1
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5，一种SEMI石英电极的低温充氮装置，包括罐体1，罐体1的底端分别安装有氮气仓3和降温仓4，氮气仓3和降温仓4的底端安装有工作台5，氮气仓3的右端连通设置有第一管道6，第一管道6固定在降温仓4的内部，降温仓4的右端安装有气泵7并与第一管道6的右端连通，气泵7的输出端连通设置有第二管道8，第二管道8的顶端连通设置有第三管道9，第三管道9安装在罐体1的内部顶部区域，第三管道9的底端连通设置有多个喷头，罐体1的内部安装有隔离玻璃10并位于第三管道9的正下方，降温仓4的内部底端安装有冷凝棒11和水泵12，水泵12的输出端连通设置有循环管13，循环管13缠绕在罐体1的内部底端，循环管13的右端与降温仓4的顶端连通，循环管13的顶端安装有通孔板14，罐体1的内侧壁上旋转安装有两个旋转轴15，两个旋转轴15之间通过旋转网仓16连接，旋转网仓16的顶
端连通设置有第一取放门17，旋转网仓16的内部横向安装有固定轴18，固定轴18上设置有通风网20，通风网20上设置有多个隔板19，位于罐体1左端旋转轴15的左端设置有旋转盘21，旋转盘21安装在罐体1的外侧壁上，该SEMI石英电极的低温充氮装置，通过罐体1、第一检修门2、氮气仓3、降温仓4、工作台5、第一管道6、气泵7、第二管道8和第三管道9对罐体1的内部提供氮气支持，通过隔离玻璃10、冷凝棒11、水泵12、循环管13和通孔板14的配合，对罐体1的内部进行低温降温作业，通过旋转轴15、旋转网仓16、第一取放门17、固定轴18、隔板19、通风网20和旋转盘21的配合，对石英电极31进行旋转翻滚作业，使得石英电极31在罐体1内部的低温环境中受冷更加的均匀，提高了装置内部的降温效果，提高了装置的使用效率和使用效果，提高了实用性，罐体1的前端通过两个合叶23安装有第二取放门22，第二取放门22的前端设置有把手24，通过第二取放门22、合叶23和把手24的配合，方便工人对石英电极31进行取放作业，工作台5的底端四周设置有四个垫块25，每个垫块25的底端均设置有螺纹槽并滑动螺装有螺杆26，每个螺杆26的底端均旋转安本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种SEMI石英电极的低温充氮装置，包括罐体(1)，其特征在于：所述罐体(1)的底端分别安装有氮气仓(3)和降温仓(4)，氮气仓(3)和降温仓(4)的底端安装有工作台(5)，氮气仓(3)的右端连通设置有第一管道(6)，第一管道(6)固定在降温仓(4)的内部，降温仓(4)的右端安装有气泵(7)并与第一管道(6)的右端连通，气泵(7)的输出端连通设置有第二管道(8)，第二管道(8)的顶端连通设置有第三管道(9)，第三管道(9)安装在罐体(1)的内部顶部区域，第三管道(9)的底端连通设置有多个喷头，罐体(1)的内部安装有隔离玻璃(10)并位于第三管道(9)的正下方，降温仓(4)的内部底端安装有冷凝棒(11)和水泵(12)，水泵(12)的输出端连通设置有循环管(13)，循环管(13)缠绕在罐体(1)的内部底端，循环管(13)的右端与降温仓(4)的顶端连通，循环管(13)的顶端安装有通孔板(14)，罐体(1)的内侧壁上旋转安装有两个旋转轴(15)，两个旋转轴(15)之间通过旋转网仓(16)连接，旋转网仓(16)的顶端连通设置有第一取放门(17)，旋转网仓(16)的内部横向...
【专利技术属性】
技术研发人员：王宁，
申请(专利权)人：无锡纳斯凯半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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