一种吸气剂图形化的掩膜方式，所述该方式包括如下具体步骤：步骤一、材料准备；步骤二、取带吸气剂图形的掩膜片；步骤三、在掩膜片表面放置8英寸的硅片，放置硅片时，将硅片表面的凸起嵌入掩膜片表面的凹槽内，使硅片表面凸起与掩膜片表面凹槽对应，利用...

本发明涉及一种用于5G光模块中基于氮化铝陶瓷正侧面金属化的制作方法，通过设计工装夹具将侧面装夹成一个平面，再通过研磨抛光解决侧面粗糙度问题，首先保证了侧面光刻时表面平整的问题，对于侧面图像精度有了很大的提升与保障，同时粗糙度问题的解决也...

本发明涉及一种用于5G光模块的陶瓷薄膜电路表面选择性制备金锡共晶焊料的方法，通过此方法，其金锡合金不仅具有良好的润湿性、焊接性和抗腐蚀性，同时其稳定性也较高。本发明制备得到的金锡焊料，能够在指定位置得到表面光亮致密的金锡镀层，金层和锡层...

本发明涉及一种用于5G光模块中陶瓷热沉上同时制备多个金锡焊料的制作方法，通过本制备方法制备得到的金锡焊料，金层和锡层厚度可控，金锡共晶后浸润性好，满足不同的封装需求；形成的共晶合金熔点在280℃±0.2℃，可以维持5min的熔融状态，满...

本发明涉及一种用于5G光模块中基于覆铜板上制作预制金锡的制作方法，通过利用干膜的特性完美解决表面光刻平整的问题与强大的填坑能力，操作方便，极大提高光刻的成品率，干膜的易去除的能力保证了后续处理金锡的效果，和效率，为实现大批量量产提供了便...

本发明一种基于陶瓷的薄膜电阻膜制作方法，S1、将陶瓷基板进行预处理；S2、将陶瓷基板装入工装夹具内，再投放入蒸发镀膜设备，在真空度达到2X10

本发明一种基于氮化铝陶瓷的金属化薄膜制作方法，S1、将氮化铝陶瓷基板进行预处理；S2、将烘干后的氮化铝陶瓷基板投入高温烤箱；S3、对氮化铝陶瓷基板进行清洗；S4、金属化镀膜，将氮化铝基板装入工装夹具内，再投放入蒸发镀膜设备，在真空度达到...

本发明一种基于陶瓷的预置金锡焊料制作方法，S1、将陶瓷基板进行预处理；S2、将陶瓷基板装入工装夹具内，再投放入蒸发镀膜设备，真空镀膜；S3、以30A/s的速度镀制TI层；S4、以25A/s的速度镀制Pt层；S5、以30A/s的速度镀制A...

本实用新型揭示了一种多通道集成滤光片的漫反射光隔离结构，包括设置在基片表面的喷砂处理面，设置在喷砂处理面上的黑铬金属膜层，还包括设置在黑铬金属膜层上的消光层。本实用新型利用黑铬金属膜层满足光学透过性能低的要求，同时，利用由四层氧化物光学...

本实用新型揭示了一种多通道集成滤光片的光隔离结构，包括设置在基片表面上的黑铬金属膜层，以阻止光线通过，黑铬金属膜层分布于多通道集成滤光片通道间的空白区域；还包括消光层，消光层由第一氧化铬膜层、第一二氧化硅膜层、第二氧化铬膜层、第二二氧化...

本发明揭示了一种多通道集成滤光片光隔离结构的制造方法，对基片表面进行化学腐蚀处理，以形成粗糙的腐蚀处理面，再在腐蚀处理面上镀制黑铬金属膜层，在黑铬金属膜层上镀制消光层即得光隔离结构。本发明利用黑铬金属膜层满足光学透过性能低的要求，同时，...

本发明揭示了一种多通道集成滤光片的漫反射光隔离结构，包括设置在基片表面的喷砂处理面，设置在喷砂处理面上的黑铬金属膜层，还包括设置在黑铬金属膜层上的消光层。本发明还揭示了一种多通道集成滤光片的漫反射光隔离结构的制造方法。本发明利用黑铬金属...

本发明揭示了一种多通道集成滤光片的光隔离结构，包括设置在基片表面上的黑铬金属膜层，以阻止光线通过，黑铬金属膜层分布于多通道集成滤光片通道间的空白区域；还包括消光层，消光层由第一氧化铬膜层、第一二氧化硅膜层、第二氧化铬膜层、第二二氧化硅膜...

本发明揭示了一种微空气隙光学元件，包括两块相对设置的棱镜，两块所述棱镜的相对表面上均通过真空镀膜工艺镀有至少三处金属膜，两块棱镜上的所述金属膜厚度相同且位置、数量一一对应设置；两块所述棱镜上的对应金属膜通过真空加热封接工艺连为一体，以固...

本发明揭示了一种多通道集成滤光片，包括一块完整的基片，基片上设置有至少两处光学滤光片膜层。本发明还揭示了一种多通道集成滤光片的制造方法。本发明在一块完整的基片上设置多处光学滤光片膜层，以形成多个光学通道，光学通道之间相互隔绝，互不干扰，...

本发明揭示了一种多通道集成滤光片的制造方法，选用与光学通道一一对应的机械掩膜夹具，通过机械掩膜工艺和光学高真空蒸镀工艺在一块完整的基片上设置多处光学滤光片膜层，以形成多个光学通道，光学通道之间相互隔绝，互不干扰，各自通过要求的光谱波段上...

本发明揭示了一种制备非蒸散型薄膜吸气剂的方法，将若干吸气金属一一对应放置于镀膜机的若干蒸发舟内作为靶材，吸气金属至少为两种，各蒸发舟的工作参数单独可控，各蒸发舟处一一对应设有膜厚监测仪，以监测对应蒸发舟内吸气金属的蒸发速率；将基片和蒸发...

本案为一种集成多通道滤光片用的纳米掩膜结构，包括：集成多通道滤光片和纳米掩膜结构，该纳米掩膜结构包括：光刻胶，其为正型光刻胶、负型光刻胶中的一种；滤光片基片，其位于所述光刻胶下方；掩膜板，位于所述光刻胶上表面；紫外光，其以紫外曝光的方式...

本发明公开了一种光学元件金属化镀膜的纳米掩膜方法，包括如下步骤：准备基片和纳米掩膜模板，将基片清洗干净并烘干；通过纳米掩膜模板覆盖基片上，再通过蒸镀、电镀或者印刷中的一种方法将纳米掩膜材料覆盖在基片上，完成后取下纳米掩膜模板，再在整个基...

本实用新型公开了一种中红外带通滤光片，包括正面膜系、基片和背面膜系，所述正面膜系由硫化锌层和锗膜层交替叠加组成，所述硫化锌层和锗膜层共24层；所述背面膜系由硫化锌层和锗膜层交替叠加组成，所述硫化锌层和锗膜层共42层。本实用新型中的红外带...