本实用新型公开了一种多通道集成滤光片，包括基片，所述基片一侧覆盖有8个集成通道，所述8个集成通道相互并排连接；所述第一集成通道到第五集成通道上还覆盖一层第一公共截次膜系，所述第六集成通道、第七集成通道和第八集成通道上覆盖有一层第二公共截...

本实用新型公开了一种工作波段为3400-4200nm的带通滤光片，包括正面膜系、基片和背面膜系，所述正面膜系由一氧化硅层和锗膜层交替叠加组成，所述一氧化硅层和锗膜层共27层；所述背面膜系由一氧化硅层和锗膜层交替叠加组成，所述一氧化硅层和...

本实用新型公开了一种工作波段为3800-5200nm的中红外带通滤光片，包括正面膜系、基片和背面膜系，所述正面膜系由硫化锌层和锗膜层交替叠加组成，所述硫化锌层和锗膜层共45层；所述背面膜系由硫化锌层和锗膜层交替叠加组成，所述硫化锌层和锗...

本实用新型公开了一种工作波段为3700-4800nm的带通滤光片，包括正面膜系、基片和背面膜系，所述正面膜系由一氧化硅层和锗膜层交替叠加组成，所述一氧化硅层和锗膜层共29层；所述背面膜系由一氧化硅层和锗膜层交替叠加组成，所述一氧化硅层和...

本实用新型公开了一种工作波段为3900-5500nm的中红外带通滤光片，包括正面膜系、基片和背面膜系，所述正面膜系由硫化锌层和锗膜层交替叠加组成，所述硫化锌层和锗膜层共26层；所述背面膜系由硫化锌层和锗膜层交替叠加组成，所述硫化锌层和锗...

本实用新型公开了一种工作波段为4100-5200nm的中红外带通滤光片，包括正面膜系、基片和背面膜系，所述正面膜系由一氧化硅层和锗膜层交替叠加组成，所述一氧化硅层和锗膜层共24层；所述背面膜系由一氧化硅层和锗膜层交替叠加组成，所述一氧化...

本案为一种镀膜膜厚监测装置，包括：挡板，设于挡板上的通孔，第一晶振，第二晶振，其中，第一晶振与第二晶振的监测位置相同，通孔处为监测位置，第一晶振在监测位置被镀膜时，遮挡第二晶振；当第一晶振被镀膜到一定的厚度后，第一晶振被移离而第二晶振被...

本案为一种镀膜膜厚监测方法，包括：挡板，设于挡板上的通孔，第一晶振，第二晶振，其中，第一晶振与第二晶振的监测位置相同，通孔处为监测位置，第一晶振在监测位置被镀膜时，遮挡第二晶振；当第一晶振被镀膜到一定的厚度后，第一晶振被移离而第二晶振被...

本案为一种多通道滤光片的纳米掩膜制作方法，包括以下步骤：a.在干净的滤光片基片上形成纳米掩膜膜层；b.在纳米掩膜膜层上进行旋涂光刻胶，90℃-100℃烘烤10min以上，在纳米掩膜膜层上形成光刻胶层；c.曝光；d.显影和后烘；e.通过蚀...

本案为一种制作集成多通道滤光片的纳米掩膜方法，包括以下步骤：a.预处理：甩胶和前烘，在干净的滤光片基片上旋涂光刻胶，90℃-100℃烘烤10min以上；b.曝光：把预处理好的滤光片基片置于掩膜板下进行紫外曝光；c.显影和后烘；d.镀制纳...