本发明公开了一种密封圈压填装置，涉及压胶圈工具的技术领域，包括固定钳和活动钳，固定钳与活动钳的中部通过销轴铰接，固定钳的一端为手柄、另一端设置有插板，活动钳的一端为手柄、另一端设置有卡槽，卡槽与插板相对设置，插板用于贴合密封圈槽的侧壁，...

本发明提供了一种极紫外

本发明公开了一种硬

本发明属于高反射极紫外元件技术领域，提供了一种La/C/B4C极紫外多层膜反射镜及其制备方法。本发明的La/C/B4C极紫外多层膜反射镜，包括依次层叠设置在基底上的打底层和多周期La/C/B4C层；所述多周期La/C/B4C层包括若干个...

本发明属于精密光学元件技术领域，提供一种极紫外多层膜反射镜及其制备方法。本发明提供的极紫外多层膜反射镜，包括依次层叠设置在基底上的打底层、多周期Mo/Nb/Si层和保护层；所述单周期Mo/Nb/Si层中的Mo层和所述打底层接触；所述保护...

本发明属于高反射极紫外元件技术领域，提供了一种LaNx/La/B4C极紫外多层膜反射镜及其制备方法。本发明的LaNx/La/B4C极紫外多层膜反射镜，包括层叠设置在基底上的多周期LaNx/La/B4C层；所述多周期LaNx/La/B4C...

本发明属于精密光学元件技术领域，提供了一种LaNx/B4C极紫外多层膜反射镜及其制备方法。本发明的LaNx/B4C极紫外多层膜反射镜包括依次层叠设置在基底上的打底层、多周期LaNx/B4C层和保护层；多周期LaNx/B4C层包括若干个层...

本发明涉及高反射极紫外元件技术领域，尤其涉及一种极紫外多层膜及其应用、极紫外多层膜反射镜。本发明提供的极紫外多层膜，包括依次交替层叠设置的Nb吸收层、B4C阻隔层、Si间隔层和SiC阻隔层。本发明采用热稳定性高于Si材料的B4C和SiC...

本发明属于精密光学元件技术领域，提供了一种多层膜反射镜及其制备方法。本发明的多层膜反射镜，包括依次层叠设置在基底上的打底层、多周期Mo/SiC/Si层和保护层；所述多周期Mo/SiC/Si层包括若干个层叠设置的单周期Mo/SiC/Si层...

本发明属于极紫外光光学元件技术领域，具体涉及一种多层膜材料、极紫外光反射镜及其制备方法和应用。本发明提供的多层膜材料，包括层叠的第一周期单元或第二周期单元，所述第一周期单元包括依次层叠的Nb层、Y层和Si层，所述第二周期单元包括依次层叠...

本发明公开一种极紫外多层膜反射镜及制备方法，反射镜包括：基底和N层共溅射膜结构；第一层共溅射膜结构设置在所述基底上，第i+1层共溅射膜结构设置在第i层共溅射膜结构上；各层共溅射膜结构均包括：吸收层和间隔层，所述间隔层设置在所述吸收层上侧...

本实用新型涉及一种磁控溅射镀膜装置。所述一种磁控溅射镀膜装置包括预溅射室、主镀膜室、热处理室、基板样品架、导轨、伺服电机和控制器。所述轨道设置在所述预溅射室、主镀膜室和热处理室的底部，所述预溅射室、主镀膜室和热处理室相互连通；所述伺服电...

本发明涉及一种基于X射线多层膜波带片的修正方法及系统，方法包括：在多层膜波带片的上端和下端各镀制N层周期膜；对镀制的N层周期膜进行掠入射X射线反射测试，确定两端镀制的N层周期膜的周期厚度；利用电子显微镜对多层膜波带片以及两端镀制的N层周...

本发明涉及一种磁控溅射镀膜装置及方法。所述一种磁控溅射镀膜装置包括预溅射室、主镀膜室、热处理室、基板样品架、导轨、伺服电机和控制器。所述轨道设置在所述预溅射室、主镀膜室和热处理室的底部，所述预溅射室、主镀膜室和热处理室相互连通；所述伺服...

本发明提供了一种用于50～100nm波段的高次谐波抑制滤片及其制备方法，属于光学元件技术领域。本发明提供的高次谐波抑制滤片，包括依次层叠设置的第一Al膜、Yb薄膜和第二Al膜。本发明中，Yb薄膜在46nm左右存在吸收边，使用Yb薄膜制备...

本发明公开了一种应用于软X射线波段的多层膜切片光栅。其特征是使用WSi2作为多层膜的吸收层，Si作为间隔层，相对于多层膜表面进行斜切，将斜切面上的周期多层膜作为光栅进行分光。与传统的光栅相比，新型多层膜切片光栅的制备工艺更加便捷，可轻松...

本发明公开了一种应用于硬X射线波段聚焦的新型Nb/Al多层膜Laue透镜。其特征是使用Nb作为Laue透镜的吸收层，Al作为间隔层。与传统材料的Laue透镜相比，使用Nb/Al的新型材料组合具有更高的衍射效率，有效增加聚焦光斑的光强，且...

本发明提出了一种直流磁控技术制备周期厚度横向二维梯度分布的Mo/Si多层膜的方法，选择Mo/Si作为多层膜材料，标定了在直流磁控溅射镀膜方法中Mo靶和Si靶在掠靶镀膜模式下基底上的膜厚分布情况，并据此制备了掩膜版。利用掩膜版控制膜厚和调...

本实用新型涉及一种合金CoCr和金属Ti作为膜层材料的极紫外多层膜人工晶体单色器，该单色器包括基底，其上面依次层叠有打底层、CoCr/Ti周期多层膜人工晶体及保护层，其中CoCr/Ti周期多层膜人工晶体由CoCr膜和Ti膜周期性构成。C...

本实用新型涉及一种共溅射制备化合物Mo2C和化合物B4C作为材料组合的人工晶体X光单色器，该单色器包括基底，其上面依次层叠有打底层、共溅射Mo2C/B4C周期多层膜人工晶体及保护层，其中共溅射Mo2C/B4C周期多层膜人工晶体(5)由共...