氮气反应溅射制备CoCr/Ti极紫外多层膜人工晶体单色器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种合金CoCr和金属Ti作为膜层材料的极紫外多层膜人工晶体单色器，该单色器包括基底，其上面依次层叠有打底层、CoCr/Ti周期多层膜人工晶体及保护层，其中CoCr/Ti周期多层膜人工晶体由CoCr膜和Ti膜周期性构成。CoCr，Ti材料在极紫外波段的光学常数合适，CoCr/Ti多层膜人工晶体单色器有优异的光学性能。本实用新型专利技术精确控制CoCr与Ti的膜层厚度比，通过在工作气体中添入氮气减小了多层膜人工晶体的界面粗糙度阻止了膜层之间的相互扩散。利用氮气反应溅射制备的CoCr/Ti多层膜人工晶体单色器适用于在荧光分析、生物活体检测、等离子体诊断等极紫外波段的应用。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于精密光学元件制作领域，尤其是涉及一种应用于极紫外波段的以Ti为间隔层，CoCr为反射层的多层膜人工晶体单色器。
技术介绍
在电磁波谱中，极紫外波段是处于真空紫外与软X射线之间，波长介于几纳米至几十纳米的一个特殊波段。在极紫外波段，所有材料的折射率都接近1，这便意味着光在介质中几乎不发生折射现象。并且存在强烈的吸收，使得单层薄膜的正入射反射率很低，在10-4量级，无法满足实用需求。这是把传统的光学系统推进到极紫外波段的主要困难所在。缺少高性能的光学元件，因而也严重阻止了极紫外光学的发展。在水窗(λ＝2.3～4.4nm)波段,水(其中的氧)基本上是透明的,而碳(生命物质中大部分组成元素)却有很强的吸收。用该波段作为信息载体,可以在很好对比度条件下对生物样品全息照相，对活体细胞显微成像，也可作为等离子体诊断的光源。在水窗波段,任何单层膜的正入射反射率都非常低,只能采用多层膜人工晶体反射元件。选取在该波段吸收较小的材料，通过高折射率和低折射率材料交替镀制，提高膜层对数，可有效的提高反射率。Ti的L吸收边在2.74nm，围绕该波长进行材料选择，CoCr和Ti是在该波长处理想的材料组本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种CoCr/Ti极紫外多层膜人工晶体单色器，其特征在于：该单色器包括基底(1)，其上面依次层叠有打底层(2)、CoCr/Ti周期多层膜人工晶体(5)及保护层(6)，其中CoCr/Ti周期多层膜人工晶体(5)由CoCr膜(3)和Ti膜(4)周期性构成。

【技术特征摘要】
1.一种CoCr/Ti极紫外多层膜人工晶体单色器，其特征在于：该单色器包括基底(1)，其上面依次层叠有打底层(2)、CoCr/Ti周期多层膜人工晶体(5)及保护层(6)，其中CoCr/Ti周期多层膜人工晶体(5)由CoCr膜(3)和Ti膜(4)周期性构成。2.根据权利要求1所述的CoCr/Ti极紫外多层膜人工晶体单色器，其特征在于，所述的基底(1)的材料可为硅片或玻璃。3.根据权利要求1所述的CoCr/Ti极紫外多层膜人工晶体单色器，其特征在于，所述的打底层(2)镀制在基底(1)上，材料是金...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱京涛，朱圣明，金长利，朱运平，
申请(专利权)人：苏州宏策光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32