一种极紫外多层膜及其应用、极紫外多层膜反射镜制造技术

本发明专利技术涉及高反射极紫外元件技术领域，尤其涉及一种极紫外多层膜及其应用、极紫外多层膜反射镜。本发明专利技术提供的极紫外多层膜，包括依次交替层叠设置的Nb吸收层、B4C阻隔层、Si间隔层和SiC阻隔层。本发明专利技术采用热稳定性高于Si材料的B4C和SiC作为阻隔层，可以克服现有技术中Nb/Si极紫外多层膜热稳定性相对较差的缺点。且本发明专利技术所述的极紫外多层膜的理论反射率与现有技术中Nb/Si极紫外多层膜的理论反射率差异较小。因此，所述极紫外多层膜可以同时满足高反射率和热稳定性的要求。高反射率和热稳定性的要求。高反射率和热稳定性的要求。

【技术实现步骤摘要】
一种极紫外多层膜及其应用、极紫外多层膜反射镜


[0001]本专利技术涉及高反射极紫外元件
，尤其涉及一种极紫外多层膜及其应用、极紫外多层膜反射镜。

技术介绍

[0002]极紫外波段通常指121nm到10nm的波段(分别对应于光子能量从10.25eV～124eV)。极紫外波段存在大量的原子共振线，入射光在极短的距离就会被吸收，传统的透射式光学元件不适用于此波段范围。此外，大部分材料的折射率实部接近1，导致单层膜的近正入射的反射率极低。极紫外波段的辐射特性阻碍了其研究。随着发现X射线及对X射线晶体衍射的了解，现有技术采用高折射率(吸收层)的材料和低折射率(间隔层)的材料交替镀制成周期多层膜，该多层膜同时满足布拉格条件。在极紫外波段，周期多层膜的近正入射的反射率远高于单层膜的近正入射的反射率。极紫外多层膜技术的进步，促进了关于极紫外波段的光学发展。
[0003]太阳爆发时，太阳大气会在很短的时间内向空间抛射大量的物质(包括增强的电磁辐射、高能带电粒子流和等离子体云等)，而身处太阳系的地球也会收到扰动。太阳活动包含了大量极紫外辐射线，使用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种极紫外多层膜，其特征在于，包括依次交替层叠设置的Nb吸收层、B4C阻隔层、Si间隔层和SiC阻隔层。2.如权利要求1所述的极紫外多层膜，其特征在于，所述交替层叠设置的周期数为30～70。3.如权利要求1所述的极紫外多层膜，其特征在于，每层所述Nb吸收层的厚度为2.2～2.8nm；所述极紫外多层膜中各层所述Nb吸收层的厚度相同。4.如权利要求1所述的极紫外多层膜，其特征在于，每层所述B4C阻隔层的厚度为0.2～0.5nm；所述极紫外多层膜中各层所述B4C阻隔层的厚度相同。5.如权利要求1所述的极紫外多层膜，其特征在于，每层所述Si间隔层的厚度为3.5～4.0nm；所述极紫外多...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱京涛，吴曼玉，朱运平，金长利，郑华伟，
申请(专利权)人：苏州宏策光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：