配有冷却系统的反射式光学器件技术方案

一种反射式光学器件(1)，用于传输、变换或校正特别是激光类型的光束(19)，其特征在于，反射式光学器件包括接收光束(19)的镜子(2)、由在镜子后侧紧靠镜子(2)布置的导热流体(7)的中间室(6)构成的初级冷却回路、和由紧靠导热流体(7)的中间室(6)布置的散热器(3)构成的次级冷却回路，所述散热器(3)或呈通过对流或传导冷却的冷质量体的形式，或呈由具有良好导热性的材料制成的板的形式，散热器(3)具有与反射式光学器件的尺寸和形状等同的尺寸和形状。状。状。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】配有冷却系统的反射式光学器件


[0001]本专利技术的
是用于特别是激光类型的光束系统中的反射式光学器件及其冷却装置的

[0002]如公知的，必须使用反射式光学结构来传输激光束、变换光束轮廓、聚焦光束或者修改或校正光束波前。
[0003]存在许多种无论在功率还是发射模式或使用的放大介质种类方面不同类型的激光器。
[0004]当激光器是高平均功率的激光器时，所使用的反射式光学器件会经受反映为加热的强能量积累。这是有问题的，因为这种加热会导致光学器件的变形，从而引起激光束上的光学畸变、以及光学器件本身的劣化。因此必须以一定频率更换它们，而这将产生用户难以承受的成本费用。
[0005]因此，反射式光学器件需要自与环境空气通过对流的自然冷却不再足够时就进行冷却，当反射式光学器件被用于高平均功率(通常为5至20kW)的激光器时就是这种情况。当有关激光器处于真空时这就更加关键，例如那些用于科学实验室中的激光器，如递送的平均功率为10kW(千瓦)或更高的高重复率的PetaWatt激光器，或例如用于微电子行业中的平均功率为1至3本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种反射式光学器件(1)，用于传输、变换或校正特别是激光类型的光束(19)，其特征在于，反射式光学器件包括接收光束(19)的镜子(2)、由在镜子后侧紧靠镜子(2)布置的导热流体(7)的中间室(6)构成的初级冷却回路、和由紧靠导热流体(7)的中间室(6)布置的散热器(3)构成的次级冷却回路，所述散热器(3)或呈通过对流或传导冷却的冷质量体的形式，或呈由具有良好导热性的导热材料制成的板的形式，散热器(3)具有与反射式光学器件的尺寸和形状等同的尺寸和形状。2.根据权利要求1所述的反射式光学器件(1)，其特征在于，构成散热器(3)的板在板厚度内具有通道(16)，使传热流体(9)在通道中流通。3.根据权利要求1或2所述的反射式光学器件(1)，其特征在于，镜子(2)是后表面上装有致动器(11)的可变形镜子，每个致动器(11)通过孔(13)穿过散热器(3)和导热流体(7)的中间室(6)。4.根据权利要求3所述的反射式光学器件(1)，其特征在于，每个致动器(11)配有能在开设于散热器(3)中的孔(13)内平移活动的活动头(15)，导热流体(7)在孔(13)内围绕活动头(14)流通。5.根据权利要求4所述的反射式光学...

【专利技术属性】
技术研发人员：P，
申请(专利权)人：ISP系统公司，
类型：发明
国别省市：