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本发明涉及高反射极紫外元件技术领域，尤其涉及一种极紫外多层膜及其应用、极紫外多层膜反射镜。本发明提供的极紫外多层膜，包括依次交替层叠设置的Nb吸收层、B4C阻隔层、Si间隔层和SiC阻隔层。本发明采用热稳定性高于Si材料的B4C和SiC作为...
该专利属于苏州宏策光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州宏策光电科技有限公司授权不得商用。

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