基于卷曲复合薄膜的激光防护装置及其制备方法制造方法及图纸

本发明专利技术属于激光防护技术领域，具体为一种基于卷曲二氧化钒复合薄膜结构的激光防护装置及其制备方法。本发明专利技术激光防护装置包括氟化钙玻璃衬底以及制备在衬底上的卷曲的三维结构单元阵列；阵列中三维结构单元包括二氧化钒薄膜、铬薄膜、银薄膜，该复合薄膜通过自卷曲技术由平面状态卷曲为三维结构；其中二氧化钒薄膜为受激致动层，铬薄膜为粘附层和应力层，银薄膜为激光反射层。本发明专利技术利用二氧化钒薄膜的热致形变和银薄膜反射功能，实现无激光时不影响透光，激光入射时自发展开反射激光的智能防护。该装置制备方法简单，成本较低，可大规模生产，具有广泛实用意义。具有广泛实用意义。具有广泛实用意义。

【技术实现步骤摘要】
基于卷曲复合薄膜的激光防护装置及其制备方法


[0001]本专利技术属于激光防护
，具体涉及一种基于卷曲二氧化钒复合薄膜结构的激光防护装置及其制备方法。

技术介绍

[0002]激光的单色性好、方向性强、亮度高、相干性能优异等特点，使其在军事和民用领域都有着巨大的应用潜力。尤其在军事领域，包括激光致盲、激光制导、激光测距、激光瞄准等都已发展为成熟的武器系统，并发挥着重要的作用。特别是激光致盲武器，通过强激光对各类光电探测器进行破坏实现对敌侦查系统的致盲，成为了战争中重要的一环，甚至影响整个战局。除此之外，强激光对人眼也有着巨大的威胁。常见的激光武器常集中在0.5
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10um波段，如0.93um的GaAs，1.54um和10.6um的CO2等。
[0003]对于激光防护，目前主要局限于二维尺度，通常根据以下几种方式进行防护：（1）选择可见光通过率高，而红外波段反射率高的材料，如ITO，氧化锌，氧化铟等，它们在可见光波段几乎完全透过，但对波长在2um以后的区域则几乎不透过，以反射为主。这类的红外防护罩可以做到无需反应时间本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于卷曲二氧化钒复合薄膜的激光防护装置，其特征在于，是包括氟化钙玻璃衬底，以及制备在衬底上的卷曲的三维结构单元组成的二维阵列；阵列中三维结构单元由二氧化钒薄膜、铬薄膜、银薄膜组成的复合薄膜，三维结构单元展开为平面时为正方形，正方形边长为189
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250um，正方形图形间隔为30
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100um；卷曲的三维结构单元的卷曲管径为50
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110um；其中，二氧化钒薄膜为受激致动层，铬薄膜为粘附层和应力层，银薄膜为激光反射层；每个结构单元相互独立工作，工作的结构数量取决于红外激光辐照面积的大小。2.根据权利要求1所述的激光防护装置，其特征在于，所述氟化钙玻璃衬底表面平整，具有在0.13
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12um波段接近100%可见光与红外透过率。3.根据权利要求1所述的激光防护装置，其特征在于，二氧化钒薄膜厚度为60
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80nm，铬薄膜厚度为10
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50nm，银薄膜厚度为50
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60nm。4.一种基于卷曲二氧化钒复合薄膜的激光防护装置的制备方法，其特征在于，具体步骤为：（1）选择衬底；采用氟化钙玻璃作为衬底；衬底表面平整，具有在0.13
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12um波段接近100%可见光与红...

【专利技术属性】
技术研发人员：梅永丰，李星，
申请(专利权)人：复旦大学义乌研究院，
类型：发明
国别省市：