深圳市大族半导体装备科技有限公司专利技术

深圳市大族半导体装备科技有限公司共有157项专利

  • 本技术公开了一种支撑平台及检测机构,包括底座、第一支撑件、第二支撑件、第三支撑件、第一延伸件、第一抵接件和驱动组件。支撑平台扩大支撑范围的过程中,驱动组件可驱动第一支撑件远离第三支撑件,并可带动第一延伸件及第一抵接件移动,在第一抵接件接...
  • 本申请提供了一种晶圆吸附装置及晶圆加工设备,晶圆吸附装置包括:台架;固定载台,包括固定盘、第一吸附组件和第一密封组件,固定盘设置于台架,固定盘设有通孔,第一密封组件在固定盘的吸附端面凸起包围形成第一密封区,第一吸附组件位于第一密封区内,...
  • 本技术公开一种光学元件切换装置,包括电机;谐波减速器,包括波发生器、柔轮和钢轮,波发生器与电机连接,波发生器与柔轮配合,柔轮与钢轮啮合;切换件,切换件与钢轮连接,切换件在钢轮作用下能够转动。本技术技术方案使得光学元件切换装置更加精准,保...
  • 本申请实施例公开了一种晶圆的解键合设备,晶圆的解键合设备包括上料机构、解键合机构、分离机构、清洗机构、下料机构以及转移机构,上料机构用于存放待解键合的晶圆与承载片的键合体;解键合机构用于解晶圆与承载片的键合状态,解键合机构包括解键合组件...
  • 本申请实施例公开了一种巨量转移装置和巨量转移设备,巨量转移装置包括激光发射系统、驱动机构、角度定位机构、测距机构、调平机构、第一定位机构以及第二定位机构;激光发射系统固定设置;驱动机构移动设置,驱动机构用于驱动承载基板和置有芯片的暂态基...
  • 本申请提供了一种运输机构及运输装置,运输机构包括运输组件和定位件,运输组件包括承载件和第一驱动件,第一驱动件和承载件驱动连接,第一驱动件驱动承载件沿第一方向移动设置,承载件的承载面上设有沿第一方向相隔的定位块;定位件设置于承载件沿第一方...
  • 本申请适用于激光应用技术领域,提供一种光学镜头及激光装置,该光学镜头包括沿光轴从物侧到像侧依次设置的第一透镜
  • 本申请提供了一种激光加工设备,包括机架
  • 本申请适用于激光应用技术领域,提供一种光束匀化装置及激光设备,该光束匀化装置包括依次设置的第一倍频晶体
  • 本申请提供了一种提高激光切割精度的方法及装置,所述方法包括:通过波片调整激光中
  • 本申请实施例公开了一种晶圆的承载机构和承载装置,承载机构包括承载组件、第一驱动件以及支撑件,承载组件包括用于承载晶圆的载台,载台的台面上设有容纳缺口;第一驱动件沿垂直于载台的台面方向移动设置于承载组件上,第一驱动件的驱动轴旋转驱动设置,...
  • 本申请提供了一种除尘装置,包括安装架;以及两组辊筒,分别可转动安装于所述安装架上,其中一组所述辊筒用于卷绕除尘纸,另一组所述辊筒用于供所述除尘纸的自由端粘附,以带动所述除尘纸转动以使所述除尘纸与待除尘工件接触并粘附所述待除尘工件上的粉尘...
  • 本申请适用于激光加工技术领域,提供一种显示单元的切割方法、装置及存储介质,该显示单元的切割方法包括获取第一次切割脉宽和第二次切割脉宽;控制激光器发射脉宽为第一次切割脉宽的激光束切割显示单元上的目标切割道;控制激光器发射脉宽为第二次切割脉...
  • 本申请公开一种搬运装置及生产设备,搬运装置包括基座、夹持机构、识别组件和第一驱动机构,夹持机构用于夹持周转容器;第一驱动机构与基座连接,用于驱动基座运动以带动夹持机构与周转容器对接。当搬运装置在搬运周转容器时,识别组件可对下方的工件和隔...
  • 本申请提出一种上下料装置,该上下料装置包括第一取料机构、承接平台、视觉定位模组和姿态调节机构,第一取料机构则用于抓取托盘中的工件并转送至承接平台;视觉定位模组用于获取承接平台上的工件的位置信息;姿态调节机构根据上述位置信息驱动承接平台运...
  • 本实用新型涉及泛半导体技术领域,具体而言,涉及一种泛半导体加工设备。泛半导体加工设备包括机台、加工载台、上下料装置和切割装置,加工载台活动安装于机台上,加工载台适于沿第一方向和第三方向移动,加工载台还适于绕第二方向转动;上下料装置安装于...
  • 本实用新型公开了一种料盒及光学玻璃开料设备,料盒包括第一侧板、第二侧板和切换卡条,切换卡条转动设于所述第一侧板和所述第二侧板之间,所述切换卡条包括相互连接的第一支撑部和第二支撑部,所述第一支撑部和所述第二支撑部沿所述切换卡条的转动方向间...
  • 本申请涉及液晶面板技术领域,具体而言,涉及一种自动上下料机构及激光加工设备。自动上下料机构包括机架、第一上料机构、检测装置、第一搬运机构、第二搬运机构、第一下料机构和第二下料机构,第一搬运机构用于将位于第一上料机构上的待检测的产品放入检...
  • 本实用新型公开了一种旋转载台,包括承载板、升降组件及旋转组件,承载板上设置有吸附孔,升降组件用于驱动承载板进行升降,旋转组件用于驱动升降组件及承载板进行旋转。当需要旋转放置在工作台上的产品时,升降组件可升起承载板,由承载板接触并带动产品...
  • 本申请适用于晶圆加工技术领域,提供一种晶圆取放料手臂、机器人及加工设备,所述晶圆取放料手臂包括:安装部件;第一叉料机构,连接于所述安装部件;第二叉料机构,连接于所述安装部件;所述第一叉料机构的长度方向与所述第二叉料机构的长度方向存在夹角...