本实用新型公开一种CVD用新型两端支撑推舟机构，包括推舟杆座组件、推舟杆组件以及反应管组件，所述推舟杆座组件包括推舟杆固定座以及组合支撑杆安装套筒，所述推舟杆组件的一端通过所述组合支撑杆安装套筒固定安装在所述推舟杆座组件上，所述推舟杆组...

本实用新型公开了一种扩散和CVD设备的强制风冷炉体，包括炉丝骨架、内保温层、风冷散热系统、外保温层以及不锈钢外壳，所述内保温层套接在炉丝骨架外侧，所述风冷散热系统套接在内保温层的外侧，所述外保温层套接在风冷散热系统外侧，所述不锈钢外壳套...

本实用新型公开了一种CVD用的组合悬臂杆及石墨舟推送装置，属于太阳能电池设备技术领域，所述组合悬臂杆的一端固定于悬臂推舟固定座，另一端悬空地支撑石墨舟，所述组合悬臂杆的内部设有用于支撑组合悬臂杆的金属支撑杆；解决的技术问题为：现有的悬臂...

本实用新型公开了一种密封圈水冷保护结构及PECVD设备，属于太阳能电池设备技术领域，其中，密封圈水冷保护结构，包括设置于炉管端部的法兰总成和密封圈组，法兰总成设有至少一条水冷通道，法兰总成与炉管的接触面设有导热圈；解决了PECVD设备通...

本实用新型公开了一种扩散和CVD设备的粗炉丝无变压器炉体，包括炉丝骨架、内保温层、外保温层和不锈钢外壳，所述炉丝骨架由电炉丝和支撑骨架组成，所述电炉丝设有多段，每段电炉丝之间互相绝缘，所述电炉丝为环形粗电炉丝，所述内保温层套接在炉丝骨架...

本实用新型公开了一种扩散和CVD用储舟位并行散热系统，包括PECVD设备框架、石墨舟和储料架，所述储料架上设有用于放置石墨舟的储舟位，所述储舟位上还设有用于为石墨舟散热的散热装置，所述散热装置设置在石墨舟的底部，所述散热装置包括一个散热...

本实用新型公开了一种向管式PECVD的TMA介质输送系统，包括供给系统和蒸发系统；供给系统包括TMA钢瓶、第一气体管道以及第一TMA液体管道，第一气体管道与钢瓶进口连接，第一TMA液体管道与钢瓶出口连接；蒸发系统包括TMA蒸发瓶、第二T...

本实用新型公开了一种TMA介质的供给系统，包括TMA钢瓶和控制输送管路，所述的TMA钢瓶设置有钢瓶进口和钢瓶出口，在钢瓶进口和钢瓶出口位置设置有一进口手动阀和一出口手动阀；所述的控制输送管路包括第一气体管道和第一TMA液体管道，第一气体...

本实用新型公开了一种TMA介质的蒸发系统，包括TMA蒸发瓶和控制输送管路，所述TMA蒸发瓶设置有一蒸发瓶入口和一蒸发瓶出口，在蒸发瓶入口和出口均设置有气动阀；所述控制输送管路包括第二TMA液体管道、TMA气体管道以及第二气体管道；所述的...

本实用新型公开了一种PECVD辅助加热装置，涉及太阳能电池设备技术领域，包括主加热炉体、前端盖组件、后端盖组件、石墨舟以及辅助加热装置；所述的主加热炉体呈圆筒状，所述的前端盖组件和后端盖组件分别盖在主加热炉体的两端开口处，在主加热炉体内...

本实用新型公开了一种管式PECVD的反应腔炉口炉门结构，涉及太阳能电池设备技术领域；包括反应腔和炉门，所述的反应腔具有用于容纳石墨舟的内腔以及与内腔相连通炉口，该炉口的顶部设置有一遮挡部位，该遮挡部位用于减小反应腔内的热量流失；所述的炉...

本实用新型公开了一种管式PECVD的电极机构，涉及太阳能电池设备技术领域；包括前电极导杆、后电极导杆、前石墨块以及后石墨块，两条后电极导杆平行设置，前电极导杆位于两条平行的后电极导杆之间；前电极导杆包括前电极头、绝缘套以及前电极连接杆，...

本实用新型公开了一种管式PECVD的炉门调节机构，涉及太阳能电池设备技术领域；包括炉门、推杆、波纹管以及调节组件，该调节组件包括支撑板和调节螺杆；所述的支撑板和炉门上均设置有用于使推杆穿过的通孔，所述的波纹管套在推杆上，且波纹管的一端固...

本实用新型公开了一种管式PECVD自动上下料装置，涉及太阳能电池设备技术领域；包括悬臂结构、手抓结构、升降结构以及相平行的两条竖向型材，且两条竖向型材上均设置有悬臂结构，升降结构用于驱动悬臂结构在竖向型材上往复运动；悬臂结构包括第一悬臂...

本实用新型公开了一种管式PECVD的双炉门机构，涉及太阳能电池设备技术领域；包括推舟炉门机构、气缸炉门机构以及真空反应腔室；所述的真空反应腔室具有一炉口，真空反应腔室中设置有石墨舟；推舟炉门机构包括推动杆和第一炉门，第一炉门固定安装推动...

本实用新型公开了一种旋转走线装置，涉及自动化设备技术领域；包括固定座和轴承锁紧件，所述的固定座呈环状，其中部具有用于装入电机的第一中心孔；所述的轴承锁紧件上设置有第二中心孔，所述固定座插入轴承锁紧件的第二中心孔内，且固定座的外壁与轴承锁...

本实用新型公开了一种硅片上下料的缓存机构，涉及太阳能电池自动化设备技术领域；包括缓存盒、第一固定座、伸缩杆以及驱动装置；所述伸缩杆穿过于第一固定座，缓存盒固定在所述伸缩杆的顶端上，驱动装置用于驱动伸缩杆带动缓存盒往复运动；缓存盒包括第一...

本发明公开了一种石墨舟自动装卸片设备，涉及太阳能电池自动化设备技术领域；包括硅片上下料机构和硅片装卸片机构，硅片上下料机构位于硅片装卸片机构的一侧；硅片上下料机构包括料盒传送装置、料盒升降装置以及硅片传送装置，硅片装卸片机构包括中转盒装...

本用新型涉及一种炉门开关装置，包括底座以及沿平行于炉门的Y方向移动的Y向移动组件，所述Y向移动组件安装在所述底座上，所述炉门安装在所述Y向移动组件上。通过控制Y向移动组件移动，使炉门沿平行于炉门的Y方向移动。这样可避免使用旋转的方式开关...

本用新型涉及一种石英舟，其包括两块石英板和固设在所述两块石英板之间的至少三根槽棒，每一所述槽棒上间隔设置有若干用于放置硅片的卡槽，所述两块石英板的外端面上分别设置有供机械手抓取搬运的端面柱，其中一块所述石英板的外端面还设置有供插片机定位...