本实用新型涉及电池生产专用设备领域，具体涉及一种低压扩散炉，该炉门机构包括：石英炉门；冷却法兰，其嵌入石英炉门中，该冷却法兰与石英炉门的结合处设有一密封圈槽，该冷却法兰包括一与密封圈槽靠近的环形冷却管道，该环形冷却管道中通入冷却液；密封...

本实用新型涉及扩散炉领域，具体涉及一种基于扩散炉的进出舟装置，该进出舟装置上安装有石英舟，该石英舟通过进出舟装置在扩散炉与插片机之间往返，该进出舟装置包括：载体，其包括底板和设置在底板上的定位件，该石英舟与定位件配合安装，该石英舟通过定...

本实用新型提供一种石墨舟定位装置，包括：至少一承托机构包括：托板、承托气缸、至少一承托导杆，所述承托导杆一端与承托气缸连接，另一端与所述托板连接；至少一X夹紧定位机构，包括：X定位气缸、至少一定位导杆，所述定位导杆一端与X定位气缸连接，...

本实用新型涉及太阳能电池自动化设备技术领域，提供了一种用于管式PECVD的石墨舟自动装卸片装置，该装置用于PECVD自动化设备上，包括用于拾取硅片的插片头组件、带动插片头组件沿Z轴旋转的Z轴旋转运动机构、带动Z轴旋转运动机构于竖直方向上...