【技术实现步骤摘要】
本技术涉及扩散炉领域，具体涉及一种基于扩散炉的进出舟装置。
技术介绍
扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。扩散炉由控制系统、进出舟系统、炉体加热系统和气体控制系统等组成。扩散形成P-N结是太阳能电池片的关键工艺，而扩散炉是太阳能电池片生产的重大设备之一。在扩散工艺中引入对人体有毒害的气体及产生有毒害尾气，会对人体造成极大的危害，在保证工艺的条件下，建立太阳能电池片自动化生产线，提高设备的自动化程度，减少人工对设备的干预，是设备生产厂家的主要目标。特别是进出舟系统，是实现扩散炉到插片机的过渡机构，通过该机构可以实现石英舟在扩散炉到插片机以及插片机到扩散炉的自由对接，从而形成自动一体化，提高生产效率。然而现有的进出舟系统，设备存在整机和配件价格高昂、结构复杂、维修不便等问题，故研制生产成本低廉、运行可靠、维护方便的进出舟系统是业内亟待解决的技术问题。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种基于扩散炉的进出舟装置，实现...
【技术保护点】
一种基于扩散炉的进出舟装置，该进出舟装置上安装有用于放置硅片的石英舟，该石英舟通过进出舟装置在扩散炉与插片机之间往返，其特征在于，该进出舟装置包括：载体，其包括底板和设置在底板上的定位件，该石英舟与定位件配合安装，该石英舟通过定位件固定在底板上；运输平台，其包括运输轨道和动力机构，该动力机构设置在运输轨道上，该载体放置在运输轨道上，并通过动力机构的带动在运输轨道上往返；感应单元，其设置在运输平台上，其包括石英舟感应器和硅片感应器，该动力机构根据石英舟感应器和硅片感应器的反馈信息带动在运输轨道上往返。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王俊朝，李军阳，李学文，向文山，
申请(专利权)人：深圳丰盛装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44
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