扩散悬臂炉及其硅片承载装置制造方法及图纸

一种扩散悬臂炉的硅片承载装置，包括用于承载硅片的石英舟和用于架起所述石英舟的舟桨，所述舟桨包括两平行设置的圆杆及连接所述圆杆的连接杆。将承载有硅片的石英舟放置在舟桨上，然后推动舟桨将硅片送入扩散悬臂炉内，把舟桨设计成包括两两平行设置的圆杆及连接两圆杆的连接杆，与传统的方形舟车相比，减小了舟桨与扩散悬臂炉内壁的接触面积（面接触变为线接触），舟桨不易与扩散悬臂炉内壁粘结，出炉时不需要撬动便可将舟桨从炉内取出来，避免了因撬动舟桨而造成硅片崩缺或舟桨断裂。此外，本实用新型专利技术还提供了一种扩散悬臂炉。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及扩散工艺领域，特别是涉及一种扩散悬臂炉及其硅片承载装置。
技术介绍
扩散工艺是指利用扩散的原理，为达到某些目的，对各种材料进行加工和处理的方法。在半导体工艺中常利用扩散法对半导体衬底渗入微量的杂质，以达到控制半导体性能的目的。传统的衬底磷预扩散是将承载硅片的石英舟放在方形的舟车上，从悬臂炉的炉管底部缓缓推入炉管，将炉管内温度升至工艺设定值并保持恒温，向炉管内通入源气(氧气及携带有磷源的少量氮气)，从而完成对硅片的磷预扩散工艺加工。在进行磷预扩散时舟车与炉管内壁直接接触，由于源气会反应生成液态的生成物，在舟车表面形成的反应生成物冷却后会将舟车与炉管内壁粘结，当磷预扩散结束后出炉时需要将舟车从炉管上撬下来，导致硅片崩缺或舟车断裂。
技术实现思路
基于此，有必要提供一种能避免硅片崩缺或舟车断裂的扩散悬臂炉及其硅片承载 装直。一种扩散悬臂炉的硅片承载装置，包括用于承载硅片的石英舟和用于架起所述石英舟的舟桨，所述舟桨包括两平行设置的圆杆及连接所述圆杆的连接杆。在其中一个实施例中，所述连接杆的数量为2根。在其中一个实施例中，所述连接杆与所述圆杆垂直连接。在其中一个实施例中，所述舟桨包括内杆和本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种扩散悬臂炉的硅片承载装置，包括用于承载硅片的石英舟和用于架起所述石英舟的舟桨，其特征在于，所述舟桨包括两平行设置的圆杆及连接所述圆杆的连接杆。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘波，李永，
申请(专利权)人：深圳深爱半导体股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：