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一种扩散悬臂炉的硅片承载装置，包括用于承载硅片的石英舟和用于架起所述石英舟的舟桨，所述舟桨包括两平行设置的圆杆及连接所述圆杆的连接杆。将承载有硅片的石英舟放置在舟桨上，然后推动舟桨将硅片送入扩散悬臂炉内，把舟桨设计成包括两两平行设置的圆杆及...
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