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本实用新型涉及扩散炉领域，具体涉及一种基于扩散炉的进出舟装置，该进出舟装置上安装有石英舟，该石英舟通过进出舟装置在扩散炉与插片机之间往返，该进出舟装置包括：载体，其包括底板和设置在底板上的定位件，该石英舟与定位件配合安装，该石英舟通过定位件...
该专利属于深圳丰盛装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳丰盛装备股份有限公司授权不得商用。

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