一种管式PECVD的电极机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种管式PECVD的电极机构，涉及太阳能电池设备技术领域；包括前电极导杆、后电极导杆、前石墨块以及后石墨块，两条后电极导杆平行设置，前电极导杆位于两条平行的后电极导杆之间；前电极导杆包括前电极头、绝缘套以及前电极连接杆，后电极导杆包括后电极头、绝缘套管以及后电极连接杆，所述的前电极头和后电极头用于与外部电源连接；前石墨块固定安装在两条后电极导杆的中部，且前石墨块与前电极连接杆电性连接；后石墨块固定安装在两条后电极导杆的尾部，且后石墨块与后电极连接杆电性连接；本实用新型专利技术的有益效果是：将石墨舟放置在前石墨块和后石墨块上，对石墨舟起到支撑作用，减少了石墨舟对石英管的压力造成的损坏。

An electrode mechanism for tubular PECVD

The utility model discloses a tubular PECVD electrode mechanism, which relates to the technical field of solar cell equipment; the front electrode guide rod, the rear electrode guide rod, the front graphite block and the rear graphite block are included; the two rear electrode guide rods are arranged in parallel; the front electrode guide rod is located between two parallel rear electrode guide rods; the front electrode guide rod includes the front electricity; The front electrode head and the rear electrode head are used for connecting with the external power supply; the front graphite block is fixed in the middle of the two rear electrode guide bars, and the front graphite block is electrically connected with the front electrode connecting rod. The latter graphite block is fixed at the tail of the two rear electrode guide rods, and the latter graphite block is electrically connected with the latter electrode connecting rod; the beneficial effect of the utility model is that the graphite boat is placed on the former graphite block and the latter graphite block to support the graphite boat and reduce the damage caused by the pressure of the graphite boat on the quartz tube.

【技术实现步骤摘要】
一种管式PECVD的电极机构
本技术涉及太阳能电池设备
，更具体的说，本技术涉及一种管式PECVD的电极机构。
技术介绍
PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition)等离子体增强化学气象沉积是利用低温等离子体做能量源，硅片置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电（或另加发热体）使硅片升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体，气体经一秕化学和等离子体反应，在硅片上形成固态薄膜。随着PECVD设备技术的发展，单管的产能也越来越大，相应的真空反应管的直径也越来越大，相应的石墨舟的尺寸和重量也越来越大，对石英管的局部压力也越来越大。
技术实现思路
为了克服现有技术的不足，本技术提供一种管式PECVD的电极机构，该管式PECVD的电极机构减少了石墨舟对石英管的压力造成的损坏，通过前石墨块和后石墨块与石墨舟相接处，达到闭环，从而实现放电。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种管式PECVD的电极机构，其改进之处在于：包括前电极导杆、后电极导杆、前石墨块以及后石墨块，两条后电极导杆平行设置，所述前电极导杆位于两条平行的后电极导杆之间；所述的前电极导杆包括前电极头、绝缘套以及前电极连接杆，所述前电极连接杆位于绝缘套内部，前电极头连接在前电极连接杆的一端；所述的后电极导杆包括后电极头、绝缘套管以及后电极连接杆，所述后电极连接杆位于绝缘套管内部，后电极头连接在后电极连接杆的一端，所述的前电极头和后电极头用于与外部电源连接；所述的前石墨块固定安装在两条后电极导杆的中部，且前石墨块与前电极连接杆电性连接；所述的后石墨块固定安装在两条后电极导杆的尾部，且后石墨块与后电极连接杆电性连接；所述的前石墨块和后石墨块上用于搁置石墨舟，实现对石墨舟的放电。在上述的结构中，所述后电极导杆的一端上具有推杆，所述后电极头位于推杆的顶端。在上述的结构中，所述的推杆上安装有炉门和支撑板，且炉门与支撑板之间活动连接，所述的前电极头安装在支撑板上。在上述的结构中，所述的炉门与支撑板之间设置有多个调节螺杆，且调节螺杆的一端活动安装在炉门上，调节螺杆的另一端与支撑板螺纹连接。在上述的结构中，所述的前石墨块上设置有贯穿的通孔，所述后电极导杆从前石墨块的通孔中穿过。在上述的结构中，所述的前石墨块和后石墨块上均设置有向上凸起的限位凸块。本技术的有益效果是：本技术的此种管式PECVD的电极机构，将石墨舟放置在前石墨块和后石墨块上，对石墨舟起到支撑作用，减少了石墨舟对石英管的压力造成的损坏，通过前石墨块和后石墨块与石墨舟相接处，达到闭环，从而实现放电。附图说明图1为本技术的一种管式PECVD的电极机构的立体结构示意图。图2为本技术的前电极导杆的剖面示意图。图3为本技术的后电极导杆的结构示意图。图4、图5为本技术的一种管式PECVD的电极机构的具体实施例图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。以下将结合实施例和附图对本技术的构思、具体结构及产生的技术效果进行清楚、完整地描述，以充分地理解本技术的目的、特征和效果。显然，所描述的实施例只是本技术的一部分实施例，而不是全部实施例，基于本技术的实施例，本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下所获得的其他实施例，均属于本技术保护的范围。另外，专利中涉及到的所有联接/连接关系，并非单指构件直接相接，而是指可根据具体实施情况，通过添加或减少联接辅件，来组成更优的联接结构。本技术创造中的各个技术特征，在不互相矛盾冲突的前提下可以交互组合。参照图1、图2以及图3所示，本技术揭示了一种管式PECVD的电极机构，具体的，该管式PECVD的电极机构包括前电极导杆10、后电极导杆20、前石墨块30以及后石墨块40，两条后电极导杆20平行设置，所述前电极导杆10位于两条平行的后电极导杆20之间；如图2所示，所述的前电极导杆10包括前电极头101、绝缘套102以及前电极连接杆103，所述前电极连接杆103位于绝缘套102内部，前电极头101连接在前电极连接杆103的一端，另外，前电极导杆10还包括刚玉杆104，前电极连接杆103位于刚玉杆104内部；如图3所示，所述的后电极导杆20包括后电极头201、绝缘套管202以及后电极连接杆203，所述后电极连接杆203位于绝缘套管202内部，后电极头201连接在后电极连接杆203的一端，所述的前电极头201101和后电极头201用于与外部电源连接。通过上述的结构，所述的前石墨块30固定安装在两条后电极导杆20的中部，且前石墨块30与前电极连接杆103电性连接；所述的后石墨块40固定安装在两条后电极导杆20的尾部，且后石墨块40与后电极连接杆203电性连接；所述的前石墨块30和后石墨块40上用于搁置石墨舟，实现对石墨舟的放电。如图4、图5所示，对于所述的管式PECVD的电极机构，本技术提供了一具体实施例，所述后电极导杆20的一端上具有推杆50，所述后电极头201位于推杆50的顶端；所述的推杆50上安装有炉门501和支撑板502，且炉门501与支撑板502之间活动连接，所述的前电极头201101安装在支撑板502上。如图4所示，所述的炉门501与支撑板502之间设置有多个调节螺杆503，且调节螺杆503的一端活动安装在炉门501上，调节螺杆503的另一端与支撑板502螺纹连接；另外，所述的前石墨块30上设置有贯穿的通孔，所述后电极导杆20从前石墨块30的通孔中穿过；所述的前石墨块30和后石墨块40上均设置有向上凸起的限位凸块，通过限位凸块对石墨舟60进行位置的限定，防止石墨舟60从前石墨块30和后石墨块40上滑落。通过上述的结构，本技术的此种管式PECVD的电极机构，将石墨舟60放置在前石墨块30和后石墨块40上，对石墨舟60起到支撑作用，当石墨舟进入石英管内时，减少了石墨舟60对石英管的压力造成的损坏，通过前石墨块30和后石墨块40与石墨舟60相接处，达到闭环，从而实现放电。以上是对本技术的较佳实施进行了具体说明，但本技术创造并不限于所述实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本技术精神的前提下还可做出种种的等同变形或替换，这些等同的变形或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种管式PECVD的电极机构，其特征在于：包括前电极导杆、后电极导杆、前石墨块以及后石墨块，两条后电极导杆平行设置，所述前电极导杆位于两条平行的后电极导杆之间；所述的前电极导杆包括前电极头、绝缘套以及前电极连接杆，所述前电极连接杆位于绝缘套内部，前电极头连接在前电极连接杆的一端；所述的后电极导杆包括后电极头、绝缘套管以及后电极连接杆，所述后电极连接杆位于绝缘套管内部，后电极头连接在后电极连接杆的一端，所述的前电极头和后电极头用于与外部电源连接；所述的前石墨块固定安装在两条后电极导杆的中部，且前石墨块与前电极连接杆电性连接；所述的后石墨块固定安装在两条后电极导杆的尾部，且后石墨块与后电极连接杆电性连接；所述的前石墨块和后石墨块上用于搁置石墨舟，实现对石墨舟的放电。

【技术特征摘要】
1.一种管式PECVD的电极机构，其特征在于：包括前电极导杆、后电极导杆、前石墨块以及后石墨块，两条后电极导杆平行设置，所述前电极导杆位于两条平行的后电极导杆之间；所述的前电极导杆包括前电极头、绝缘套以及前电极连接杆，所述前电极连接杆位于绝缘套内部，前电极头连接在前电极连接杆的一端；所述的后电极导杆包括后电极头、绝缘套管以及后电极连接杆，所述后电极连接杆位于绝缘套管内部，后电极头连接在后电极连接杆的一端，所述的前电极头和后电极头用于与外部电源连接；所述的前石墨块固定安装在两条后电极导杆的中部，且前石墨块与前电极连接杆电性连接；所述的后石墨块固定安装在两条后电极导杆的尾部，且后石墨块与后电极连接杆电性连接；所述的前石墨块和后石墨块上用于搁置石墨舟，实现对石墨舟的放电。2.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：王俊朝，王飞龙，李学文，李军阳，
申请(专利权)人：深圳丰盛装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44