温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种管式PECVD的电极机构，涉及太阳能电池设备技术领域；包括前电极导杆、后电极导杆、前石墨块以及后石墨块，两条后电极导杆平行设置，前电极导杆位于两条平行的后电极导杆之间；前电极导杆包括前电极头、绝缘套以及前电极连接杆，后电...
该专利属于深圳丰盛装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳丰盛装备股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。