一种管式PECVD的炉门调节机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种管式PECVD的炉门调节机构，涉及太阳能电池设备技术领域；包括炉门、推杆、波纹管以及调节组件，该调节组件包括支撑板和调节螺杆；所述的支撑板和炉门上均设置有用于使推杆穿过的通孔，所述的波纹管套在推杆上，且波纹管的一端固定安装在支撑板上，波纹管的另一端压在所述的炉门上，所述炉门用于在推杆的推力作用下盖在反应容腔的炉口处；所述调节螺杆的一端活动安装在炉门上，且调节螺杆的另一端与所述的支撑板螺纹连接，通过调节螺杆调节所述炉门盖在炉口上的平整度；本实用新型专利技术的有益效果是：能够达到炉门的快捷安装，提高了反应容腔的密封性能，同时便于对炉门进行调试。

【技术实现步骤摘要】
一种管式PECVD的炉门调节机构
本技术涉及太阳能电池设备
，更具体的说，本技术涉及一种管式PECVD的炉门调节机构。
技术介绍
PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition)等离子体增强化学气象沉积是利用低温等离子体做能量源，硅片置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电（或另加发热体）使硅片升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体，气体经一秕化学和等离子体反应，在硅片上形成固态薄膜。随着PECVD设备技术的发展，反应管的密封性要求越来越高。
技术实现思路
为了克服现有技术的不足，本技术提供一种管式PECVD的炉门调节机构，通过该管式PECVD的炉门调节机构能够达到炉门的快捷安装，同时便于对炉门进行调试。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种管式PECVD的炉门调节机构，其改进之处在于：包括炉门、推杆、波纹管以及调节组件，该调节组件包括支撑板和调节螺杆；所述的支撑板和炉门上均设置有用于使推杆穿过的通孔，所述的波纹管套在推杆上，且波纹管的一端固定安装在支撑板上，波纹管的另一端压在所述的炉门上，所述炉门用于在推杆的推力作用下盖在反应容腔的炉口处；所述调节螺杆的一端活动安装在炉门上，且调节螺杆的另一端与所述的支撑板螺纹连接，通过调节螺杆调节所述炉门盖在炉口上的平整度。在上述的结构中，所述的支撑板上设置有螺纹孔，所述调节螺杆具有与螺纹孔的内螺纹相适配的外螺纹。在上述的结构中，所述的调节组件还包括连接块，所述连接块的下端固定安装在支撑板上，连接块的上端设置有与调节螺杆相适配的螺纹孔。在上述的结构中，所述反应容腔的炉口上设置有一法兰盘，所述的炉门盖在法兰盘上。本技术的有益效果是：本技术的此种管式PECVD的炉门调节机构，能够达到炉门的快捷安装，提高了反应容腔的密封性能，同时便于对炉门进行调试。附图说明图1为本技术的一种管式PECVD的炉门调节机构的结构示意图。图2为本技术的一种管式PECVD的炉门调节机构的具体实施例图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。以下将结合实施例和附图对本技术的构思、具体结构及产生的技术效果进行清楚、完整地描述，以充分地理解本技术的目的、特征和效果。显然，所描述的实施例只是本技术的一部分实施例，而不是全部实施例，基于本技术的实施例，本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下所获得的其他实施例，均属于本技术保护的范围。另外，专利中涉及到的所有联接/连接关系，并非单指构件直接相接，而是指可根据具体实施情况，通过添加或减少联接辅件，来组成更优的联接结构。本技术创造中的各个技术特征，在不互相矛盾冲突的前提下可以交互组合。参照图1、图2所示，本技术揭示了一种管式PECVD的炉门调节机构，该管式PECVD的炉门调节机构包括炉门10、推杆20、波纹管30以及调节组件40，该调节组件40包括支撑板401和调节螺杆402；本实施例中，具有两个并排的推杆20，所述的支撑板401和炉门10上均设置有用于使推杆20穿过的通孔，推杆20呈中空状，内部用于穿过电极导线进入反应容腔50内；所述的波纹管30套在推杆20上，且波纹管30的一端固定安装在支撑板401上，波纹管30的另一端压在所述的炉门10上，所述炉门10用于在推杆20的推力作用下盖在反应容腔50的炉口501处，由于波纹管30具有一定的弹性，炉门10与支撑板401之间为柔性连接，通过波纹管30的伸缩，使得炉门10与炉口501之间的贴合更为紧密。对于所述的调节组件40，本技术提供了一具体实施例，所述的支撑板401大致呈三角形状，并且三角形的三个顶角均具有圆形的倒角；所述调节螺杆402的一端活动安装在炉门10上，调节螺杆402可以相对于炉门10进行转动，调节螺杆402的另一端与所述的支撑板401螺纹连接，具体的，所述的支撑板401上设置有螺纹孔，所述调节螺杆402具有与螺纹孔的内螺纹相适配的外螺纹。通过对调节螺杆402进行调节，可以调节支撑板401与炉门10之间调节螺杆402的长度，由于支撑板401已经与波纹管30相固定，因此可以对炉门10的平整度进行调整，使得炉门10与炉口501紧密贴合。另外，所述的调节组件40还包括连接块403，连接块403的下端固定安装在支撑板401上，连接块403的上端设置有与调节螺杆402相适配的螺纹孔。如图2所示，在上述的实施例中，所述反应容腔50的炉口501上设置有一法兰盘503，所述的炉门10盖在法兰盘503上。通过上述的结构，通过动力装置将推杆20朝向反应容腔50的方向推进，当炉门10与炉口501的法兰盘相接触时，查看炉门10的位置，通过对三个调节组件40进行调节，以调节所述的调节螺杆402的压紧力，使炉门10与炉口501的端面平行接触，炉门10上的密封圈与炉口501的端面相贴合；此后对反应容腔50进行抽真空，达到真空状态后停止抽气，观察反应容腔50中的压力变化，如果反应容腔50的压力不再回升则表明炉门10调试达到了技术要求，否则需重新进行调试，直至达到标准。本技术的此种管式PECVD的炉门10调节机构，能够达到炉门10的快捷安装，提高了反应容腔50的密封性能，同时便于对炉门10进行调试。以上是对本技术的较佳实施进行了具体说明，但本技术创造并不限于所述实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本技术精神的前提下还可做出种种的等同变形或替换，这些等同的变形或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种管式PECVD的炉门调节机构，其特征在于：包括炉门、推杆、波纹管以及调节组件，该调节组件包括支撑板和调节螺杆；所述的支撑板和炉门上均设置有用于使推杆穿过的通孔，所述的波纹管套在推杆上，且波纹管的一端固定安装在支撑板上，波纹管的另一端压在所述的炉门上，所述炉门用于在推杆的推力作用下盖在反应容腔的炉口处；所述调节螺杆的一端活动安装在炉门上，且调节螺杆的另一端与所述的支撑板螺纹连接，通过调节螺杆调节所述炉门盖在炉口上的平整度。

【技术特征摘要】
1.一种管式PECVD的炉门调节机构，其特征在于：包括炉门、推杆、波纹管以及调节组件，该调节组件包括支撑板和调节螺杆；所述的支撑板和炉门上均设置有用于使推杆穿过的通孔，所述的波纹管套在推杆上，且波纹管的一端固定安装在支撑板上，波纹管的另一端压在所述的炉门上，所述炉门用于在推杆的推力作用下盖在反应容腔的炉口处；所述调节螺杆的一端活动安装在炉门上，且调节螺杆的另一端与所述的支撑板螺纹连接，通过调节螺杆调节所述炉门盖在炉口上的平整度。2.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：王俊朝，王飞龙，李学文，李军阳，
申请(专利权)人：深圳丰盛装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44