本发明涉及一种用于碳化硅晶圆抛光垫及抛光方法，抛光垫由聚氨酯混合物

本发明提供了一种特殊热熔胶加工工艺的抛光垫及其制备方法，特殊热熔胶加工工艺的抛光垫包括层叠设置的抛光层和衬底；衬底朝向抛光层的表面粘接有第一胶体，抛光层远离衬底的一侧表面为抛光面，抛光层与抛光面相背的表面粘接有第二胶体，第一胶体与衬底相...

本实用新型涉及一种用于抛光垫浇注体切割的保护板，包括板体和限位部，限位部设于板体的一面，用于与抛光垫浇注体连接，板体一个方向上的最大宽度大于切割刀的长度。与现有技术相比，该保护板用于放置在抛光垫浇注体与传送带之间，有效避免传送带损伤，延...

本实用新型涉及一种具有吸附固定功能的抛光垫清洁设备，抛光垫清洁设备包括工作台、设于工作台上的抛光垫固定台和清洁组件；抛光垫固定台上设有用于放置抛光垫的承载面，承载面上分布有多个气孔，气孔用于与真空泵连通；清洁组件包括清洁支架和清洁刷，清...

本发明涉及一种抛光垫原料混合系统，包括至少一个原料桶、混合桶和粉料投加装置；原料桶上设有第一加热结构；原料桶通过液体输送管道与混合桶连通，液体输送管道上设有第二加热结构；粉料投加装置包括称重机、粉料输送管道和密封件，称重机用于吊挂粉料袋...

本发明涉及抛光垫浇筑模具、抛光垫加工方法及抛光垫，其中，抛光垫浇筑模具包括两个浇筑片，每个浇筑片的两边和底边设有贴合条，两个浇筑片的贴合条相向贴合连接，使两个浇筑片之间形成抛光垫生成内槽，每个浇筑片的顶端边缘设置有第一倾斜面作为浇筑点，...

本实用新型涉及一种用于抛光垫运输的装置，包括底板和滚轮，所板上固定连接第一支撑板和第二支撑板，第一支撑板和第二支撑板相对设置，第一支撑板和第二支撑板上分别设置有多个滑动机构，滑动机构包括两个滑块和两条滑轨，每个滑轨上设置一个滑块，第一支...

本实用新型涉及一种平整度测试装置，包括测试台、真空泵和测试组件，测试台上设有用于放置抛光垫的承载面，承载面上分布有多个气孔；真空泵的入口与气孔连通，用于对承载面与抛光垫之间的空间抽真空；测试组件上包括多个测距传感器，测距传感器与承载面相...

本实用新型涉及一种扳手，用于开启原料桶的盖体，盖体的顶部设有凹槽，凹槽内设有保护弹片，保护弹片包括设于凹槽底部的固定部和由固定部向上延伸的保护部，扳手包括相互连接的手柄和头部，头部包括两个开盖部，两个开盖部可以相对移动，使两个开盖部伸入...

本实用新型涉及一种具有防护罩的抛光垫清洁设备，抛光垫清洁设备包括工作台、抛光垫固定台和清洁组件；抛光垫固定台设于工作台上，用于放置抛光垫；清洁组件与抛光垫固定台相对设置；设于工作台上的防护罩，防护罩围绕抛光垫固定台设置，防护罩上设有安全...

本发明涉及一种抛光垫清洁设备，抛光垫清洁设备包括工作台、设于工作台上的抛光垫固定台和清洁组件；抛光垫固定台上设有用于放置抛光垫的承载面，承载面上分布有多个气孔，气孔用于与真空泵连通，抛光垫固定台与工作台转动连接，使抛光垫固定台能够绕自身...

本实用新型涉及一种抛光垫硬度测试装置。装置包括工作台、硬度计和定位件，工作台上设有用于放置抛光垫的工作面，工作台上设有支架；硬度计与支架连接，且硬度计与工作面相对设置，用于测试抛光垫的硬度；定位件设于工作面上，定位件与抛光垫的侧周抵接，...

本发明涉及一种抛光垫投料装置，包括固定支架、输送管道和密封件，固定支架上设有称重机，称重机用于吊挂粉料袋，并称量粉料袋的重量；输送管道的第一端与粉料袋的底部连通，输送管道的第二端与抛光垫搅拌桶的连通，密封件套设于输送管道上，并与粉料袋的...

本发明涉及一种抛光垫浇注模具，模具包括模具本体，模具本体内设有原料容纳腔，模具本体的顶部设有与原料容纳腔连通的浇注孔，模具本体的底部设有至少三个支脚，支脚与模具本体之间设有高度调节结构。与现有技术相比，该抛光垫浇注模具在使用过程中，可以...

本发明涉及一种具有透气孔的抛光垫，抛光垫上设有抛光面，抛光面上设有外围区域和中心区域，中心区域设于抛光垫的中心，外围区域围绕中心区域设置；外围区域设有透气孔和射线沟槽，多个透气孔分布于整个外围区域，多个射线沟槽绕抛光垫的圆心呈放射状设置...

本发明涉及一种高度可调节的抛光垫清洁设备，抛光垫清洁设备包括工作台、抛光垫固定台和清洁组件，工作台上设有限位台抛光垫固定台设于工作台上，且设有用于放置抛光垫的承载面；清洁组件通过垂直滑轨安装于抛光垫固定台上，清洁组件上设有可位置调节的限...

本发明涉及一种平整度测试方法和装置，方法包括如下步骤：选择平整参照面，平整参照面与抛光垫的测试面相对平行；在测试面上设置多个第一测试点；获取多个第一测试点与平整参照面的距离，记为第一距离；计算第一距离的样本方差，记为第一方差D1；根据所...

本实用新型涉及一种搅拌机装置，包括底座机构、搅拌机构、升降机构和支架。所述底座机构包括底板、旋转电机和转板，所述转板通过所述旋转电机固定于所述底板上方，所述转板顶面设有多个工作位，用于放置搅拌桶；所述搅拌机构通过升降机构固定于支架上，并...

本实用新型涉及一种抛光垫微球体处理装置，抛光垫微球体处理装置包括筛分设备和干燥设备，筛分设备用于筛分待处理微球体，并得到预设尺寸的微球体，筛分设备上设有筛分入口和筛分出口，筛分入口用于供待处理的微球体进入，筛分出口用于供预设尺寸的微球体...

本实用新型涉及一种抛光垫包装盒，包括盒身和盒盖，所述盒身内固定有多个支撑块，所述支撑块的内侧设有弧状接触面，用于贴合抛光垫的外圈，所述支撑块的外侧设有尖角结构，该尖角结构用于嵌合所述盒身的内角，从而固定所述支撑块的位置。与现有技术相比，...