本实用新型专利技术涉及一种用于抛光垫运输的装置，包括底板和滚轮，所板上固定连接第一支撑板和第二支撑板，第一支撑板和第二支撑板相对设置，第一支撑板和第二支撑板上分别设置有多个滑动机构，滑动机构包括两个滑块和两条滑轨，每个滑轨上设置一个滑块，第一支撑板和第二支撑板之间设置有多个分隔板，分隔板的一端与第一支撑板上滑动机构的两个滑块固定连接，分隔板的另一端与第二支撑板上滑动机构的两个滑块固定连接，分隔板用于放置抛光垫。从而可以将堆叠的抛光垫的数量限制在一定的范围内，避免堆叠的抛光垫过多对底层抛光垫造成损害，进而影响半导体的抛光效果。进而影响半导体的抛光效果。进而影响半导体的抛光效果。
【技术实现步骤摘要】
用于抛光垫运输的装置
[0001]本技术涉及抛光垫运输
，特别是涉及用于抛光垫运输的装置。
技术介绍
[0002]随着电子和半导体产业的不断发展，对晶圆的表面质量和加工精度提出了更高的要求，为满足晶圆的质量和加工精度要求，通常使用化学机械抛光(Chemical Mechanical Polishing，CMP)对晶圆进行处理。化学机械抛光是将磨粒机械磨削和抛光液化学腐蚀作业组合的抛光技术，能够使晶圆加工表面实现纳米级全局平坦化，满足集成电路特征尺寸在0.35μm以下的超精密无损伤表面加工。另外，化学机械抛光还可以对半导体的分立器件、电子元器件等进行加工。
[0003]抛光垫是直接使用化学机械抛光技术进行半导体抛光的重要耗材，抛光垫表面粗糙，设置有凸起或凹槽，加工时将表面与半导体直接接触，通过机械方式和化学方式除去半导体表面的抛光层。抛光垫的性能参数包括：硬度、压缩率、涵养量、粗糙度、密度等，其中压缩率反映抛光垫的抗变形能力，如果抛光垫的变形较大会改变抛光垫表面的平整度，进而影响半导体的抛光质量，降低半导体的抛光合格率。
[0004]当前抛光垫运输时通常采用多张抛光垫堆叠的方式，堆叠过多的抛光垫会因为抛光垫自身重力过大使得底层抛光垫变形，改变压缩率，进而影响半导体的抛光质量。
技术实现思路
[0005]基于此，有必要针对抛光垫运输时堆叠数量过多的问题，提供一种用于抛光垫运输的装置。
[0006]一种用于抛光垫运输的装置，包括底板和滚轮，该装置包括：
[0007]所述底板上固定连接第一支撑板和第二支撑板，所述第一支撑板和所述第二支撑板相对设置，所述第一支撑板和所述第二支撑板上分别设置有多个滑动机构，所述滑动机构包括两个滑块和两条滑轨，每个所述滑轨上设置一个所述滑块，所述第一支撑板和所述第二支撑板之间设置有多个分隔板，所述分隔板的一端与所述第一支撑板上所述滑动机构的所述两个滑块固定连接，所述分隔板的另一端与所述第二支撑板上所述滑动机构的所述两个滑块固定连接，所述分隔板用于放置抛光垫。
[0008]上述用于抛光垫运输的装置，用于在运输抛光垫时限制堆叠的抛光垫的高度。在使用过程中，通过在装置中设置多个分隔板，任意两个相邻分隔板之间的间距可以根据要堆叠的抛光垫的规格进行调整，从而可以将堆叠的抛光垫的数量限制在一定的范围内，避免堆叠的抛光垫过多对底层抛光垫造成损害，进而影响半导体的抛光效果。
[0009]在其中一个实施例中，所述装置还包括信息采集组件，所述数据采集组件用于采集所述抛光垫的相关信息。从而以自动化方式获取抛光垫的相关信息，提高抛光垫相关信息的获取效率。
[0010]在其中一个实施例中，所述信息采集组件包括扫码器，所述扫码器用于扫描所述
抛光垫的条形码获取所述抛光垫的相关信息。
[0011]在其中一个实施例中，所述分隔板上设置有凹陷部，所述凹陷部用于设置所述扫码器。从而保持分隔板表面的平整，避免影响到抛光垫的堆叠。
[0012]在其中一个实施例中，所述装置还包括控制组件和通讯组件，所述控制组件分别与所述信息采集组件和所述通讯组件连接，所述控制组件用于获取所述信息采集组件采集的所述抛光垫的相关信息并提供给通讯组件，所述通讯组件用于接收并发送采集的所述抛光垫的相关信息。从而以自动化方式将采集的抛光垫相关信息传输至后台服务器，方便实现抛光垫相关信息的管理和统计。
[0013]在其中一个实施例中，所述通讯组件包括蓝牙组件，所述蓝牙组件用于通过蓝牙协议将所述抛光垫相关信息发送至数据接收端。
[0014]在其中一个实施例中，相邻两个所述分隔板之间的间距为9至15厘米。从而将抛光垫的堆叠数量限制在一定范围内，避免堆叠过多。
[0015]在其中一个实施例中，所述滑轨还包括限位机构，所述限位机构用于限制所述分隔板在所述第一支撑板和所述第二支撑板上的滑动。
[0016]在其中一个实施例中，所述装置还包括四个滚轮，所述四个滚轮分别设置在所述底板的四角。
[0017]在其中一个实施例中，所述装置还包括两个把手，所述两个把手分别设置在第一支撑板的顶部边缘。
附图说明
[0018]图1为一实施例中用于抛光垫运输的装置的结构示意图；
[0019]图2为一实施例中用于抛光垫运输的装置的后视图；
[0020]图3为一实施例中用于抛光垫运输的装置的侧视图。
[0021]附图标号：100、用于抛光垫运输的装置；10、第一支撑板；20、第二支撑板；30、滑动机构；40、分隔板；50、凹陷部；60、把手；70、底板；80、滚轮。
具体实施方式
[0022]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0023]下面结合附图对一些实施例中的用于抛光垫运输的装置100进行具体描述。
[0024]如图1至图3所示，在一些实施例中，提供了一种用于抛光垫运输的装置100，用于抛光垫运输的装置100包括底板70和滚轮80，还包括第一支撑板10，第二支撑板20，滑动机构30和分隔板40。
[0025]其中，第一支撑板10和第二支撑板20相对设置，第一支撑板10和第二支撑板20相对的内侧面上分别设置有多个滑动机构30，第一支撑板10上设置的滑动机构的数量与第二支撑板20上设置的滑动机构的数量相同，并且一一对应。
[0026]每个滑动机构30包括两个滑块和两条滑轨，每条滑轨上设置一个滑块，滑块可以在滑轨上滑动。每条滑轨的设置方向与地面垂直，从而滑块可以在与地面垂直的方向上上下滑动，两条滑轨之间间隔一定距离，间隔距离可以根据第一支撑板10和第二支撑板20的水平宽度确定。另外，第一支撑板10上设置的滑动机构的滑轨和该滑动机构对应的位于第二支撑板20上的滑动机构的滑轨设置高度相同，即滑轨距离地面的高度相同。
[0027]第一支撑板10和第二支撑板20之间设置有多个分隔板40，每个分隔板40的一端与第一支撑板10上某一个滑动机构30的两个滑块固定连接，另一端与第二支撑板20上对应的滑动机构30的两个滑块固定连接，使得分隔板40与地面保持平行。分隔板40用于放置多张抛光垫，抛光垫以堆叠形式放置在分隔板40上，任意两个分隔板之间的空间用于放置一定数量的抛光垫。
[0028]在此，抛光垫通常包括抛光层、缓冲层、粘接层和背胶层，其中抛光层的厚度通常在1mm至4mm之间，缓冲层的厚度通常在0.5mm至2mm之间，粘接层的厚度通常在0.1mm至0.2mm之间，背胶层的厚度通常在0.5mm至2mm之间，抛光垫的直径通常在500mm至900mm之间。一张抛光垫的厚度通常在2mm至8mm之间，不同批次的抛光垫本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于抛光垫运输的装置，包括底板和滚轮，其特征在于，该装置包括：所述底板上固定连接第一支撑板和第二支撑板，所述第一支撑板和所述第二支撑板相对设置，所述第一支撑板和所述第二支撑板上分别设置有多个滑动机构，所述滑动机构包括两个滑块和两条滑轨，每个所述滑轨上设置一个所述滑块，所述第一支撑板和所述第二支撑板之间设置有多个分隔板，所述分隔板的一端与所述第一支撑板上所述滑动机构的所述两个滑块固定连接，所述分隔板的另一端与所述第二支撑板上所述滑动机构的所述两个滑块固定连接，所述分隔板用于放置抛光垫。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括信息采集组件，所述信息采集组件用于采集所述抛光垫的相关信息。3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述信息采集组件包括扫码器，所述扫码器用于扫描所述抛光垫的条形码获取所述抛光垫的相关信息。4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述分隔板上设置有凹陷部，所述凹陷部用于设置所述扫码器。5....
【专利技术属性】
技术研发人员：杨波，
申请(专利权)人：上海芯谦集成电路有限公司，
类型：新型
国别省市：
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