本发明提供了一种基于神经网络的外延生长率计算方法及系统，其中方法包括：采集晶圆外延生长过程中的反射率数据；将所述反射率数据进行预处理，得到输入数据。本发明通过神经网络模型构建反射率数据和折射率值（n）、消光系数值（k）复杂的非线性关系，...

本发明提供了一种抗干扰集成式刻蚀终点检测设备，包括：用于收集刻蚀腔体内光学信号的信号收集模块；分别用于在不同工艺场景下接收并处理光学信号的干涉终点检测功能模块和光学发射光谱终点检测功能模块，其中干涉终点检测功能模块包括用于在第一工艺场景...

本发明提供了一种高精度紫外短波段的终点检测装置及方法，用于对机台腔室内刻蚀和薄膜过程所产生的光信号进行检测，包括；信号收集模块和处理模块，所述信号收集模块和处理模块通过信号线连接；所述信号收集模块包括探头和光纤，设于所述机台腔室一侧用于...

本发明公开了一种基于超声飞行时间的高精度气体浓度监测装置与方法，水平或竖直安装在机台气柜中MFC旁侧对气体浓度进行实时监测。装置结构包括传感器和控制器，其中传感器包括：气体管道、气体腔室、超声腔室、密封环和温度控制组件。监测方法是通过超...

一种多通道腔室清洁终点监测装置，涉及半导体技术领域，一种多通道腔室清洁终点监测装置，竖直安装在清洁腔室的前端尾排管道旁侧，进行实时气体浓度监测，其特征在于，所述装置的结构包括：光源；气体腔室，所述气体腔室包括柱形腔室本体及垂直设于腔室本...

一种多通道腔室清洁终点监测装置及方法，涉及半导体技术领域

本实用新型公开一种半导体恒温测试台，包括工作台、滑板和限位装置，本实用新型通过在工作台顶部两端沿口处设置有两个固定板，其中一个固定板侧壁活动连接有转钮，转钮侧壁设置有螺纹杆，螺纹杆贯穿延伸至另一个固定板侧壁，在两个固定板之间设置有滑板，...

本实用新型公开的属于测试装置技术领域，具体为一种强度检测机构，包括测试箱、T形固定架、配重箱和待测物体，测试箱顶壁开设有开口，测试箱顶壁垂直设置有T形固定架，T形固定架底部垂直设置有两个第一电动缸。该实用新型，将钢丝绳连接的插销，插入不...

本实用新型公开了一种半导体机台的测温机构，包括：底座，所述底座的上部设置有放置台且放置台的内部设置有放置槽，所述放置槽的内部设置有测温台，所述放置台的内部设置有安装槽且测温台位于安装槽的表面，所述测温台的表面设置有晶圆框架且晶圆框架的内...

本实用新型公开了一种激光器光谱检测的固定装置，属于激光器检测技术领域,包括固定底板、激光器、光纤接口座和固定箱，所述固定箱的顶部上安装有固定盖板，所述固定箱的底部内设置有固定槽，所述固定槽上均匀的内嵌有若干滚珠，所述固定槽的两侧内壁上设...

本实用新型公开了一种等离子体的清洗装置，包括装置本体，所述装置本体包括工作台、安装座、移动清洗装置和支撑装置，所述安装座安装在工作台顶部后端，所述移动清洗装置安装在安装座顶部，所述支撑装置设有一组，一组所述支撑装置呈对称方式安装在工作台...