本申请提供了一种温度测量方法及其模块、红外测温仪、设备及存储介质，在开启阶段和关闭阶段分别获取参考信号和目标信号，对其进行差分处理，再从差分信号中提取波动信息，将波动信息作为噪声预测模型的输入进行自适应建模和预测，并通过权重向量的在线更...

本申请涉及一种OES光谱仪所用的光学探头及其光学系统。该光学探头，用于安装在半导体工艺腔的侧壁上，包括：基座，设有轴向贯穿的中心通孔，中心通孔的一端为所述基座的进光端，中心通孔的另一端为所述基座的出光端；透镜组，设于所述基座的中心通孔中...

本发明涉及半导体工艺气体检测技术领域，提供一种多元混合气体浓度检测方法、装置、设备、介质和程序，包括以：生成至少两个频率不同且频率差处于预设阈值内的超声波信号，接收经多元混合气体传播后的超声波信号，将接收到的超声波信号与参考信号进行数字...

本申请提供了一种光谱数据的优化方法及其装置、计算机设备及存储介质，涉及半导体检测技术领域，本申请获取光谱仪输出的原始光谱数据，计算每一帧原始光谱数据的中心波长值，并根据中心波长值从预设的数据库中查询得到对应的仪器线型函数；再采用反卷积算...

本申请提供了一种催化剂的制备方法及可燃气体传感器，其中制备方法包括提供反应器；其中，所述反应器具有底部的吹扫口、顶部的入料口和位于中部的反应腔；将催化剂颗粒物从所述入料口投放至所述反应腔内；控制所述吹扫口将混合有保护材料的水溶液吹扫至所...

本申请提供了一种光谱仪分辨率的控制方法、模块及原位监测系统，涉及半导体检测技术领域，本申请获取光谱仪输出的光谱数据，计算其中心波长值，根据中心波长值和预设的目标分辨率，查询预设的关系模型，得到对应的目标狭缝宽度；发送调整指令至电机，以使...

本申请涉及一种气体浓度检测装置及实时检测方法。该气体浓度检测装置，用于实时检测半导体设备的气路中的二元混合气体中待测气体的浓度，该装置包括：测量腔、压力传感器、驱动器、超声波发射换能器、超声波接收换能器、放大器与处理器。测量腔设置于半导...

本发明公开了一种可调焦激光干涉终点检测装置，包括检测主体；光源模块，用于发出检测光线和/或照明光线；调焦镜头，包括设于检测主体内部的第一透镜组、调焦组和第二透镜组；调焦组和第二透镜组沿竖直方向可移动的设于检测主体内部；光源模块发出的检测...

本申请提供了一种外延生长反应腔内工艺环境的优化方法及其系统，涉及半导体检测技术领域，本申请获取反应腔内颗粒物的侧向散射光信号和行星盘的旋转相位信息，采用最优估计算法与基于工艺场景构建的正向模型数据库进行比对，能够在外延生长过程中实时反演...

本发明公开了一种折反射激光干涉终点检测系统，涉及半导体技术领域，其中折反射激光干涉终点检测系统包括沿光路依次设置的第一固定透镜组、第二固定透镜组和第三固定透镜组；第一反射镜围绕第一固定透镜组并沿光路可移动的设置，第二反射镜设于第三固定透...

本申请涉及一种金属污染在线监测方法、系统、电子设备、存储介质及计算机程序产品。该方法，包括：获取半导体工艺中工艺腔内的光谱数据；根据主成分分析模型计算光谱数据的SPE统计量，当判断SPE统计量超过预设控制限时，将光谱数据作为污染光谱，并...

本申请提供了一种MOCVD设备的卫星盘转速检测方法、系统、计算机设备及存储介质，涉及半导体检测技术领域，本申请通过时域和频域融合、以及状态估计算法，从噪声中精确提取微弱的转速特征信号，显著提高转速特征在强噪声背景下的检出能力与峰位稳定性...

本申请提供了一种外延生长反应腔内气体浓度的检测方法、系统、计算机设备及存储介质，本申请获取反射光信号、参考信号和反应腔环境信号；根据参考信号对反射光信号进行波长校准和强度基线校准，并根据校准后的反射光信号生成实验吸收谱线；根据反应腔环境...

本申请涉及一种用于检测二元气体浓度的气体浓度检测装置，包括检测模块、密封套筒模块和控制器模块。检测模块包括检测腔室、与检测腔室一体形成的成型腔体和用密封胶密封在成型腔体内的换能器。密封套筒模块具有与检测模块的形状匹配的套筒容器形状，以容...

本发明公开了一种高分辨率气体浓度检测装置，涉及半导体气体浓度检测领域，包括：光源，用于产生检测光线；气室，气室包括吸收池和相对设置于吸收池两端的两个反射镜，反射镜上设置有光学窗口；滤波件，设置于光路中；检测件；驱动组件，包括第一驱动件和...

本发明公开了一种多通道气体浓度检测系统，涉及气体浓度检测领域，包括：光源；吸收池，侧壁设有入光口和出光口，吸收池内设有相对设置的第一反射件和第二反射件；旋转扫描件，设置于出光口外侧，且沿周向开设有多个安装槽；检测单元包括光调制件和检测件...

本发明提供了一种自由基浓度的在线检测方法及检测系统，检测方法包括：控制模块执行第一检测模式，以获得本底基线信号；控制模块执行第二检测模式，以获得包括所述本底基线信号和自由基浓度信号的总信号；其中，第二检测模式为：开启等离子体源的电源和所...

本申请提供了一种数据检测方法及其系统、检测装置、计算机设备及存储介质，本申请获取行星式反应腔内各晶圆表面的检测信号，基于触发信号切割检测信号得到第一信号序列和第二信号序列；采用分类模型处理第一信号序列，得到各晶圆上的材料类型；基于材料类...

本发明公开了一种基于复合信号的多组分气体浓度检测方法，涉及气体浓度检测技术领域，包括：利用数字微镜器件按预设波长序列调制入射至气室的光束；所述气室内设置有互不干涉的吸收光谱检测光路和光声光谱检测光路，并实时同步采集由所述吸收光谱检测光路...

本发明公开了一种多组分气体浓度检测系统，涉及气体浓度检测领域，包括，光源，用于发射覆盖目标气体吸收波段的检测光；分光组件，用于将检测光色散并至少分束形成第一光束与第二光束；气室，设有光信号检测模块及声信号检测模块；第一光调制器，用于对所...