本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体涉及一种排气管道；包括喷淋箱、进气管和刮除模块，进气管与喷淋箱相连通，进气管具有出气口，刮除模块包括驱动组件、驱动轴、螺旋板和刮除板，驱动组件与喷淋箱固定连接，驱动轴与驱动组件固定连接，并位于喷淋箱...

本实用新型涉及半导体气体施工技术领域，具体涉及一种氦测仪器，包括固定座、活动丝杆、固定板、升降板、氦气填充组件、密封组件和氦气浓度探测头，密封组件包括固定框和滑动框，进行检测时，将滑动框与固定框组合，与被测管道的外侧壁形成密闭空间，将氦...

本实用新型涉及监控取样技术领域，具体涉及一种轨道自动焊机的监控取样装置；包括底座、固定筒、升降组件、云台和监控摄像机本体，固定筒设置于底座内，云台上设置有监控摄像机本体，还包括收纳模块，收纳模块包括驱动组件、固定座、双向螺纹杆、连接座、...

本实用新型涉及环保设备技术领域，具体涉及一种气体过滤器，包括主体和过滤组件，过滤组件包括第一滤网、集气斗、导气管、进液管、排液阀和第二滤网，主体为过滤组件提供安装条件，过滤腔用于存储吸收液，半导体生产过程中产生的废气首先通过第一滤网，第...

本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体涉及一种特殊气体管路系统，包括底座、挡板、横向移动组件、固定组件和纵向移动组件，底座的上方开设有多个通槽，挡板与底座固定连接，并位于底座的上方，横向移动组件的数量为两组，两组横向移动组件分别设置在底...

本实用新型涉及监测仪器技术领域，具体涉及一种水分析仪器；包括操作台、支撑杆、夹持组件、收集筒和分析仪本体，支撑杆与操作台固定连接，分析仪本体设置于操作台上，夹持组件的数量为两组，每组夹持组件分别与支撑杆固定连接，且两组夹持组件对称设置，...

本实用新型涉及微粒分析技术领域，具体公开了一种微粒分析仪器，包括底座、支撑板和切换组件，支撑板与底座固定连接，并位于底座的上方，切换组件包括气缸、储物瓶、电机、转轴、齿轮、齿条、连接块、滑块、搅拌器和分析器，气缸的输出端贯穿底座，储物瓶...

本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体涉及一种超洁净气体管路系统；包括安装座、多组固定模块和多组识别组件，多组识别组件均与安装座固定连接，固定模块包括两组固定组件，每组固定组件包括固定板、伸缩杆、连接块、弧块、抵持弹簧和夹板，固定板与安...

本实用新型涉及管件接头技术领域，具体涉及一种气体系统管件连接接头，包括第一管件、连接头、第二管件、连接组件和固定组件，第一管件与连接头拆卸连接，并位于连接头的一端，连接头相对的内侧壁上开设有滑槽，两个滑槽的一侧上开设有通孔，第二管件与连...

本实用新型涉及气体控制设备技术领域，具体涉及一种半导体生产时的气体控制系统；包括底座、支撑柱，支撑板、生产台、密封箱、支撑组件、喷气组件和净化组件，通过生产台对密封箱进行支撑，支撑组件设置于密封箱的内部，喷气组件设置于密封箱的上方，能够...

本实用新型涉及半导体集成电路制造技术领域，具体涉及一种半导体生产的真空管系统；包括工作台、样品台、牵引组件、调节组件、推动组件、安装架、真空管、吸附机本体和真空压力吸头，真空压力吸头与吸附机本体相适配，牵引组件包括支撑架、第一弹簧、滑块...