一种超洁净气体管路系统技术方案

本实用新型专利技术涉及半导体加工技术领域，具体涉及一种超洁净气体管路系统；包括安装座、多组固定模块和多组识别组件，多组识别组件均与安装座固定连接，固定模块包括两组固定组件，每组固定组件包括固定板、伸缩杆、连接块、弧块、抵持弹簧和夹板，固定板与安装座固定连接，夹板与安装座转动连接，并位于安装座的外壁，连接块与夹板转动连接，弧块与连接块固定连接，伸缩杆的两端分别与固定板和连接块固定连接，抵持弹簧的两端分别与固定板和连接块固定连接，并套设于伸缩杆的外部，通过上述结构的设置，实现了便于对气体管路进行安装，省时省力。力。力。

An ultra clean gas pipeline system

【技术实现步骤摘要】
一种超洁净气体管路系统


[0001]本技术涉及半导体加工
，尤其涉及一种超洁净气体管路系统。

技术介绍

[0002]气体的使用在半导体制程中一直扮演着重要的角色，特别是半导体制程目前已被广泛的应用于各项产业，但是气体很多是对人体有害，特别是其中有些气体如SiH4的自燃性，只要一泄漏就会与空气中的氧气起剧烈反应，开始燃烧；还有AsH3的剧毒性，任何些微的泄漏都可能造成人员生命的危害，也就是因为这些显而易见的危险，所以对于系统设计安全性的要求就特别高，需要使用高纯、洁净气体输送管路，但是半导体气体管路在进行检查维修时，不便于对不同的半导体气体管路进行区分，影响检查维修的效率。
[0003]通过设置放置框和标识板，便于对不同的半导体气体管路进行区分，提高检查维修的效率。
[0004]但是半导体气体管路是通过螺栓进行固定，不便于对半导体气体管路进行安装，费时费力。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种超洁净气体管路系统，旨在解决现有技术中的不便于对气体管路进行安装，费时费力的技术问题。
[0006]为实现上述目的，本技术采用的一种超洁净气体管路系统，包括安装座、多组固定模块和多组识别组件，多组所述固定模块均设置于所述安装座的外壁，多组所述识别组件均与所述安装座固定连接，并均位于所述安装座的外壁；
[0007]所述固定模块包括两组固定组件，每组所述固定组件包括固定板、伸缩杆、连接块、弧块、抵持弹簧和夹板，所述固定板与所述安装座固定连接，并位于所述安装座的外壁，所述夹板与所述安装座转动连接，并位于所述安装座的外壁，所述连接块与所述夹板转动连接，并位于所述夹板的外壁，所述弧块与所述连接块固定连接，并位于所述连接块的上方，所述伸缩杆的两端分别与所述固定板和所述连接块固定连接，所述抵持弹簧的两端分别与所述固定板和所述连接块固定连接，并套设于所述伸缩杆的外部。
[0008]其中，所述伸缩杆包括内杆和固定筒，所述固定筒与所述固定板固定连接，并位于所述固定板的外壁，所述内杆的一端与所述固定筒滑动连接，所述内杆的另一端与所述连接块固定连接。
[0009]其中，所述识别组件包括放置框和标识板，所述放置框与所述安装座固定连接，并位于所述固定板的外壁，所述标识板与所述放置框滑动连接，并位于所述放置框内。
[0010]其中，所述固定组件还包括耐磨凸块，所述耐磨凸块的数量为多个，多个所述耐磨凸块均与所述夹板固定连接，并位于所述夹板的内壁。
[0011]其中，所述超洁净气体管路系统还包括防滑条，所述防滑条与所述夹板固定连接，并位于所述夹板的内壁。
[0012]其中，所述超洁净气体管路系统还包括摩擦垫，所述摩擦垫与所述安装座固定连接，并位于所述安装座的外壁。
[0013]其中，所述超洁净气体管路系统还包括把手，所述把手的数量为两个，两个所述把手分别与所述安装座固定连接，并对称设置于所述安装座的外壁。
[0014]其中，所述超洁净气体管路系统还包括软套，所述软套与所述把手固定连接，并套设于所述把手的外壁。
[0015]其中，所述超洁净气体管路系统还包括定位螺栓，所述定位螺栓的数量为四个，四个所述定位螺栓均贯穿于所述安装座。
[0016]其中，所述识别组件还包括拔块，所述拔块与所述标识板固定连接，并位于所述标识板的外壁。
[0017]本技术的一种超洁净气体管路系统，当将安装气体管路时，先将所述安装座固定在墙面，然后将管路插入两块所述夹板中，气体管路会挤压两块所述夹板，所述夹板在所述安装座上转动，所述夹板转动时会触碰所述弧块，所述弧块拉动所述连接块移动，使得所述伸缩杆和所述抵持弹簧压缩，所述抵持弹簧具有回弹力，气体管路完全位于两块所述夹板之间时，所述抵持弹簧推动所述连接块，使得所述连接块推动所述夹板，从而将气体管路抵持固定，所述安装座上的所述识别组件能够对不同的气体管路进行区分，便于后续的检查维修，实现了便于对气体管路进行安装，省时省力。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1是本技术的超洁净气体管路系统的结构示意图。
[0020]图2是本技术的超洁净气体管路系统的正视图。
[0021]图3是本技术的超洁净气体管路系统的俯视图。
[0022]图4是本技术的图1的A处局部结构放大图。
[0023]图5是本技术的图2的B处局部结构放大图。
[0024]1‑
安装座、2
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固定模块、3
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识别组件、4
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耐磨凸块、5
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防滑条、6
‑
摩擦垫、7
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把手、8
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软套、9
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定位螺栓、10
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拔块、11
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固定组件、12
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固定板、13
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伸缩杆、14
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内杆、15
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固定筒、16
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连接块、17
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弧块、18
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抵持弹簧、19
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夹板、20
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放置框、21
‑
标识板。
具体实施方式
[0025]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0026]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附
图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0027]请参阅图1至图5，本技术提供了一种超洁净气体管路系统，包括安装座1、多组固定模块2和多组识别组件3，多组所述固定模块2均设置于所述安装座1的外壁，多组所述识别组件3均与所述安装座1固定连接，并均位于所述安装座1的外壁；
[0028]所述固定模块2包括两组固定组件11，每组所述固定组件11包括固定板12、伸缩杆13、连接块16、弧块17、抵持弹簧18和夹板19，所述固定板12与所述安装座1固定连接，并本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超洁净气体管路系统，其特征在于，包括安装座、多组固定模块和多组识别组件，多组所述固定模块均设置于所述安装座的外壁，多组所述识别组件均与所述安装座固定连接，并均位于所述安装座的外壁；所述固定模块包括两组固定组件，每组所述固定组件包括固定板、伸缩杆、连接块、弧块、抵持弹簧和夹板，所述固定板与所述安装座固定连接，并位于所述安装座的外壁，所述夹板与所述安装座转动连接，并位于所述安装座的外壁，所述连接块与所述夹板转动连接，并位于所述夹板的外壁，所述弧块与所述连接块固定连接，并位于所述连接块的上方，所述伸缩杆的两端分别与所述固定板和所述连接块固定连接，所述抵持弹簧的两端分别与所述固定板和所述连接块固定连接，并套设于所述伸缩杆的外部。2.如权利要求1所述的超洁净气体管路系统，其特征在于，所述伸缩杆包括内杆和固定筒，所述固定筒与所述固定板固定连接，并位于所述固定板的外壁，所述内杆的一端与所述固定筒滑动连接，所述内杆的另一端与所述连接块固定连接。3.如权利要求2所述的超洁净气体管路系统，其特征在于，所述识别组件包括放置框和标识板，所述放置框与所述安装座固定连接，并位于所述固定板的外壁，所述标识板与所述放置框滑动连接，并位于所述放置框内。4.如权利要求3...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶超，冯辉，常浩，
申请(专利权)人：瑞奥华科技工程成都有限公司，
类型：新型
国别省市：