一种半导体生产的真空管系统技术方案

本实用新型专利技术涉及半导体集成电路制造技术领域，具体涉及一种半导体生产的真空管系统；包括工作台、样品台、牵引组件、调节组件、推动组件、安装架、真空管、吸附机本体和真空压力吸头，真空压力吸头与吸附机本体相适配，牵引组件包括支撑架、第一弹簧、滑块、牵引绳、连接环和安装环，安装架与工作台固定连接，滑块与支撑架滑动连接，第一弹簧设置于滑动槽内，且第一弹簧的两端分别与支撑架和滑块固定连接，安装环与滑块固定连接，牵引绳的两端分别与安装环和连接环固定连接，连接环套设于真空管的外壁，通过上述结构的设置，实现了对真空管进行牵制，避免真空管在移动过程中改变形态，减少对半导体生产过程造成的影响。对半导体生产过程造成的影响。对半导体生产过程造成的影响。

A vacuum tube system for semiconductor production

【技术实现步骤摘要】
一种半导体生产的真空管系统


[0001]本技术涉及半导体集成电路制造
，尤其涉及一种半导体生产的真空管系统。

技术介绍

[0002]指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用。半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料。今日大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，而硅更是各种半导体材料中，在商业应用上最具有影响力的一种，目前半导体需配合吸附机和真空管配合进行生产，但在生产的过程中，无法对吸附机进行移动，影响生产效率。
[0003]通过设置丝杆和固定座，使得吸附机能够进行移动，提高了生产效率。
[0004]但是真空管随着吸附机移动，真空管在移动过程中会改变形态，会对半导体生产过程造成影响。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种半导体生产的真空管系统，旨在解决现有技术中的真空管在移动过程中会改变形态，会对半导体生产过程造成影响的技术问题。
[0006]为实现上述目的，本技术采用的一种半导体生产的真空管系统，包括工作台、样品台、牵引组件、调节组件、推动组件、安装架、真空管、吸附机本体和真空压力吸头，所述样品台与所述工作台固定连接，并位于所述工作台的上方，所述牵引组件和所述调节组件分别设置于所述工作台上，所述安装架与所述调节组件固定连接，所述推动组件设置于所述安装架的外壁，所述吸附机本体与所述推动组件固定连接，所述真空压力吸头与所述吸附机本体相适配，所述真空管安装于所述真空压力吸头上；
[0007]所述牵引组件包括支撑架、第一弹簧、滑块、牵引绳、连接环和安装环，所述安装架与所述工作台固定连接，并位于所述工作台的外壁，所述支撑架具有滑动槽，所述滑块与所述支撑架滑动连接，并位于所述滑动槽内，所述第一弹簧设置于所述滑动槽内，且所述第一弹簧的两端分别与所述支撑架和所述滑块固定连接，所述安装环与所述滑块固定连接，并位于所述滑块的下方，所述牵引绳的两端分别与所述安装环和所述连接环固定连接，所述连接环套设于所述真空管的外壁。
[0008]其中，所述调节组件包括支撑板、驱动电机、安装板、减速机、丝杆和固定座，所述安装板的数量为两块，两块所述安装板分别与所述工作台固定连接，并均位于所述工作台的外壁，所述丝杆的两端分别与两块所述安装板固定连接，所述固定座与所述丝杆螺纹配合，所述支撑板与所述工作台固定连接，并位于工作台的外壁，所述驱动电机的底部与所述支撑板固定连接，所述减速机与所述驱动电机的输出端固定连接，所述减速机的输出端贯穿其中一块所述安装板，并与所述丝杆固定连接。
[0009]其中，所述安装架包括支撑柱和连接板，所述支撑柱与所述固定座固定连接，并位于所述固定座的上方，所述连接板与所述支撑柱固定连接，并位于所述支撑柱的外壁，所述推动组件与所述连接板固定连接。
[0010]其中，所述推动组件包括气缸和液压杆，所述气缸与所述连接板固定连接，并位于所述连接板的下方，所述液压杆与所述气缸的输出端固定连接，所述吸附机本体与所述液压杆的一端固定连接。
[0011]其中，所述半导体生产的真空管系统还包括支撑腿，所述支撑腿的数量为多根，多根所述支撑腿与工作台固定连接，并均位于所述工作台的下方。
[0012]其中，所述半导体生产的真空管系统还包括摩擦垫，所述摩擦垫的数量为多块，每块所述摩擦垫与对应的所述支撑腿固定连接，并分别位于对应的所述支撑腿的下方。
[0013]其中，所述半导体生产的真空管系统还包括多组减震组件，多组减震组件分别与工作台固定连接，每组所述减震组件包括伸缩杆和第二弹簧，所述伸缩杆与所述工作台固定连接，并位于所述工作台的下方，所述第二弹簧套设于所述伸缩杆的外部。
[0014]其中，所述半导体生产的真空管系统还包括防滑板，所述防滑板与所述伸缩杆固定连接，并位于所述伸缩杆的下方，所述第二弹簧的两端分别与所述工作台和所述防滑板固定连接。
[0015]其中，所述伸缩杆包括外筒和内杆，所述外筒的底部与所述防滑板固定连接，所述内杆的一端与所述外筒滑动连接，所述内杆的另一端与所述工作台固定连接。
[0016]其中，所述半导体生产的真空管系统还包括防护板，所述防护板与所述工作台固定连接，并位于所述工作台的上方。
[0017]本技术的一种半导体生产的真空管系统，当在所述工作台上的生产半导体产品时，半导体产品放置在所述样品台上，启动所述调节组件，将所述安装架移动到所述样品台的上方，然后通过所述推动组件使得所述吸附机本体朝向所述样品台移动，所述吸附机本体安装有所述真空压力吸头，所述真空压力吸头和所述真空管进行配合，从而对半导体产品进行吸附，在吸附半导体产品过程中，所述真空管会随着所述吸附机本体上的所述真空压力吸头移动，所述真空管外壁套设有所述连接环，所述牵引绳连接所述安装环和所述连接环，所述连接环会随着所述真空管移动，所述牵引绳会拉着所述安装环，使得所述滑块在所述滑动槽进行滑动，同时所述支撑架中的所述滑动槽设置有所述第一弹簧与所述滑块连接，所述第一弹簧限制所述滑块移动，防止所述滑块在所述滑动槽中随意滑动，所述第一弹簧随着所述滑块的移动而伸缩，实现了对所述真空管进行牵制，避免真空管在移动过程中改变形态，减少对半导体生产过程造成的影响。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1是本技术的半导体生产的真空管系统的结构示意图。
[0020]图2是本技术的半导体生产的真空管系统的侧视图。
[0021]图3是本技术的半导体生产的真空管系统的后视图。
[0022]图4是本技术的图2的A
‑
A线结构剖视图。
[0023]图5是本技术的图2的B处局部结构放大图。
[0024]1‑
工作台、2
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样品台、3
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牵引组件、4
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调节组件、5
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推动组件、6
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安装架、7
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真空管、8
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吸附机本体、9
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真空压力吸头、10
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滑动槽、11
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支撑腿、12
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摩擦垫、13
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减震组件、14
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防滑板、15
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防护板、16
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支撑架、17
‑
第一弹簧、18
‑
滑块、19
‑
牵引绳、20
‑
连接环、21<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体生产的真空管系统，其特征在于，包括工作台、样品台、牵引组件、调节组件、推动组件、安装架、真空管、吸附机本体和真空压力吸头，所述样品台与所述工作台固定连接，并位于所述工作台的上方，所述牵引组件和所述调节组件分别设置于所述工作台上，所述安装架与所述调节组件固定连接，所述推动组件设置于所述安装架的外壁，所述吸附机本体与所述推动组件固定连接，所述真空压力吸头与所述吸附机本体相适配，所述真空管安装于所述真空压力吸头上；所述牵引组件包括支撑架、第一弹簧、滑块、牵引绳、连接环和安装环，所述安装架与所述工作台固定连接，并位于所述工作台的外壁，所述支撑架具有滑动槽，所述滑块与所述支撑架滑动连接，并位于所述滑动槽内，所述第一弹簧设置于所述滑动槽内，且所述第一弹簧的两端分别与所述支撑架和所述滑块固定连接，所述安装环与所述滑块固定连接，并位于所述滑块的下方，所述牵引绳的两端分别与所述安装环和所述连接环固定连接，所述连接环套设于所述真空管的外壁。2.如权利要求1所述的半导体生产的真空管系统，其特征在于，所述调节组件包括支撑板、驱动电机、安装板、减速机、丝杆和固定座，所述安装板的数量为两块，两块所述安装板分别与所述工作台固定连接，并均位于所述工作台的外壁，所述丝杆的两端分别与两块所述安装板固定连接，所述固定座与所述丝杆螺纹配合，所述支撑板与所述工作台固定连接，并位于工作台的外壁，所述驱动电机的底部与所述支撑板固定连接，所述减速机与所述驱动电机的输出端固定连接，所述减速机的输出端贯穿其中一块所述安装板，并与所述丝杆固定连接。3.如权利要求2所述的半导体生产的真空管系统，其特征在于，所述安装架包括支撑柱和连接板，所述支撑柱与所述固定座固定连接，并位于所述固定座的上方，所述连接板与所述支撑柱固定连接，并...

【专利技术属性】
技术研发人员：张建，袁华伟，冯辉，常浩，
申请(专利权)人：瑞奥华科技工程成都有限公司，
类型：新型
国别省市：