一种气体管路系统技术方案

本实用新型专利技术涉及半导体加工技术领域，具体涉及一种特殊气体管路系统，包括底座、挡板、横向移动组件、固定组件和纵向移动组件，底座的上方开设有多个通槽，挡板与底座固定连接，并位于底座的上方，横向移动组件的数量为两组，两组横向移动组件分别设置在底座上，固定组件的数量为四组，每两组固定组件分别设置在对应的横向移动组件的上方，纵向移动组件的数量为两组，两组纵向移动组件分别设置在对应的横向移动组件的底部，通过以上结构设置，使得管路在需要进行位置的微调时，无需将管路进行拆卸即可完成位置的调整，使得在使用时更加的方便。便。便。

【技术实现步骤摘要】
一种气体管路系统


[0001]本技术涉及半导体加工
，尤其涉及一种特殊气体管路系统。

技术介绍

[0002]特殊气体在半导体加工时起到了重要的作用，在特殊气体进行输送时，需要使用气体管路进行输送，在气体管路安装好后，如需遇到特殊情况时便需要对管路之间的位置进行微调；
[0003]目前大多数是使用螺栓对管路进行固定，在检修或者位置调整时，螺栓能够取下，避免将管路损坏；
[0004]目前使用螺栓安装，在管路移动时，需要将螺栓取下，使得移动非常的不方便。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种特殊气体管路系统，旨在解决目前使用螺栓安装，在管路移动时，需要将螺栓取下，使得移动非常的不方便的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供了一种特殊气体管路系统，包括底座、挡板、横向移动组件、固定组件和纵向移动组件，所述底座的上方开设有多个通槽，所述挡板与所述底座固定连接，并位于所述底座的上方，所述横向移动组件的数量为两组，两组所述横向移动组件分别设置在所述底座上，所述固定组件的数量为四组，每两组所述固定本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气体管路系统，其特征在于，包括底座、挡板、横向移动组件、固定组件和纵向移动组件，所述底座的上方开设有多个通槽，所述挡板与所述底座固定连接，并位于所述底座的上方，所述横向移动组件的数量为两组，两组所述横向移动组件分别设置在所述底座上，所述固定组件的数量为四组，每两组所述固定组件分别设置在对应的所述横向移动组件的上方，所述纵向移动组件的数量为两组，两组所述纵向移动组件分别设置在对应的所述横向移动组件的底部；每组所述横向移动组件包括滑轨、滑动板、紧固螺栓、安装柱和固定板，所述滑轨设置在所述底座的上方，所述滑动板的数量为两个，两个所述滑动板分别与所述滑轨滑动连接，并位于所述滑轨的内部，所述紧固螺栓的数量为四个，每两个所述紧固螺栓分别与对应的所述滑动板拆卸连接，并分别位于所述滑动板的上方，所述安装柱的数量为两个，两个所述安装柱分别与对应的所述滑动板固定连接，并分别位于所述滑动板的上方，所述固定板的数量为两个，两个所述固定板分别与对应的所述安装柱固定连接，并分别位于所述安装柱的上方。2.如权利要求1所述的气体管路系统，其特征在于，每组所述固定组件包括下夹套、连接轴、上夹套和固定螺栓，所述下夹套与所述固定板固定连接，并位于所述固定板的上方，所述连接轴转动连接在所述下夹套和所述上夹套之间，并位于所述上夹套和所述下夹套的一侧，所述固定螺栓贯穿所述上夹套和所述下夹套，并与所述上夹套和所述下夹套拆卸连接，且位于所述上夹套和所述下夹套远离所述连接轴的一侧。3.如权利要求2所述的气体管路系统，其特征在于，所述固定组件还包括保护凸块，所述保护凸块的数量为多个，多...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯辉，刘兵，常浩，
申请(专利权)人：瑞奥华科技工程成都有限公司，
类型：新型
国别省市：