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本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体涉及一种特殊气体管路系统，包括底座、挡板、横向移动组件、固定组件和纵向移动组件，底座的上方开设有多个通槽，挡板与底座固定连接，并位于底座的上方，横向移动组件的数量为两组，两组横向移动组件分别设置在底座上...
该专利属于瑞奥华科技工程（成都）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑞奥华科技工程（成都）有限公司授权不得商用。

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