一种微粒分析仪器制造技术

本实用新型专利技术涉及微粒分析技术领域，具体公开了一种微粒分析仪器，包括底座、支撑板和切换组件，支撑板与底座固定连接，并位于底座的上方，切换组件包括气缸、储物瓶、电机、转轴、齿轮、齿条、连接块、滑块、搅拌器和分析器，气缸的输出端贯穿底座，储物瓶安装在气缸的输出端，连接块的一端与滑块固定连接，并位于滑块的一侧，齿条与连接块固定连接，电机安装在支撑板的上方，转轴的两端分别与电机的输出端和齿轮的下方固定连接，齿轮与齿条相互啮合，搅拌器和分析器均安装在滑块的下方，通过上述结构设置，在搅拌器搅拌完成后，无需进行更换，由切换组件在搅拌器和分析器之间进行切换，操作简单高效，更加便于操作人员使用。更加便于操作人员使用。更加便于操作人员使用。

A particle analyzer

【技术实现步骤摘要】
一种微粒分析仪器


[0001]本技术涉及微粒分析
，尤其涉及一种微粒分析仪器。

技术介绍

[0002]在半导体气体系统工程施工中，需要用到半导体集成电路，而多晶硅则是制作半导体集成电路的重要材料之一，通常是将多晶硅转化成单晶硅，再制作成晶圆，最后由晶圆加工为半导体集成电路，在将多晶硅转化为单晶硅时通常需要对其进行杂质检测，否则会大大影响最终成品的合格率，在传统的微粒分析仪器中，在进行检测时，将其放入氢氟酸和硝酸的混酸中，但有部分杂质已经沉入底部，导致检测的结果不够准确，通常需要操作人员进行调整搅拌后才能继续检测，极为不便。
[0003]目前通过增加了搅拌器，使得无需操作人员进行搅拌，更加便于进行微粒分析。
[0004]但是在现有技术中搅拌器搅拌完成后，需要操作人员将搅拌器拆下并换成分析装置，操作繁琐复杂，不便于提升微粒分析效率。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种微粒分析仪器，旨在解决现有技术中的搅拌器搅拌完成后，需要操作人员将搅拌器拆下并换成分析装置，操作繁琐复杂，不便于提升微粒分析效率的技术问题。
[0006]为实现上述目的，本技术采用的一种微粒分析仪器，包括底座、支撑板和切换组件，所述支撑板与所述底座固定连接，并位于所述底座的上方；
[0007]所述切换组件包括气缸、储物瓶、电机、转轴、齿轮、齿条、连接块、滑块、搅拌器和分析器，所述气缸安装在所述底座的下方，所述气缸的输出端贯穿所述底座，所述储物瓶安装在所述气缸的输出端，所述支撑板具有滑槽，所述滑块与所述滑槽滑动连接，所述连接块的一端与所述滑块固定连接，并位于所述滑块的一侧，所述齿条与所述连接块固定连接，并位于所述连接块的另一端，所述电机安装在所述支撑板的上方，所述转轴的两端分别与所述电机的输出端和所述齿轮固定连接，所述齿轮与所述齿条相互啮合，所述搅拌器和所述分析器均安装在所述滑块的下方。
[0008]其中，所述切换组件还包括两个限位块，两个所述限位块均与所述齿条固定连接，并对称设置在所述齿条的两端。
[0009]其中，所述切换组件还包括电机开关，所述电机开关安装在所述支撑板的一侧。
[0010]其中，所述微粒分析仪器还包括四个支腿，四个所述支腿均与所述底座固定连接，并位于所述底座的下方。
[0011]其中，所述微粒分析仪器还包括多个防滑垫，每个所述防滑垫均安装在对应的所述支腿的下方。
[0012]其中，所述切换组件还包括气缸开关，所述气缸开关安装在所述底座的上方。
[0013]其中，所述切换组件还包括限位环，所述限位环与所述气缸的输出端固定连接，并
套设在所述气缸的输出端的外部。
[0014]其中，所述切换组件还包括保护壳，所述保护壳与所述支撑板固定连接，并位于所述支撑板的上方。
[0015]其中，所述微粒分析仪器还包括两个加强杆，每个所述加强杆的两端分别与对应的所述支腿固定连接。
[0016]其中，所述微粒分析仪器还包括两个减震垫，两个所述减震垫分别安装在所述滑块的两端。
[0017]本技术的一种微粒分析仪器，需要对多晶硅进行微粒分析，从而检测其是否存在杂质，方便其使用于半导体气体系统工程施工中，当需要进行微粒分析时，首先将多晶硅放入充满液体的所述储物瓶内，然后启动所述气缸，所述气缸带动所述储物瓶向上移动，从而使得所述搅拌器的搅拌部分进入所述储物瓶内部，进而对所述储物瓶内的多晶硅进行均匀搅拌，待搅拌完成后，再通过所述气缸将所述储物瓶向下移动，使得所述搅拌器的搅拌部分离开所述储物瓶内部，此时通过启动所述电机，所述电机带动所述转轴转动，从而带动所述齿轮转动，由于所述齿轮与所述齿条相互啮合，进而所述齿条由所述齿轮控制移动，然后通过所述连接块的设置，使得所述齿条移动时可以带动所述滑块在所述滑槽内滑动，通过所述滑块的左右滑动，从而实现了对所述搅拌器和所述分析器的切换，切换完成后，再次启动所述气缸，将所述储物瓶向上移动并通过所述分析器对其进行微粒分析，检测其是否存在杂质，通过上述结构设置，在搅拌器搅拌完成后，无需进行更换，由所述切换组件在所述搅拌器和所述分析器之间进行切换，操作简单高效，更加便于操作人员使用。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1是本技术的微粒分析仪器的结构示意图。
[0020]图2是本技术的微粒分析仪器的侧视图。
[0021]图3是本技术的图2的A
‑
A线结构剖视图。
[0022]图4是本技术的图2的B
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B线结构剖视图。
[0023]1‑
底座、2
‑
支撑板、3
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切换组件、4
‑
气缸、5
‑
储物瓶、6
‑
电机、7
‑
转轴、8
‑
齿轮、9
‑
齿条、10
‑
连接块、11
‑
滑块、12
‑
搅拌器、13
‑
分析器、14
‑
滑槽、15
‑
限位块、16
‑
电机开关、17
‑
支腿、18
‑
防滑垫、19
‑
气缸开关、20
‑
限位环、21
‑
保护壳、22
‑
加强杆、23
‑
减震垫。
具体实施方式
[0024]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。此外，在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0025]请参阅图1至图4，本技术提供了一种微粒分析仪器，包括底座1、支撑板2和切换组件3，所述支撑板2与所述底座1固定连接，并位于所述底座1的上方；
[0026]所述切换组件3包括气缸4、储物瓶5、电机6、转轴7、齿轮8、齿条9、连接块10、滑块11、搅拌器12和分析器13，所述气缸4安装在所述底座1的下方，所述气缸4的输出端贯穿所述底座1，所述储物瓶5安装在所述气缸4的输出端，所述支撑板2具有滑槽14，所述滑块11与所述滑槽14滑动连接，所述连接块10的一端与所述滑块11固定连接，并位于所述滑块11的一侧，所述齿条9与所述连接块10固定连接，并位于所述连接块10的另一端，所述电机6安装在所述支撑板2本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微粒分析仪器，其特征在于，包括底座、支撑板和切换组件，所述支撑板与所述底座固定连接，并位于所述底座的上方；所述切换组件包括气缸、储物瓶、电机、转轴、齿轮、齿条、连接块、滑块、搅拌器和分析器，所述气缸安装在所述底座的下方，所述气缸的输出端贯穿所述底座，所述储物瓶安装在所述气缸的输出端，所述支撑板具有滑槽，所述滑块与所述滑槽滑动连接，所述连接块的一端与所述滑块固定连接，并位于所述滑块的一侧，所述齿条与所述连接块固定连接，并位于所述连接块的另一端，所述电机安装在所述支撑板的上方，所述转轴的两端分别与所述电机的输出端和所述齿轮固定连接，所述齿轮与所述齿条相互啮合，所述搅拌器和所述分析器均安装在所述滑块的下方。2.如权利要求1所述的微粒分析仪器，其特征在于，所述切换组件还包括两个限位块，两个所述限位块均与所述齿条固定连接，并对称设置在所述齿条的两端。3.如权利要求2所述的微粒分析仪器，其特征在于，所述切换组件还包括电机开关，所述电机开关安装在所述支撑板的一侧。4.如权利要求3所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄永功，叶超，刘兵，
申请(专利权)人：瑞奥华科技工程成都有限公司，
类型：新型
国别省市：