一种气体过滤器制造技术

技术编号:35072766 阅读:17 留言:0更新日期:2022-09-28 11:36
本实用新型专利技术涉及环保设备技术领域,具体涉及一种气体过滤器,包括主体和过滤组件,过滤组件包括第一滤网、集气斗、导气管、进液管、排液阀和第二滤网,主体为过滤组件提供安装条件,过滤腔用于存储吸收液,半导体生产过程中产生的废气首先通过第一滤网,第一滤网将废气中的有毒废气和有机废气吸收,集气斗使废气集中并进入所述导气管,通过进液管将吸收液加入过滤腔中,导气管引导废气进入吸收液中,吸收液会吸收废气中的酸性废气和碱性废气,深度过滤完成的废气再经过第二滤网进行最终过滤,通过三重过滤环节,使废气能够彻底过滤,解决了过滤器只通过过滤网过滤,过滤效果不好的问题。题。题。

【技术实现步骤摘要】
一种气体过滤器


[0001]本技术涉及环保设备
,尤其涉及一种气体过滤器。

技术介绍

[0002]半导体行业在生产的过程中,会产生大量的有机物以及有毒有害气体,这些气体包含了有机气体、酸性气体、碱性气体和有毒气体,成分复杂,被直接排放到空气中,会破坏大气层,危害人体健康,造成雾霾、酸雨等自然灾害的发生。
[0003]现有技术(CN215742524U)公开了一种气体过滤器,包括过滤器筒体和过滤网,还包括网筒支架和转动轴,过滤网安装在网筒支架上,网筒支架固定在转动轴上,过滤网设于过滤器筒体的内部,过滤器筒体的顶端设有顶盖,过滤器的底部设有底盖,转动轴的一端贯穿顶盖且与顶盖转动连接,转轴的另一端穿过过滤器筒体与底盖转动连接;过滤器筒体的一侧设有进气管,过滤器的另一侧设有出气管,顶盖设有冲洗管道,底盖设有排污管道,冲洗管道和排污管道均设有阀门;该气体过滤器,安装在管道上可实现对其简单操作即可清洗,避免气体泄漏,造成对环境的污染及安全隐患问题,同时延长设备的更换周期,确保设备安全生产。
[0004]但是上述过滤器只通过过滤网进行过滤,半导体生产过程中产生的废气成分较多、较为复杂,不能对其进行深度过滤,过滤效果不好。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种气体过滤器,旨在解决过滤器只通过过滤网进行过滤,过滤效果不好的问题。
[0006]为实现上述目的,本技术提供了一种气体过滤器,包括主体和过滤组件,所述主体设置有过滤腔,所述过滤腔位于所述主体内部,所述过滤组件设置于所述过滤腔内;
[0007]所述过滤组件包括第一滤网、集气斗、导气管、进液管、排液阀和第二滤网,所述第一滤网与所述主体拆卸连接,并位于所述主体一侧,所述集气斗与所述主体固定连接,并位于所述过滤腔内,所述导气管与所述集气斗连通,并位于所述集气斗一侧,所述进液管与所述主体连通,并位于所述主体顶部,所述排液阀设置于所述主体一侧,所述第二滤网与所述主体拆卸连接,并位于所述主体远离所述第一滤网一侧。
[0008]其中,所述主体包括外壳、进气管和排气机构,所述外壳与所述进液管固定连接,并位于所述进液管底部,所述进气管与所述外壳连通,并位于所述外壳一侧,所述排气机构设置于所述外壳远离所述进气管一侧。
[0009]其中,所述排气机构包括排气管、安装架、电机和若干扇叶,所述排气管与所述外壳连通,并位于所述外壳远离所述进气管一侧,所述安装架与所述排气管拆卸连接,并位于所述排气管内部,所述电机与所述安装架拆卸连接,并位于所述安装架一侧,若干所述扇叶分别与所述电机的输出端固定连接,均位于所述电机远离所述安装架一侧。
[0010]其中,所述进液管具有管盖,所述管盖位于所述进液管顶部。
[0011]其中,所述主体还包括观察窗,所述观察窗与所述外壳固定连接,并位于所述外壳靠近所述排液阀一侧。
[0012]其中,所述过滤组件还包括过滤罩,所述过滤罩与所述进气管拆卸连接,并位于所述进气管远离所述外壳一侧。
[0013]其中,所述过滤组件还包括密封圈,所述密封圈设置于所述集气斗与所述导气管之间。
[0014]其中,所述过滤组件还包括加热器,所述加热器与所述外壳固定连接,并位于所述外壳内部。
[0015]其中,所述过滤组件还包括吸水层,所述吸水层设置于所述排气管靠近所述第二滤网一侧。
[0016]其中,所述主体还包括两个把手,两个所述把手分别与所述外壳固定连接,分别位于所述外壳两侧。
[0017]本技术的一种气体过滤器,所述主体为所述过滤组件提供安装条件,所述过滤腔用于存储吸收液,过滤废气,所述第一滤网和所述第二滤网均由活性炭纤维复合过滤介质材料制成,半导体生产过程中产生的废气首先通过所述第一滤网,所述第一滤网将废气中的有毒废气和有机废气吸收,初步过滤废气,所述集气斗使废气集中并进入所述导气管,保证废气进入下一过滤环节,通过所述进液管将吸收液加入所述过滤腔中,并没过所述导气管,所述导气管引导废气进入吸收液中,所述吸收液会吸收废气中的酸性废气和碱性废气,从而完成对废气的深度过滤,深度过滤完成的废气再经过所述第二滤网进行最终过滤,通过三重过滤环节,将半导体生产过程中产生的废气中的各种成分吸收过滤,过滤效果良好,深度过滤完成后通过所述排液阀将吸收液排出,进行处理,解决了过滤器只通过过滤网进行过滤,过滤效果不好的问题。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本审请实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1是本技术提供的一种气体过滤器的整体结构示意图。
[0020]图2是本技术提供的一种气体过滤器的纵向剖视图。
[0021]图3是本技术提供的一种气体过滤器的主视图。
[0022]1‑
主体、2

过滤组件、3

外壳、4

进气管、5

排气机构、6

第一滤网、7

集气斗、8

导气管、9

进液管、10

排液阀、11

第二滤网、12

排气管、13

安装架、 14

电机、15

扇叶、16

管盖、17

观察窗、18

过滤腔、19

过滤罩、20

密封圈、21

加热器、22

吸水层、23

把手。
具体实施方式
[0023]下面详细描述本技术的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,旨在用于解释本技术,而不能理解为对本技术
的限制。此外,在本技术的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。
[0024]请参阅图1至图3,本技术提供一种气体过滤器,包括主体1和过滤组件2,所述主体1设置有过滤腔18,所述过滤腔18位于所述主体1内部,所述过滤组件2设置于所述过滤腔18内;
[0025]所述过滤组件2包括第一滤网6、集气斗7、导气管8、进液管9、排液阀 10和第二滤网11,所述第一滤网6与所述主体1拆卸连接,并位于所述主体1 一侧,所述集气斗7与所述主体1固定连接,并位于所述过滤腔18内,所述导气管8与所述集气斗7连通,并位于所述集气斗7一侧,所述进液管9与所述主体1连通,并位于所述主体1顶部,所述排液阀10设本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气体过滤器,其特征在于,包括主体和过滤组件,所述主体设置有过滤腔,所述过滤腔位于所述主体内部,所述过滤组件设置于所述过滤腔内;所述过滤组件包括第一滤网、集气斗、导气管、进液管、排液阀和第二滤网,所述第一滤网与所述主体拆卸连接,并位于所述主体一侧,所述集气斗与所述主体固定连接,并位于所述过滤腔内,所述导气管与所述集气斗连通,并位于所述集气斗一侧,所述进液管与所述主体连通,并位于所述主体顶部,所述排液阀设置于所述主体一侧,所述第二滤网与所述主体拆卸连接,并位于所述主体远离所述第一滤网一侧。2.如权利要求1所述的一种气体过滤器,其特征在于,所述主体包括外壳、进气管和排气机构,所述外壳与所述进液管固定连接,并位于所述进液管底部,所述进气管与所述外壳连通,并位于所述外壳一侧,所述排气机构设置于所述外壳远离所述进气管一侧。3.如权利要求2所述的一种气体过滤器,其特征在于,所述排气机构包括排气管、安装架、电机和若干扇叶,所述排气管与所述外壳连通,并位于所述外壳远离所述进气管一侧,所述安装架与所述排气管拆卸连接,并位于所述排气管内部,所述电机与所述安装架拆卸连接,并位于所述安...

【专利技术属性】
技术研发人员:常浩冯辉
申请(专利权)人:瑞奥华科技工程成都有限公司
类型:新型
国别省市:

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