本发明提供一种抗蚀剂下层膜形成用组合物，其为EB或EUV光刻用抗蚀剂下层膜形成用组合物，且包含具有下述式(1)表示的结构的聚合物、和溶剂。(式(1)中，R1和R2各自独立地表示可被卤素原子取代的碳原子数为1～6的烷基、或卤素原子。m1和...

本发明以提供进一步改善了抗蚀剂下层膜的固化性、耐热性、耐蚀刻性、平坦化性、埋入性等特性的抗蚀剂下层膜形成用组合物作为目的。解决手段是一种抗蚀剂下层膜形成用组合物，其特征在于，包含：含有具有下述式(D)的结构的侧链的酚醛清漆树脂、和溶剂。...

本发明的课题是提供在溶胶中包含胺、为具有特定的表面电荷且在树脂中的分散性高的中空二氧化硅粒子的、在外壳的内部具有空间的中空二氧化硅粒子的有机溶剂溶胶、其制造方法、和被膜形成用组合物。解决手段是一种中空二氧化硅粒子的有机溶剂溶胶，上述中空...

本发明提供半导体基板的清洗方法、包括这样的清洗方法的经加工的半导体基板的制造方法以及用于这样的清洗方法的组合物，所述半导体基板的清洗方法能以简便的操作、更短时间且更干净地将例如使用硅氧烷系粘接剂得到的粘接层从表面具有该粘接层的半导体基板...

本发明涉及含有稳定性高的中空二氧化硅粒子的水性溶胶和有机溶剂溶胶，进而涉及使保存稳定性降低了的上述溶胶的稳定性提高的方法和其制造方法。为此提供了一种中空硅溶胶，含有在外壳的内部具有空间的中空二氧化硅粒子和1价碱金属离子，以将该1价碱金属...

本发明提供一种聚合物组合物，其为能够通过更简单的工艺来制作浑浊少的相位差膜的聚合物组合物，包括：(A)嵌段共聚物和(B)有机溶剂，所述嵌段共聚物具有：能够表现出液晶性的感光性的侧链型聚合物嵌段(A1)、以及包含不含有光取向性侧链和液晶性...

提供一种半导体基板的清洗方法、包括这样的清洗方法的经加工的半导体基板的制造方法以及在这样的清洗方法中使用的组合物，所述半导体基板的清洗方法能以简便的操作、更短时间且更干净地将例如使用硅氧烷系粘接剂得到的粘接层从在表面具有该粘接层的半导体...

一种液晶取向剂，其含有：聚合物α，其是由具备具有能够聚合的不饱和烃基的聚合性基团的化合物得到的；聚合物β，其为选自聚酰亚胺、聚酰胺酸、聚酰胺酸酯、聚酰胺和聚脲中的至少1种；以及作为溶剂的下述式(S1)所示的化合物。(式(S1)中，Q1和...

本发明涉及式(1)所示的芳基四氢吡啶化合物或其盐。式(1)中，Q表示Q‑1等，J表示J‑1等，G表示G‑1等，R1表示卤代(C1～C6)烷基等，R2表示氢原子等，R3表示氢原子等，X表示氧原子等，Y表示氧原子等，A1表示氮原子等。

一种含有硅的抗蚀剂下层膜形成用组合物，其含有[A]成分：聚硅氧烷、[B]成分：芳香族碘化合物、和[C]成分：溶剂。

作为能够采用简单的工艺制作NZ系数为‑0.05≤NZ≤0.6、薄膜且相位差值高的单层相位差材料的聚合物组合物，提供如下的聚合物组合物，其含有(A)有具有光反应性部位的侧链和具有非光反应氢键性的官能团的侧链的聚合物；(B1溶剂)环状酮；和...

本发明的课题在于提供一种正型感光性树脂组合物，其能够形成用于液晶显示元件、有机EL显示元件等的，固化膜表面具有高疏水性与高疏油性、图型形成后的残渣少、在图型形成后的图型内有机功能墨不会溢出而良好地湿润铺展的固化膜。本发明是一种可形成固化...

一种填隙材料形成用组合物，其含有化合物和聚合物中的至少一者、以及溶剂，所述化合物和聚合物具有下述式(1)所示的结构以及羰基键。(在式(1)中，R<supgt;1</supgt;和R<supgt;2</supgt;...

本发明提供一种液晶取向剂用芳香族化合物，所述液晶取向剂用芳香族化合物用于得到即使在利用通过放射线等的照射而引起化学变化的光取向法的取向处理的情况下，严酷的环境下的电压保持率也高且液晶取向性良好，并且能抑制在IPS、FFS方式的液晶显示元...

一种剥离剂组合物，其是光照射剥离用的剥离剂组合物，该剥离剂组合物含有：具有下述式(1)所示的结构、碳含量为80％以下的化合物和聚合物中的至少任意种；以及溶剂。(式(1)中，R<supgt;1</supgt;和R<sup...

一种剥离剂组合物，其是光照射剥离用的剥离剂组合物，含有：酚醛清漆树脂、(甲基)丙烯酸酯系聚合物以及溶剂。

本发明涉及液晶取向剂、液晶取向膜和使用其的液晶表示元件。提供一种能够形成在蓄积电荷的释放等方面具有优异的电特性，并且无着色而具有透明性的液晶取向膜的液晶取向剂。液晶取向剂的特征在于，其含有选自由聚酰胺酸和将该聚酰胺酸进行酰亚胺化而得到的...

提供除了蚀刻耐性、耐热性以外，固化性、产生的升华物量、平坦化性、光学特性(曝光时的反射抑制)等各种其他特性也都满足的抗蚀剂下层膜形成用组合物。一种抗蚀剂下层膜形成用组合物，其含有酚醛清漆树脂和溶剂，所述酚醛清漆树脂含有具有芳香环的结构单...

本发明涉及液晶取向剂、液晶取向膜和液晶表示元件。本发明提供一种即使经过低温烧成工艺后也具有良好密合性的液晶取向膜，形成该液晶取向膜的液晶取向剂，以及具备该液晶取向膜的液晶表示元件。本发明提供一种液晶取向剂，其含有：下述(A)成分；下述(...

本发明提供一种在低照射量区域内的面内的对比度稳定，并且表面的凹凸少的液晶取向膜。一种液晶取向剂，含有(A)成分和(B)成分。(A)成分：具有式(1)所示的重复单元(a1)、式(2)所示的重复单元(a2)以及这些重复单元中的至少一种的酰亚...