本发明公开了一种石英玻璃坩埚用的石英砂评价方法，包括以下步骤：首先制备石英玻璃坩埚形状的石英砂测试件；随后将石英砂测试件底部的任意位置进行切片，得到石英片；最后将石英片用水润湿后进行拍照，检测润湿后石英片中的气泡率，以根据气泡的含有率对...

本发明提供一种多晶硅锭加工装置及多晶硅锭加工方法，属于多晶硅产品加工技术领域，应用于多晶硅锭的掏筒工序，包括掏筒刀具及毛刷，所述掏筒刀具包括刀柄、刀具连接杆、刀具基体、刀刃，所述刀柄通过所述刀具连接杆与所述刀具基体连接，所述刀具基体的下...

一种用于降低多晶硅锭中碳含量的多晶硅铸锭炉改进方法，该改进方法在原多晶硅铸锭炉的基础上进行，包括：将原底部为完全开放的直筒式进气接口改进为底部非完全开放，仅在底部和侧壁上设置有若干进气孔的多孔式进气接口；该多孔式进气接口设置于进气伸缩筒...

一种用于提高多晶硅锭机械性能的铸锭工艺改进方法，该铸锭工艺改进方法在原多晶硅锭的铸锭工艺基础上进行，包括：将原多晶硅铸锭炉中侧部的各U型加热器均更改为矩形板状加热器，且该矩形板状加热器可通过调节在改进后连接板上的固定位置实现高度调节；以...

一种提高重掺硼直拉硅单晶滑移线的清晰度的检测方法，先将硅片放在腐蚀花篮中进行化学抛光3‑5分钟，抛光完成后用纯水溢流5‑10分钟，然后配置1‑2%的铬酸和49%的氢氟酸以体积比10:3进行混合得到腐蚀液，将配置好的腐蚀液放入恒温水域中加...

本发明提供一种用于检测硅片损伤层的检测液及其应用，涉及单晶硅检测液技术领域，将体积比为1~10：1的铬酸溶液、氢氟酸铬酸溶液互配成检测液，单晶硅片的损伤层在检测液中会引起应力场，进行各向异性的腐蚀，使得损伤层的腐蚀速率加快，与完整晶格产...

本发明提供一种检测硅单晶加工损伤层厚度的方法，涉及单晶硅检测方法技术领域，通过将原始硅片进行清洗，以去除原始硅片表面的油脂，得到清洗硅片，再将清洗硅片放入检测液中，在预定温度下各向异性腐蚀硅片预定时间，使得清洗硅片的损伤晶格被腐蚀，从而...

本发明公开一种掏筒刀具，包括刀柄、横向杆、竖向杆和刀头，刀柄用以安装在机床的主轴上，横向杆以滑动调节的方式水平设置在刀柄上，竖向杆以滑动调节的方式设置在横向杆的一端，竖向杆的延伸方向和横向杆的延伸方向相垂直，刀头设置在竖向杆的下端，刀柄...

本发明公开一种掏棒刀刀刃修磨装置，包括基座、转柄和油石，基座用于固定在掏棒机的工作台面上，转柄以可转动的方式设置在基座上，转柄的前端安装油石，转柄转动调节后使油石的倾斜角度和需要修磨的掏棒刀刀刃的初始设计角度相适应，以使掏棒刀的刀刃贴合...

一种用于承载硅片的硅质密封外管加工方法，将高纯度石英替换为高纯度多晶硅，解决高温环境下寿命低、易碎裂的问题；采用分段式的加工方式，不仅便于机械加工，降低生产成本，而且增强了熔接后产品强度，降低了熔接导致的尺寸误差。

本发明公开一种磁力底盘用定位夹具，包括中心固定组件和多个边缘固定组件；中心固定组件包括第一铁磁性金属件和第一塑料件，第一塑料件的周边设置多个第一弧形卡口，第一铁磁性金属件设置在磁力底盘的中间位置，第一塑料件的边缘延伸从第一铁磁性金属件的...

一种用于承载硅片的拼接卧式硅舟加工方法，采用分段加工，加工难度低，材料损耗小，成本低，效率高

一种

本实用新型涉及一种用于修正硅环平面度和平行度的夹具，包括底座、托板、下压组件和至少三个转动夹臂，底座的上方平行设置托板，下压组件的底端安装在底座上，每个转动夹臂以转动的方式安装在底座上，下压组件向底座下降过程中使每个转动夹臂的外端朝上转...

一种硅产品加工用切削液循环再利用方法，包括如下步骤：收集硅产品加工中产生的切削废液，并存储在废液收集池中；利用螺杆泵将废液收集池内的含有硅泥的切削废液输送到压滤机进行压滤以获得过滤液，利用浊度仪对汇流盒内的过滤液进行检测，当浊度大于10...

一种石英坩埚底部圆弧位置水平打孔装置，包括加工平台、双向对中机构、钻孔机构；加工平台的上表面开设有导向槽，加工平台的上表面固定设有支撑板；钻孔机构包括基座、纵向板、钻孔设备、安装板、定位杆；基座横向滑动设于支撑板上，纵向板垂直固定于基座...

本发明涉及一种石英坩埚制作的脱模装置，包括支架、敲击组件、移动组件和夹持组件，支架上设置承载板，承载板靠近支架的底部，承载板用于放置模具，敲击组件设置在支架的一侧用于敲击放置在承载板上的模具使模具内的浮砂逐渐从模具口流出，移动组件设置在...

本发明公开一种机床主轴锥孔清理装置，包括把手、电动机、开关、转轴和刷体，把手内安装电动机，电动机的转子和转轴相互固定套接，刷体安装在转轴上，开关和电动机电性相连用于接通电动机和电源、或断开电动机和电源的连接，把手内还安装有储液罐，储液罐...

一种石英坩埚均匀壁厚的熔制方法，将石英砂倒入石墨模具内，所述石墨模具包括旋转轴线，所述石墨模具可绕旋转轴线转动，将石英砂成型到转动的石墨模具的内壁，形成预制石英坩埚，将与水平面垂直的线设定为参考线，设置参考线与旋转轴线之间的角度为8

本实用新型涉及一种硅圆酸洗工装，包括框体和至少一组支撑组件，框体包括前侧壁、左侧壁、后侧壁和右侧壁，每一组支撑组件包括四个支撑件，每一个支撑件的一端设置在前侧壁上，每一个支撑件的另一端设置在后侧壁上，每两个支撑件位于同一高度，下层的两个...