【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体产品加工，尤其涉及一种磁力底盘用定位夹具及磨床。
技术介绍
1、参考公布号为cn105632990a的中国专利申请，硅环是用来承载晶圆的一种工具，因晶圆一般为圆形，所以硅环一般在俯视平面上呈中心镂空的圆环状。由于硅环在生产制造中为了找平硅环表面的基准面，需要用磨床对硅环的表面进行打磨，
2、如图1和图2所示，为现有技术中将硅环800放置在磨床的磁力底盘900上，然后用两个或三个夹具700从硅环800的侧缘将硅环800顶紧，磁力底盘900通电后将铁磁性的夹具700吸紧，操作者再次将其中的一个或两个夹具700朝硅环800移动，使环绕硅环800的所有夹具700将硅环800夹紧供磨床打磨。上述夹具700包括铁磁性金属件701和缓冲垫702，铁磁性金属件701设置弧形开口，缓冲垫702粘贴在弧形开口的侧壁上，通过缓冲垫702避免硅环800和铁磁性金属件701直接接触。
3、但是，用该现有技术的夹具700将多个硅环800固定在磁性底盘900的过程中，由于不同操作者的操作熟练程度不同导致固定在磁力底盘900上的硅环800的数量均有差异，相对熟练操作者固定硅环800的数量能够达到打磨最多的硅环数量，新手在多次固定硅环后才能达到熟练者的数量；同一操作者不同次固定硅环的过程中，也存在多次移动调整硅环800及夹具700才能将合适数量的硅环800固定在磁力底盘上；如果固定在磁力底盘900上的每个硅环800的边缘距离磁力底盘900的边缘不一致，在进行打磨过程中会存在硅环800靠近磁力底盘900的边缘最近的部分打
技术实现思路
1、本专利技术主要目的在于提供一种磁力底盘用定位夹具，提供操作者在磁力底盘上固定合适数量的硅环以供磨床进行打磨，以解决现有技术中因操作者熟练程度不一导致固定硅环数量不符合打磨要求导致打磨效率低的问题。
2、一种磁力底盘用定位夹具，包括中心固定组件和多个边缘固定组件；中心固定组件包括第一铁磁性金属件和第一塑料件，第一塑料件的周边设置多个第一弧形卡口，第一铁磁性金属件设置在磁力底盘的中间位置，第一塑料件设置在第一铁磁性金属件上，第一塑料件的边缘延伸从第一铁磁性金属件的边缘露出使第一铁磁性金属件的边缘不能接触到硅环外圆；边缘固定组件的数量和第一弧形卡口的数量相等，边缘固定组件包括第二铁磁性金属件和第二塑料件，第二铁磁性金属件设置在磁力底盘的边缘位置处，第二塑料件设置在第二铁磁性金属件上，第二塑料件的周边设置第二弧形卡口，第二弧形卡口靠近第一塑料件设置，第二塑料件的边缘延伸从第二铁磁性金属件的边缘露出使第二铁磁性金属件的边缘不能接触到硅环外圆，第二弧形卡口和对应的第一弧形卡口围设形成的硅环固定空间；第一弧形卡口贴靠在硅环外圆的一段上、第二弧形卡口抵靠在硅环外圆的另一段使硅环固定在硅环固定空间内，以通过上述中心固定组件和多个边缘固定组件将多个硅环同时固定在磁力底盘上供磨床打磨。
3、优选的，磁力底盘用定位夹具还包括多个硅环内侧圆固定组件，硅环内侧圆固定组件的数量和第一弧形卡口的数量相等，硅环内侧圆固定组件包括第三铁磁性金属件和第三塑料件，第三铁磁性金属件设置在磁力底盘上，并且第三铁磁性金属件靠近第一弧形卡口设置，第三塑料件设置在第三铁磁性金属件上，第三塑料件的边缘延伸从第三铁磁性金属件的边缘露出使第三铁磁性金属件的边缘不能接触到硅环内圆，第三塑料件外侧设置为弧形部，每个弧形部和对应的一个第一弧形卡口之间形成圆环带，一个圆环带内放置一个硅环，弧形部顶靠在硅环内圆使圆环带变窄从而将硅环固定在圆环带内。
4、优选的，第三铁磁性金属件的两端各设置一个第一定位孔，第三塑料件的两端各设置一个第二定位孔，第三铁磁性金属件两端的第一定位孔分别和第三塑料件两端的第二定位孔对齐，第三铁磁性金属件的内侧设置第一凸起部，第一凸起部远离中心固定组件设置，第一凸起部从第三塑料件的边缘露出以供敲打使硅环内侧圆固定组件沿着磁力底盘朝中心固定组件移动。
5、优选的，第一铁磁性金属件中间设置第三定位孔，第一塑料件的中间设置第四定位孔，第一塑料件和第一铁磁性金属件组装后第三定位孔和第四定位孔相互对齐连通。
6、优选的，第一铁磁性金属件上设置多个第一通孔，多个第一通孔环绕设置在第一定位孔周围；第一塑料件上设置多个第二通孔，多个第二通孔环绕设置在第二定位孔周围；每个第一通孔和一个第二通孔对应对齐。
7、优选的，第一塑料件和第二塑料件均由尼龙制作形成。
8、优选的，第一铁磁性金属件和第一塑料件之间通过多个螺栓或铆钉固定连接，或者第一铁磁性金属件和第一塑料件之间使用胶水进行粘接；第二铁磁性金属件和第二塑料件之间通过多个螺栓、或铆钉固定连接，或者第二铁磁性金属件和第二塑料件之间使用胶水进行粘接；第三铁磁性金属件和第三塑料件之间通过多个螺栓、或铆钉固定连接，或者第三铁磁性金属件和第三塑料件之间使用胶水进行粘接。
9、优选的，第二塑料件上设置两个第二弧形卡口，两个第二弧形卡口对称设置在第二塑料件上，两个相邻的第二塑料件上的两个相互靠近的第二弧形卡口和对应的第一弧形卡口以三段式分布环绕形成硅环固定空间。
10、优选的，第二塑料件上设置第一槽口，第二铁磁性金属件上设置第二槽口，每一个第二塑料件上的第一槽口和对应第二铁磁性金属件上的第二槽口相对齐；第二铁磁性金属件的外侧边缘设置第二凸起部，第二凸起部远离中心固定组件设置，第二凸起部从第二塑料件的边缘露出以供敲打使边缘固定组件沿着磁力底盘朝中心固定组件移动。
11、本专利技术还提供一种磨床，该磨床包括磁力底盘、刀具、以及上述所述的磁力底盘用定位夹具，磁力底盘用定位夹具设置在磁力底盘的上端面，刀具以升降的方式设置在磁力底盘上方，刀具位于其中一个硅环固定空间的正上方，磨床的磁力底盘转动，带动设置在磁力底盘上的硅环随之一起转动，磨床刀具高速转动后并缓慢下降至接触硅环，将硅环加工到设置的高度之后，刀具在抬起，磁力底盘缓慢停止，完成加工。
12、在上述磁力底盘用定位夹具中，中心固定组件设置在磁力底盘的中间位置，磁力底盘通电后将第一铁磁性金属件吸附，用第一塑料件周边的多个第一弧形卡口引导放入多个硅环，然后将多个边缘固定组件分布放置在磁力底盘的边缘，每个边缘固定组件靠近硅环外圆，此时磁力底盘将第二铁磁性金属件吸附，通过推动每个边缘固定组件沿着磁力底盘朝中心固定组件移动，使每个第二塑料件的第二弧形卡口贴靠在对应硅环的外圆上，通过中心固定组件和多个边缘固定组件将多个硅环同时固定在磁力底盘上以供磨床工作打磨提高打磨效率。
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1.一种磁力底盘用定位夹具，其特征在于：包括中心固定组件和多个边缘固定组件；中心固定组件包括第一铁磁性金属件和第一塑料件，第一塑料件的周边设置多个第一弧形卡口，第一铁磁性金属件设置在磁力底盘的中间位置，第一塑料件设置在第一铁磁性金属件上，第一塑料件的边缘延伸从第一铁磁性金属件的边缘露出使第一铁磁性金属件的边缘不能接触到硅环外圆；边缘固定组件的数量和第一弧形卡口的数量相等，边缘固定组件包括第二铁磁性金属件和第二塑料件，第二铁磁性金属件设置在磁力底盘的边缘位置处，第二塑料件设置在第二铁磁性金属件上，第二塑料件的周边设置第二弧形卡口，第二弧形卡口靠近第一塑料件设置，第二塑料件的边缘延伸从第二铁磁性金属件的边缘露出使第二铁磁性金属件的边缘不能接触到硅环外圆，第二弧形卡口和对应的第一弧形卡口围设形成的硅环固定空间；第一弧形卡口贴靠在硅环外圆的一段上、第二弧形卡口抵靠在硅环外圆的另一段使硅环固定在硅环固定空间内，以通过上述中心固定组件和多个边缘固定组件将多个硅环同时固定在磁力底盘上供磨床打磨。
2.如权利要求1所述的磁力底盘用定位夹具，其特征在于：磁力底盘用定位夹具还包括多个硅环
3.如权利要求2所述的磁力底盘用定位夹具，其特征在于：第三铁磁性金属件的两端各设置一个第一定位孔，第三塑料件的两端各设置一个第二定位孔，第三铁磁性金属件两端的第一定位孔分别和第三塑料件两端的第二定位孔对齐，第三铁磁性金属件的内侧设置第一凸起部，第一凸起部远离中心固定组件设置，第一凸起部从第三塑料件的边缘露出以供敲打使硅环内侧圆固定组件沿着磁力底盘朝中心固定组件移动。
4.如权利要求1所述的磁力底盘用定位夹具，其特征在于：第一铁磁性金属件中间设置第三定位孔，第一塑料件的中间设置第四定位孔，第一塑料件和第一铁磁性金属件组装后第三定位孔和第四定位孔相互对齐连通。
5.如权利要求4所述的磁力底盘用定位夹具，其特征在于：第一铁磁性金属件上设置多个第一通孔，多个第一通孔环绕设置在第一定位孔周围；第一塑料件上设置多个第二通孔，多个第二通孔环绕设置在第二定位孔周围；每个第一通孔和一个第二通孔对应对齐。
6.如权利要求1所述的磁力底盘用定位夹具，其特征在于：第一塑料件和第二塑料件均由尼龙制作形成。
7.如权利要求1所述的磁力底盘用定位夹具，其特征在于：第一铁磁性金属件和第一塑料件之间通过多个螺栓或铆钉固定连接，或者第一铁磁性金属件和第一塑料件之间使用胶水进行粘接；第二铁磁性金属件和第二塑料件之间通过多个螺栓、或铆钉固定连接，或者第二铁磁性金属件和第二塑料件之间使用胶水进行粘接；第三铁磁性金属件和第三塑料件之间通过多个螺栓、或铆钉固定连接，或者第三铁磁性金属件和第三塑料件之间使用胶水进行粘接。
8.如权利要求1所述的磁力底盘用定位夹具，其特征在于：第二塑料件上设置两个第二弧形卡口，两个第二弧形卡口对称设置在第二塑料件上，两个相邻的第二塑料件上的两个相互靠近的第二弧形卡口和对应的第一弧形卡口以三段式分布环绕形成硅环固定空间。
9.如权利要求8所述的磁力底盘用定位夹具，其特征在于：第二塑料件上设置第一槽口，第二铁磁性金属件上设置第二槽口，每一个第二塑料件上的第一槽口和对应第二铁磁性金属件上的第二槽口相对齐；第二铁磁性金属件的外侧边缘设置第二凸起部，第二凸起部远离中心固定组件设置，第二凸起部从第二塑料件的边缘露出以供敲打使边缘固定组件沿着磁力底盘朝中心固定组件移动。
10.一种磨床，其特征在于：该磨床包括磁力底盘、刀具、以及如上述权利要求1至9中任意一项所述的磁力底盘用定位夹具，磁力底盘用定位夹具设置在磁力底盘的上端面，刀具以升降的方式设置在磁力底盘上方，刀具位于其中一个硅环固定空间的正上方，磨床的磁力底盘转动，带动设置在磁力底盘上的硅环随之一起转动，磨床刀具高速转动后并缓慢下降至接触硅环，将硅环加工到设置的高度之后，刀具在抬起，磁力底盘缓慢停止，完成加工。
...【技术特征摘要】
1.一种磁力底盘用定位夹具，其特征在于：包括中心固定组件和多个边缘固定组件；中心固定组件包括第一铁磁性金属件和第一塑料件，第一塑料件的周边设置多个第一弧形卡口，第一铁磁性金属件设置在磁力底盘的中间位置，第一塑料件设置在第一铁磁性金属件上，第一塑料件的边缘延伸从第一铁磁性金属件的边缘露出使第一铁磁性金属件的边缘不能接触到硅环外圆；边缘固定组件的数量和第一弧形卡口的数量相等，边缘固定组件包括第二铁磁性金属件和第二塑料件，第二铁磁性金属件设置在磁力底盘的边缘位置处，第二塑料件设置在第二铁磁性金属件上，第二塑料件的周边设置第二弧形卡口，第二弧形卡口靠近第一塑料件设置，第二塑料件的边缘延伸从第二铁磁性金属件的边缘露出使第二铁磁性金属件的边缘不能接触到硅环外圆，第二弧形卡口和对应的第一弧形卡口围设形成的硅环固定空间；第一弧形卡口贴靠在硅环外圆的一段上、第二弧形卡口抵靠在硅环外圆的另一段使硅环固定在硅环固定空间内，以通过上述中心固定组件和多个边缘固定组件将多个硅环同时固定在磁力底盘上供磨床打磨。
2.如权利要求1所述的磁力底盘用定位夹具，其特征在于：磁力底盘用定位夹具还包括多个硅环内侧圆固定组件，硅环内侧圆固定组件的数量和第一弧形卡口的数量相等，硅环内侧圆固定组件包括第三铁磁性金属件和第三塑料件，第三铁磁性金属件设置在磁力底盘上，并且第三铁磁性金属件靠近第一弧形卡口设置，第三塑料件设置在第三铁磁性金属件上，第三塑料件的边缘延伸从第三铁磁性金属件的边缘露出使第三铁磁性金属件的边缘不能接触到硅环内圆，第三塑料件外侧设置为弧形部，每个弧形部和对应的一个第一弧形卡口之间形成圆环带，一个圆环带内放置一个硅环，弧形部顶靠在硅环内圆使圆环带变窄从而将硅环固定在圆环带内。
3.如权利要求2所述的磁力底盘用定位夹具，其特征在于：第三铁磁性金属件的两端各设置一个第一定位孔，第三塑料件的两端各设置一个第二定位孔，第三铁磁性金属件两端的第一定位孔分别和第三塑料件两端的第二定位孔对齐，第三铁磁性金属件的内侧设置第一凸起部，第一凸起部远离中心固定组件设置，第一凸起部从第三塑料件的边缘露出以供敲打使硅环内侧圆固定组件沿着磁力底盘朝中心固定组件移动。
4.如权利要求1所述的磁力底盘用定位夹具，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘自柱，姜永庆，刘博部，何成功，吴彦飞，
申请(专利权)人：宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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