本公开提供一种晶圆检测系统。晶圆检测系统包括检测系统、卡盘装置、传输系统和控制系统。检测系统用于检测竖直状态下的晶圆；卡盘装置用于使晶圆保持在竖直状态下以供检测系统检测；传输系统用于向卡盘装置递送待检测晶圆以及从卡盘装置中接收已检测晶圆...

本公开提供一种适用于晶圆检测的光学检测装置和光学检测系统。该光学检测装置包括光源组件、光路系统和光电探测器。光源组件用于照射晶圆的表面并产生信号光。光路系统包括分光组件，用于接收信号光，并将信号光分成至少两个不同波段的光。光电探测器被配...

本申请提供了一种卡盘组件和测量装置，所述卡盘组件包括卡盘，卡盘朝向晶圆的一侧设置有用于支撑晶圆的支撑柱和多个能够用于形成气垫的气嘴，多个支撑柱以卡盘的回转中心为圆心形成多个同心的支撑环，多个气嘴以回转中心为圆心形成多个同心的气嘴环，任意...

本申请提供一种晶圆检测设备，所述晶圆检测设备包括两个干涉仪，用于分别位于待检测晶圆的两侧对晶圆进行检测；每个所述干涉仪包括标准镜单元及用于驱动所述标准镜单元移动的驱动机构；其中，两个所述干涉仪的所述标准镜单元相对放置，在两个所述标准镜单...

本申请提供一种标准镜单元、标准镜安装组件及晶圆检测装置，所述标准镜单元包括标准镜及至少两个凸块，所述至少两个凸块固定在所述标准镜的外周表面上且沿周向间隔设置。本申请提供的技术方案，在标准镜的外周表面设置凸块，通过凸块来安装标准镜，可以使...

本申请提供一种用于晶圆检测的晶圆装载装置和晶圆检测设备，所述晶圆装载装置包括：导向部件，所述导向部件横向延伸；晶圆承载架，所述晶圆承载架设置为用于承载晶圆，所述晶圆承载架设置为能够沿导向部件在上料位置和对晶圆进行检测的检测位置之间移动；...

本申请公开了一种卡盘、相移式干涉仪及晶圆形貌干涉测量方法；其中，卡盘包括：阻尼块；支撑柱，支撑柱具有支撑端，以将晶圆承托在阻尼块的顶部；支撑端与阻尼块之间的距离能够保证晶圆下表面与尼块上表面之间的空气层厚度小于3mm。本申请提供的卡盘，...

本申请提供了一种哈特曼测量装置及其测量方法和晶圆几何参数测量装置。该哈特曼测量装置包括光源准直部件和哈特曼波前传感器。光源准直部件用于将光源产生的光束准直以形成平行光束，并将平行光束直接或间接射向晶圆的待测表面；哈特曼波前传感器用于接收...

本申请实施例提供了一种成像平面空间的校正方法及其校正装置以及晶圆测量装置。该成像平面空间的校正方法包括获取N个开孔的几何中心对应的N个标准坐标，其中，N为正整数，N>1；利用干涉仪获取卡盘的顶部表面对应的图像；根据图像确定...

本申请提供了一种晶圆厚度的测量方法及其测量装置。该晶圆厚度的测量方法包括：利用干涉仪获取晶圆的第一表面的形貌图，以根据形貌图获取晶圆的损失体积V

本实用新型实施例提供了一种气浮卡盘。该气浮卡盘包括喷嘴部和气体通道部，其中，喷嘴部设置有多个支撑力喷嘴，用于在喷嘴部的顶部表面上形成气垫；气体通道部包括向多个支撑力喷嘴传输第一气体以提供支撑力的第一气体通道。本实用新型实施例能够实现由第...

本实用新型实施例提供了一种晶圆测量装置。该晶圆测量装置包括气浮卡盘，用于产生气垫以使待测量的晶圆能够悬浮在气浮卡盘的顶部表面；干涉仪，设置在晶圆的远离气浮卡盘的一侧，用于获取晶圆的正面的干涉条纹图像，以基于干涉条纹图像对晶圆进行形状测量...

本实用新型实施例提供了一种气浮卡盘。该气浮卡盘包括喷嘴部和气体通道部，其中，喷嘴部设置有多个支撑力喷嘴和多个导流孔，多个支撑力喷嘴用于在喷嘴部的顶部表面上形成气垫，多个导流孔用于引导从多个支撑力喷嘴喷出的第一气体遇到待测物后回流到喷嘴部...

本申请提供了一种气浮卡盘及晶圆几何参数测量装置。该气浮卡盘包括由多孔材料组成的第一多孔层；进气层，与第一多孔层堆叠设置且与供应第一气体的第一气体供应部件连接，用于向第一多孔层传输第一气体以利用第一气体提供的支撑力使晶圆悬浮。本申请实施例...

本申请实施例提供了一种悬浮物的测量装置和气浮卡盘。该气浮卡盘包括悬浮部件，用于在悬浮部件的上表面形成气垫以使悬浮物悬浮，其中，气垫的上表面相对于水平面倾斜成预设角度以使悬浮物倾斜预设角度；至少一个阻挡部件，位于悬浮部件的侧边，用于阻挡悬...

本申请提供一种测量装置及测量方法。该测量装置包括分束器和反射系统，其中，分束器用于将光源提供的光束分成射向成像系统的第一光束和射向待测量晶圆的第一表面的第二光束，并将第一表面反射回的第二光束反射至反射系统；反射系统用于将第一表面反射回的...