气浮卡盘制造技术

本实用新型专利技术实施例提供了一种气浮卡盘。该气浮卡盘包括喷嘴部和气体通道部，其中，喷嘴部设置有多个支撑力喷嘴，用于在喷嘴部的顶部表面上形成气垫；气体通道部包括向多个支撑力喷嘴传输第一气体以提供支撑力的第一气体通道。本实用新型专利技术实施例能够实现由第一气体通道向多个支撑力喷嘴传输第一气体，由第一气体提供支撑力，通过调节第一气体通道中第一气体的气流以在喷嘴部的顶部表面上形成气垫，以便于使气垫所支撑如晶圆之类的支撑物稳定悬浮在气垫远离喷嘴部的顶部表面的一侧。气垫远离喷嘴部的顶部表面的一侧。气垫远离喷嘴部的顶部表面的一侧。

【技术实现步骤摘要】
气浮卡盘


[0001]本技术涉及卡盘结构设计
，具体涉及一种气浮卡盘。

技术介绍

[0002]在晶圆的制备或测量等过程中，通常采用夹持的方式将晶圆固定在卡盘上方。然而，使用上述固定晶圆的方法具有一定的缺陷，如夹持的力度较大容易使晶圆的原始形状发生变化，另外，由于夹持工具的清洁度难以保证也容易在晶圆上产生碎屑颗粒或其他污染物，因而对晶圆的原始形状造成测量误差。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本技术实施例提供一种气浮卡盘，从而实现在喷嘴部的顶部表面上形成气垫，以便于使气垫所支撑的支撑物如晶圆稳定悬浮在气垫远离喷嘴部的顶部表面的一侧，进而避免夹持工具对晶圆原始形状造成测量误差。
[0004]本技术实施例提供了一种气浮卡盘，该气浮卡盘包括：喷嘴部，设置有多个支撑力喷嘴，用于在喷嘴部的顶部表面上形成气垫；气体通道部，包括向多个支撑力喷嘴传输第一气体以提供支撑力的第一气体通道。
[0005]在本技术一实施例中，喷嘴部还包括与多个支撑力喷嘴交替布置的多个吸力喷嘴，气体通道部还包括为多个吸力喷嘴传输第二气体以提供吸力的第二气体通道。
[0006]在本技术一实施例中，多个支撑力喷嘴和多个吸力喷嘴在喷嘴部的顶部表面上布置成轴对称的图案。
[0007]在本技术一实施例中，多个支撑力喷嘴和多个吸力喷嘴中的相邻喷嘴等间隔或非等间隔排列。
[0008]在本技术一实施例中，多个支撑力喷嘴和多个吸力喷嘴布置成等间隔ΔR的多个同心喷嘴环。
[0009]在本技术一实施例中，多个同心喷嘴环中距离气浮卡盘的中心最远的喷嘴环的半径比气浮卡盘的半径小0mm
‑
20mm。
[0010]在本技术一实施例中，多个同心喷嘴环中任一喷嘴环上相邻的支撑力喷嘴与吸力喷嘴之间在切向上间隔开恒定的距离ΔT。
[0011]在本技术一实施例中，多个同心喷嘴环中随着喷嘴环与气浮卡盘的中心之间的距离增加，喷嘴环上喷嘴的总数量以双数增加，双数包括2、4、6、8或10。
[0012]在本技术一实施例中，ΔR与ΔT的差值小于5mm。
[0013]在本技术一实施例中，多个支撑力喷嘴和多个吸力喷嘴的形状包括三角形、椭圆形、空心环和圆形中的一种或多种。
[0014]在本技术一实施例中，当多个支撑力喷嘴和多个吸力喷嘴的形状为圆形时，多个支撑力喷嘴和多个吸力喷嘴的直径范围为0.5mm
‑
3mm。
[0015]在本技术一实施例中，喷嘴部和气体通道部上设置有与多个支撑力喷嘴对应
的多个第一气体通孔和与多个吸力喷嘴对应的多个第二气体通孔，第一气体通道通过多个第一气体通孔与多个支撑力喷嘴连接，第二气体通道通过多个第二气体通孔与多个吸力喷嘴连接。
[0016]在本技术一实施例中，第一气体通道包括第一环形通道和与第一环形通道连接的多个第一通道，第二气体通道包括第二环形通道和与第二环形通道连接的多个第二通道。
[0017]在本技术一实施例中，气体通道部包括层叠的第一气体层和第二气体层，第一气体通道位于第一气体层，第二气体通道位于第二气体层。
[0018]在本技术一实施例中，第一气体层设置有第一凹槽，用于容纳第一气体通道，第二气体层设置有第二凹槽，用于容纳第二气体通道。
[0019]在本技术一实施例中，多个支撑力喷嘴和多个吸力喷嘴按照笛卡尔坐标系或极坐标系布置。
[0020]在本技术一实施例中，喷嘴部的材料包括铝、玻璃、微晶硅或陶瓷，材料能够进行镜面抛光；其中抛光后的喷嘴部的顶部表面足够平坦以在喷嘴部的顶部表面显示干涉条纹。
[0021]在本技术一实施例中，上述气浮卡盘还包括：气压调节器，用于调节第一气体通道和第二气体通道中气体的流速以将晶圆保持在距离顶部表面上方预定距离处，以对晶圆进行平整度测量或形状测量。
[0022]在本技术一实施例中，上述气浮卡盘还包括：控制器，用于控制气压调节器调节第一气体通道和第二气体通道中气体的流速以将晶圆保持在距离顶部表面上方预定距离处，以对晶圆进行平整度测量或形状测量。
[0023]在本技术一实施例中，当气浮卡盘用于对晶圆进行平整度测量时，预定距离为0μm
‑
50μm。
[0024]在本技术一实施例中，当气浮卡盘用于对晶圆进行形状测量时，预定距离为60μm
‑
1500μm。
[0025]在本技术一实施例中，气浮卡盘具有按照ISO标准≥N4的镜面抛光表面。
[0026]根据本技术实施例提供的技术方案，通过在气浮卡盘上布置多个支撑力喷嘴，在喷嘴部的顶部表面上形成气垫，以便于使气垫所支撑的如晶圆之类的支撑物稳定悬浮在气垫远离喷嘴部的顶部表面的一侧。由于在晶圆测量时无需使用夹持工具对晶圆进行夹持而影响晶圆的形状，因此减小了晶圆的测量误差。
附图说明
[0027]图1a示出了根据本技术一实施例提供的一种气浮卡盘的结构示意图；
[0028]图1b
‑
图1c示出了图1a中气浮卡盘的俯视示意图；
[0029]图2a示出了根据本技术另一实施例提供的一种气浮卡盘的结构示意图；
[0030]图2b
‑
图2g示出了图2a中气浮卡盘的俯视示意图；
[0031]图3a示出了图2b中第一气体通道的俯视示意图；
[0032]图3b示出了图2b中第二气体通道的俯视示意图；
[0033]图4a示出了图2e中第一气体通道的俯视示意图；
[0034]图4b示出了图2e中第二气体通道的俯视示意图；
[0035]图5示出了根据本技术另一实施例提供的一种气浮卡盘的结构示意图；
[0036]图6示出了根据本技术又一实施例提供的一种气浮卡盘的结构示意图；
[0037]图7示出了根据本技术再一实施例提供的一种气浮卡盘的结构示意图；
[0038]图8a和图8b示出了示例性的具有用于使晶圆保持在气垫上的真空喷嘴和压力喷嘴的气浮卡盘；
[0039]图8c示出了一种气浮卡盘的压力喷嘴和真空喷嘴连接层的示意图；
[0040]图8d示出了根据本技术一实施例提供的一种气浮卡盘的堆叠结构的侧视示意图；
[0041]图8e示出了根据本技术另一实施例提供的一种气浮卡盘的堆叠结构的侧视示意图；
[0042]图8f示出了图8e中堆叠结构的顶板的顶部表面；
[0043]图8g示出了图8e中堆叠结构的顶板的底表面；
[0044]图8h示出了图8e中堆叠结构的示例性的分流板的俯视图；
[0045]图8i示出了图8e中堆叠结构的示例性的分流板的仰视图；
[0046]图8j示出了图8e中堆叠结构的后盖板的俯视图；
[0047]图8k示出了图8e中堆叠结构的后盖板的仰视图；...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气浮卡盘，其特征在于，包括：喷嘴部，设置有多个支撑力喷嘴，用于在所述喷嘴部的顶部表面上形成气垫；气体通道部，包括向所述多个支撑力喷嘴传输第一气体以提供支撑力的第一气体通道。2.如权利要求1所述的气浮卡盘，其特征在于，所述喷嘴部还包括与所述多个支撑力喷嘴交替布置的多个吸力喷嘴，所述气体通道部还包括为所述多个吸力喷嘴传输第二气体以提供吸力的第二气体通道。3.如权利要求2所述的气浮卡盘，其特征在于，所述多个支撑力喷嘴和所述多个吸力喷嘴在所述喷嘴部的顶部表面上布置成轴对称的图案。4.如权利要求2所述的气浮卡盘，其特征在于，所述多个支撑力喷嘴和所述多个吸力喷嘴中的相邻喷嘴等间隔或非等间隔排列。5.如权利要求4所述的气浮卡盘，其特征在于，所述多个支撑力喷嘴和所述多个吸力喷嘴布置成等间隔ΔR的多个同心喷嘴环。6.如权利要求5所述的气浮卡盘，其特征在于，所述多个同心喷嘴环中距离气浮卡盘的中心最远的喷嘴环的半径比气浮卡盘的半径小0mm
‑
20mm。7.如权利要求5所述的气浮卡盘，其特征在于，所述多个同心喷嘴环中任一喷嘴环上相邻的支撑力喷嘴与吸力喷嘴之间在切向上间隔开恒定的距离ΔT。8.如权利要求7所述的气浮卡盘，其特征在于，所述多个同心喷嘴环中随着喷嘴环与所述气浮卡盘的中心之间的距离增加，喷嘴环上喷嘴的总数量以双数增加，所述双数包括2、4、6、8或10。9.如权利要求7所述的气浮卡盘，其特征在于，ΔR与ΔT的差值小于5mm。10.如权利要求2所述的气浮卡盘，其特征在于，所述多个支撑力喷嘴和所述多个吸力喷嘴的形状包括三角形、椭圆形、空心环和圆形中的一种或多种。11.如权利要求10所述的气浮卡盘，其特征在于，当所述多个支撑力喷嘴和所述多个吸力喷嘴的形状为圆形时，所述多个支撑力喷嘴和所述多个吸力喷嘴的直径范围为0.5mm
‑
3mm。12.如权利要求2所述的气浮卡盘，其特征在于，所述喷嘴部和所述气体通道部上设置有与所述多个支撑力喷嘴对应的多个第一气体通孔和与所述多个吸力喷嘴对应的多个第二气体通孔，所述第一气体通道通过所述多个第一气体通孔与所述多个支撑力喷嘴连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾安，
申请(专利权)人：南京中安半导体设备有限责任公司，
类型：新型
国别省市：