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本实用新型实施例提供了一种气浮卡盘。该气浮卡盘包括喷嘴部和气体通道部，其中，喷嘴部设置有多个支撑力喷嘴，用于在喷嘴部的顶部表面上形成气垫；气体通道部包括向多个支撑力喷嘴传输第一气体以提供支撑力的第一气体通道。本实用新型实施例能够实现由第一气...
该专利属于南京中安半导体设备有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京中安半导体设备有限责任公司授权不得商用。

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