本发明公开了一种全自动熏蒸设备及其控制方法，所述全自动熏蒸设备包括循环装置，包括循环风机、第一管道及第二管道，所述循环风机的出风口通过所述第一管道与料仓相连通，所述循环风机的进风口通过所述第二管道与料仓相连通；第一储罐用于存储熏蒸剂，所...

本发明公开了一种榫槽面密封结构及半导体容器。榫槽面密封结构包括：第一连接机构、第二连接机构和密封机构，第一连接机构上设置有至少一第一槽状结构，第二连接机构上设置有至少一第一凸起结构，密封机构设置在第一槽状结构内，当第一连接机构与第二连接...

本发明公开了一种用于更换管道连接件的保护装置，管道连接件用于连接第一管道和第二管道，保护装置包括：柔性罩，包括展开为平面的第一状态及套设于管道上的第二状态，柔性罩包括罩体及位于罩体两侧的第一卷绕件和第二卷绕件，于第二状态下，第一卷绕件和...

本发明公开了一种安全处理装置，包括中空设置的壳体及活动安装于壳体内部的置物板，置物板下方的壳体内用于盛放分解液，于第一状态下，置物板两侧的水平高度均为第一高度，于第二状态下，置物板两侧的水平高度至少有一侧低于第一高度，以使置物板上的待处...

本实用新型公开了一种全自动熏蒸设备，包括循环装置，包括循环风机、第一管道及第二管道，所述循环风机的出风口通过所述第一管道与料仓相连通，所述循环风机的进风口通过所述第二管道与料仓相连通；第一储罐用于存储熏蒸剂，所述第一储罐通过第三管道与所...

本发明公开了一种有机硅组合物，其包含：二乙氧基甲基硅烷；第一浓度的溶解的残留无机氯和有机氯；第二浓度的乙醇；以及第三浓度的副产物（杂质）；其中第一浓度定义为所述有机硅组合物在全消解情况下获得的所有存在的氯元素的浓度的总和。本发明的有机硅...

本发明公开一种烷氧基硅烷组合物的纯化方法，所述组合物包含烷氧基硅烷和氯化物，其中当烷氧基硅烷包含多个烷氧基时，这些烷氧基相同；所述方法包括：1）将烷氧基硅烷组合物与醇混合，得到混合物，其中所述醇的烷基与所述烷氧基硅烷的烷氧基中的烷基相同...

本发明公开了一种用于制备新戊硅烷中间体的方法，将通式(1)的硅化合物在叔胺催化剂的存在下反应，以生成含四(三卤代甲硅烷基)硅烷和四卤化硅的第一混合物，反应结束后进一步加入路易斯酸化合物，然后分离掉生成的四卤化硅化合物，得如通式(2）所示...

本实用新型涉及微电子材料领域，尤其是涉及一种三甲基铝提纯设备，包括反应仓，所述反应仓的上端内表面固定连接有冷凝器，所述冷凝器的右侧固定连接有储物盒，所述反应仓的左侧靠近下端的位置固定连接有进料管，所述反应仓的下端边缘处固定连接有支撑腿，...

本实用新型涉及新材料技术领域，具体为一种液态前驱体材料的分装容器，包括容器主体，容器主体的顶端开设有物料进口，容器主体的内部设置有容器内腔，容器内腔的内部且位于顶端设置有分流机构，分流机构的顶端设置有分流器，分流器呈圆台状，其外表面设置...

本发明涉及反应釜技术领域，具体为一种用于检测前驱体材料气化特性的装置及使用方法，包括反应釜本体，所述反应釜本体的内部开设有反应室，所述反应釜本体的侧壁固定安装有用于向反应室的内部投入物料的导料管，所述反应釜本体的侧壁固定安装有排料管，所...

本实用新型公开了一种大型IC钢瓶的固定砧板，包括固定座，所述固定座呈柱形空心结构设计，且其上侧设置有钢瓶主体，所述钢瓶主体的下端位于柱形空心固定座的内部，所述固定座的外表面上侧环形等距离至少分布三组夹持组件，所述固定座的内部从上往下依次...

本发明涉及物料转移领域，具体为可拆卸密封装置物料转移管，包括端管，所述端管的数量为两组，左侧所述端管的左侧活动连接有电机，左侧所述端管的上端固定连接有进料管，右侧所述端管的上端固定连接有出料管，且进料管及出料管均与端管相连通；两个所述端...

本实用新型涉及前驱体材料气化特性的测定装置，载气储罐，提供载气源；载气流量调节阀，调节载气流量，连接于载气储罐与载气流量计之间；载气流量计，控制载气流量，与前驱体钢瓶连接；气压计，测定前驱体钢瓶内被测样品的气相分压；温度计二，测定前驱体...

本实用新型涉及管路清洗领域，尤其是涉及免喷溅管路清洗装置，包括所述外架的前后两端内表面右侧转动连接有收纳辊，所述外架的上端内表面固定连接有支撑壳，所述支撑壳的左右两侧均开设有圆孔，所述圆孔的内部滑动连接有移动杆，两个所述移动杆之间固定连...

本实用新型涉及过滤技术领域，尤其是涉及新型可拆卸过滤装置，包括上壳，所述上壳的上端中心处固定连接进料管，所述上壳的下端活动连接有下壳，所述下壳的上端与上壳下端的连接处固定连接有锁扣，所述下壳的下端边缘处固定连接有支撑腿，所述下壳的下端中...

本实用新型公开了一种三甲基铝蒸发输送装置，包括蒸发柜本体、压力表、第一输送管，所述第一输送管的一侧设置有卡板，所述卡板的一侧设置有推送机构，所述推送机构包括第二输送管，所述第二输送管的内部设置有第三输送管，所述第三输送管的一端固定设置有...

本实用新型公开了一种大型IC钢瓶吹扫烘干装置，包括固定座，所述固定座的上端面左侧固定连接有固定架，且其上端面右侧与固定架对应位置设置有钢瓶主体，所述钢瓶主体的外表面下端套接有清理机构，且清理机构与固定架滑动连接，所述固定座的下端面与钢瓶...

本实用新型公开了一种三甲基铝残液处理设备，包括由氮气瓶、庚烷存储罐、光伏组件、内含TMA残液的缓冲罐、燃烧炉、底座组成，所述氮气瓶、庚烷存储罐、内含TMA残液的缓冲罐、燃烧炉之间均通过管道及阀门连接，且其底部固定连接有底座，其中光伏组件...

本实用新型涉及前驱体肥料回收技术领域，尤其是涉及一种前驱体化学品回收再利用装置，包括桶体，所述桶体的左侧靠近下端的位置固定连接有出料管，所述桶体的上端靠近左侧的位置转动连接有门板，所述桶体的上端固定连接有储液罐，所述桶体的内表面靠近下端...