一种三甲基铝提纯设备制造技术

本实用新型专利技术涉及微电子材料领域，尤其是涉及一种三甲基铝提纯设备，包括反应仓，所述反应仓的上端内表面固定连接有冷凝器，所述冷凝器的右侧固定连接有储物盒，所述反应仓的左侧靠近下端的位置固定连接有进料管，所述反应仓的下端边缘处固定连接有支撑腿，所述反应仓的下端固定连接进气管，所述反应仓的内部靠近下端的位置固定连接有搁板，所述搁板的内部中心处固定连接有加热块，所述搁板的内部靠近两侧的位置均固定连接有气筒，该装置能够在通入惰性气体的时候，通过气压带动螺纹杆转动，进而使搅拌叶转动，这样可以对三甲基铝溶液进行搅拌，使得三甲基铝与惰性气体更好的接触，使得到的三甲基铝更纯。到的三甲基铝更纯。到的三甲基铝更纯。

【技术实现步骤摘要】
一种三甲基铝提纯设备


[0001]本技术涉及化学品提纯
，尤其是涉及一种三甲基铝提纯设备。

技术介绍

[0002]高纯度三甲基铝属于高纯金属有机化合物，是利用先进的金属有机化学气相沉积 (MOCVD)工艺或原子层沉积薄膜技术(ALD)制备化合物半导体薄膜材料的关键支撑原材料，其广泛运用于LED设备、新一代太阳能电池、相变存储器、半导体激光器、红外探测器和超级计算机等领域。
[0003]在对三甲基铝提纯的时候需要内部加入惰性气体，这样可以起到对三甲基铝的保护作用，使三甲基铝在提纯的时候不会被其他因素所转变，现有的装置在进行加入惰性气体的时候不能对内部进行搅拌，使惰性气体在内部不能完全扩散开，使得惰性气体的利用率下降。
[0004]为此，提出一种三甲基铝提纯设备。

技术实现思路

[0005]本技术的第一目的在于提供一种三甲基铝提纯设备，该装置能够在通入惰性气体的时候，通过气压带动螺纹杆转动，进而使搅拌叶转动，这样可以对三甲基铝溶液进行搅拌，使得三甲基铝与惰性气体更好的接触，使得到的三甲基铝更纯，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]本技术提供一种三甲基铝提纯设备，包括反应仓，所述反应仓的上端内表面固定连接有冷凝器，所述冷凝器的右侧固定连接有储物盒，所述反应仓的左侧靠近下端的位置固定连接有进料管，所述反应仓的下端边缘处固定连接有支撑腿，所述反应仓的下端固定连接进气管，所述反应仓的内部靠近下端的位置固定连接有搁板，所述搁板的内部中心处固定连接有加热块，所述搁板的内部靠近两侧的位置均固定连接有气筒，所述气筒的上端螺旋传动有螺纹杆，所述螺纹杆的下端转动连接有活塞，所述活塞的外侧与气筒的内壁滑动连接，所述反应仓的下端内表面靠近两侧的位置均固定连接有弹簧，所述弹簧的上端与活塞的下端固定连接，所述螺纹杆的上端固定连接有搅拌叶，所述气筒的两侧均开设有L 形通孔，所述L形通孔的上端固定连接有半透膜。
[0007]通过采用上述技术方案，将三甲基铝物料通过进料管进入反应仓的内部，此时加热块对内部的三甲基铝进行加热，在经过冷凝器将蒸发的三甲基铝进行冷凝，冷凝后的三甲基铝进入储物盒的内部，此时通过进气管通入惰性气体，随着气体的加入，此时反应仓下端的气压增大，使活塞在气筒的内部向上移动，活塞带动螺纹杆线上移动，因为螺纹杆与气筒的上端为螺旋传动，所以螺纹杆在向上移动的时候发生转动，螺纹杆带动搅拌叶转动，当活塞移动到L形通孔的位置的时候，此时惰性气体通过L形通孔进入反应仓的内部，当反应仓下端的气压减小的时候，此时在弹簧的作用下，使活塞复位，设有的半透膜可以通过气体分子，不能通过液体等大分子物体，避免三甲基铝溶液进入L形通孔的内部。
[0008]优选的，所述反应仓的内表面转动连接有轴承，所述轴承的内表面固定连接有齿块，所述轴承的上端靠近内表面的位置固定连接有清洁杆，所述齿块的外侧与搅拌叶的外侧啮合连接。
[0009]通过采用上述技术方案，当搅拌叶转动的时候带动齿块转动，齿块转动带动轴承转动，轴承转动带动清洁杆转动，这样可以将冷凝在反应仓内壁上的三甲基铝进行清理，进一步提高了该装置的实用性。
[0010]优选的，所述冷凝器为倾斜设计。
[0011]通过采用上述技术方案，避免冷凝时流动堵塞的现象。
[0012]优选的，所述加热块为耐高温材质所制成。
[0013]通过采用上述技术方案，避免加热块加热时对搁板造成损坏。
[0014]优选的，所述进料管的位置与搁板的位置处于同一水平。
[0015]通过采用上述技术方案，有利于反应仓在排出废料的时候更加的方便。
[0016]优选的，所述螺纹杆的螺旋数与齿块的数比为1:10。
[0017]通过采用上述技术方案，这样可以保证在螺纹杆上移的时候，使清洁杆转动一圈，增加清理效果。
[0018]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0019]1、在通入惰性气体的时候，通过气压带动螺纹杆转动，进而使搅拌叶转动，这样可以对三甲基铝溶液进行搅拌，使得三甲基铝与惰性气体更好的接触，使得到的三甲基铝更纯。
[0020]2、搅拌叶转动的时候带动齿块转动，齿块转动带动轴承转动，轴承转动带动清洁杆转动，这样可以将冷凝在反应仓内壁上的三甲基铝进行清理，进一步提高了该装置的实用性。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0022]图1为本技术的立体图；
[0023]图2为本技术正面剖视；
[0024]图3为本技术图2中A处的放大图；
[0025]图4为本技术图2中B处的放大图。
[0026]附图标记说明：
[0027]1、反应仓；2、清洁杆；3、冷凝器；4、储物盒；5、进料管；6、支撑腿；7、进气管；8、搁板；9、加热块；10、气筒；11、搅拌叶；12、L形通孔；13、半透膜；14、螺纹杆；15、活塞；16、弹簧；17、轴承；18、齿块。
具体实施方式
[0028]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行
清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0029]在本技术的描述中，需要理解的是，术语"中心"、"纵向"、"横向"、"长度"、" 宽度"、"厚度"、"上"、"下"、"前"、"后"、"左"、"右"、"坚直"、"水平"、"顶"、"底"、 "内"、"外"、"顺时针"、"逆时针"等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0030]此外，术语"第一"、"第二"仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有"第一"、"第二"的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本技术的描述中，"多个"的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。此外，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0031]请参阅图1至图4，本技术提供一种三甲基铝提纯设备技术方本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种三甲基铝提纯设备，包括反应仓(1)，其特征在于：所述反应仓(1)的上端内表面固定连接有冷凝器(3)，所述冷凝器(3)的右侧固定连接有储物盒(4)，所述反应仓(1)的左侧靠近下端的位置固定连接有进料管(5)，所述反应仓(1)的下端边缘处固定连接有支撑腿(6)，所述反应仓(1)的下端固定连接进气管(7)，所述反应仓(1)的内部靠近下端的位置固定连接有搁板(8)，所述搁板(8)的内部中心处固定连接有加热块(9)，所述搁板(8)的内部靠近两侧的位置均固定连接有气筒(10)，所述气筒(10)的上端螺旋传动有螺纹杆(14)，所述螺纹杆(14)的下端转动连接有活塞(15)，所述活塞(15)的外侧与气筒(10)的内壁滑动连接，所述反应仓(1)的下端内表面靠近两侧的位置均固定连接有弹簧(16)，所述弹簧(16)的上端与活塞(15)的下端固定连接，所述螺纹杆(14)的上端固定连接有搅拌叶(11)...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆平，孟庆典，
申请(专利权)人：南大光电半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：