本发明涉及镀膜机技术领域，尤其涉及一种真空镀膜机，包括镀膜机本体，所述镀膜机本体内部固定连接有呈对称分布的限位板，限位板内部均设有槽体，槽体内部均设有呈对称分布的夹具，夹具连接有转动机构，转动机构用于带动夹具圆周运动，其中夹具内部设有夹...

本技术属于加热机构的技术领域，公开了一种真空炉用加热机构，包括加热仓和保温盖，所述加热仓还包括保温筒体，所述保温筒体内部设置有加热机构，所述加热机构还包括电机，所述电机的输出轴外壁固定安装有加热套筒，所述加热套筒中部设置有多个金属网，所...

本实用新型公开了一种真空设备蒸发管管道口防阻塞结构，包括蒸发管，所述蒸发管靠近端口一侧外周面均匀环绕贴合有螺旋加热管，所述蒸发管的端口处焊接固定有连接法兰，所述连接法兰的一端通过多个固定螺栓固定连接有密封盖，所述螺旋加热管的外周面设置有...

本实用新型公开了一种镀膜蒸发室基片固定结构，包括基片固定架和承托架，所述基片固定架的底面均匀环绕设置有多个基片放置槽，所述基片固定架的底面中心处螺纹安装有螺纹杆，所述螺纹杆的上端固定连接有圆锥台，所述基片放置槽靠近圆锥台的一侧均开设有定...

本实用新型公开了一种真空镀膜机的抽气机构，包括镀膜机体，所述镀膜机体的上端内壁一体成型有抽真空罩。在抽真空时，真空泵工作将内部的气体抽出，在抽出的过程中，通过过滤网能防止镀膜机体内的杂质抽入到真空泵内损坏真空泵，提高设备的运形稳定；同时...

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，公开了一种真空镀膜设备的工件受热机构，包括真空镀膜箱，真空镀膜箱的内腔顶部固定连接有支杆，支杆的四面上均设置有若干电加热管，真空镀膜箱的底部设置有转盘，转盘的中心固定连接有转轴，转轴转动连接在真空镀膜...

本实用新型公开了一种真空镀膜转架结构，属于转架结构领域，一种真空镀膜转架结构，包括安装块，安装块转动连接有传动轴，安装块开设有限位槽，传动轴侧壁安装有限位盘，限位盘转动连接限位槽，传动轴的下端安装有底板，底板的下端安装有多组长板，一组长...

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，且公开了一种真空镀膜机用密封结构，包括一号管道和二号管道，所述一号管道的一端开口处固定套装有一号接头，所述二号管道的一端开口处滑动套装有二号接头，所述二号接头远离一号接头的一侧安装有固定环，所述二号管道...

本实用新型公开了一种真空镀膜机腔体冷却装置，包括腔体，腔体内表面的顶部固定连接有工件盘，腔体内表面的左右两侧均设有冷却机构，且冷却机构包括两个对称分布的半导体制冷片，两个半导体制冷片之间设有马达，且马达输出轴靠近工件盘的一端固定连接有转...

本实用新型公开了一种用于真空镀膜的夹持机构，包括：底座；支撑架，所述支撑架固定连接于底座的顶部；电机，所述电机安装于支撑架的左侧；支撑座，所述支撑座左右滑动安装于支撑架的内侧，且支撑座的内部开设有中空状结构；固定架，所述固定架固定连接于...

本实用新型公开了一种真空气相沉积反应室，包括：腔室；转盘，绕自身轴线可转动地设置在腔室内，转盘上设置有基片；反应气体喷头，设置在腔室的内顶壁上，用于朝向转盘喷射反应气体；导流机构，包括导流板，导流板沿第一方向可相对转盘的侧壁移动地设置在...

本实用新型公开了一种纳米真空镀膜设备，包括：箱体，所述箱体具有真空腔以及与所述真空腔相连通的开口；旋转筒，绕自身轴线可转动地设置在所述箱体内，所述旋转筒内设置有滑动槽；旋转驱动件，设置在所述箱体内，且与所述旋转筒传动连接，能够驱动所述旋...

本实用新型公开了一种真空镀膜用治具装置，包括：底板；旋转机构，设置在所述底板上；转盘，设置在所述旋转机构的驱动端，能够在所述旋转机构的驱动下旋转；固定机构，包括两个支撑组件，两个所述支撑组件可相对移动地设置在所述转盘上；调节机构，设置在...

本实用新型公开了一种密封盖升降装置，包括：机架；驱动机构，设置在所述机架上；转轴机构，沿第一方向可移动地设置在所述机架上，所述转轴机构的一端与所述驱动机构的驱动端连接；吊臂，包括相互交叉设置的旋转臂和支撑臂，所述旋转臂的一端绕与所述第一...